DRF-85型单晶炉使用说明书(电气部分).docx

DRF-85型单晶炉使用说明书（电气部分）目录-.TDR-ADC单晶炉电气控制系统组成41. 概述42. TDR-ADC电气控制系统组成及功能52.1 TDR-ADC晶体生长控制柜62.1.1 TDR -SLCL(PLC)晶升蜗升速度控制单机62.1.2 TDR -SRCR晶转蜗转速度控制单机62.1.3 TDR -TEMP½1度控制及工控机单机72.1.4 控制柜继电控制单元82.1.5 控制柜面板82.2 加热功率部件82.2.1 主加热功率部件82.2.2 辅助加热功率部件(选件)92.3 继电控制92.3.1 液压系统的继电控制92.3.2 真空机组的继电控制92.4 辅助控制部分92.4.1 HX-TDR主机分线盒接口装置92.4.2 HX-SEED2 引晶装置102.4.3 TDR -LIN晶升坍升计长板102.4.4 限位开关102.4.5 冷却水温度测量112.4.6 晶体直径测量113. TDRF-85炉的TDR-ADC也气控制系统接线说明113.1 TDRF-85炉的晶体生长控制柜接线说明113.1.1 控制柜内元件接线113.1.2 控制柜端子排接线11一.TDR-ADC单晶炉电气控制系统安装调试231 .安装说明231.1 控制系统配置231.1.1 TDR -ADC晶体生长控制柜231.1.2 加热功率部件241.2 接线说明241.2.3主机分线盒接线说明252 .系统调试252.1 TDR-ADC晶升蜗升速度系统调试252.1.1 晶升速度调试292.1.2 堪升速度调试312.2.1 晶转堪转速度交流伺服电机简介342.2.2 晶转期转速度调试352.3.1 TDR-TEMP度控制及工控机单机362.3.3 加热温度控制部分调试412.4 TDR-ADC继电控制调试422.4.1 真空机组继电控制调试422.4.2 液压系统的继电控制调试432.5 TDR-ADC水温检测及限位开关调试442.5.1 冷却水温监测及超温报警442.5.2 限位开关调试44三。TDR-ADC控制系统操作说明461 .概述462 . TDR-ADC晶体生长控制系统操作画面说明472.1 晶体生长主画面472.1.1 上标题栏482.1.2 通讯状态栏482.1.3 速度系统栏492.1.5 主菜单栏502.1.6 生长控制栏502.1.7 晶体重量栏502.1.8 温度系统栏502.1.9 实时曲线栏512.1.10 历史曲线栏512.2 控制器画面522.2.1 实时曲线栏522.2.2 直径控制器栏522.2.3 温校控制器栏532.2.4 控制器操作栏542.3 速度系统F3画面542.3.1 实时曲线栏552.3.2 速度辅助参数显示栏552.3.3 晶升晶转电机参数显示栏562.3.4 堪升堪转参数显示栏572.4 温度系统F4显示画面当按下键时，显示温度系统画面592.4.1 实时曲线显示栏592.4.2 欧陆表参数显示栏592.4.3 加热系统报警栏602.4.4 水温报警显示栏602.5 继电控制F5显示画面602.6 打印设置F6显示画面612.7 磁场控制画面显示612.8 退出系统显示画面61四.主要元器件功能简介611. 12A8型脉宽调速器简介61-.TDRADC单晶炉电气控制系统组成1 .概述TDR-ADC单晶炉电气控制系统是专为晶体生长设备研制的新一代 电气控制装置，它主要适用于TDR-70A, TDR-80, DRF-85等单晶 炉的电气控制。通过改型设计也可用于同类进口或国产单晶炉的电气 控制。其主要特点如下：1）主控计算机采用高可靠性的嵌入式工业控制计算机，人机操作界 面采用15”工业控制专用液晶触摸屏，系统信息交换采用高速工业 现场总线CAN BUS,使各控制单元进行实时的数据交换。留有以太 网接口可与CCD直径测量单兀相接。2）柜内控制单元采用19英寸4U标准化欧式机箱结构，产品外形美 观，内部接线少。单机采用前插板结构，运行状况在单机的前面板显 示；单机接线通过后部可插拔端子引出。3）晶转蜗转交流速度单机及温度单机内采用高可靠的工业级微处理 器进行智能测量控制，并通过高速CAN总线实现了各控制单元之间 的信息共享。4）晶升堪升直流速度单机由PLC控制晶体生长速度。5）采用欧陆818完成晶体生长过程中的温度控制。并通过通讯接口 与控制主机相联。6）柜内继电控制系统采用以PLC控制器为核心的控制部件，并配有 世界知名品牌的低压电器，实现了继电控制逻辑的软件编程，使继电控制简单可靠，并易于修改控制逻辑；PLC控制器通过RS232总线 与主控计算机相连。7）系统采用实时多任务组态控制软件，操作画面美观清晰，晶体生 长过程参数以曲线及数字方式进行显示保存，方便用户实现拉晶工艺 的数字化控制及管理。8）备有网络通讯接口，便于实现多台设备的集中生产管理。9）备有CCD数字图像直径测量及液面温度测量接口，可将目前采用 IRCON为测径元件的等径控制系统升级为引晶、放肩、等径、收尾 全过程自动控制的新系统，同时可通过对控制软件升级提高晶体生 长过程的平均拉速而提高生产效率。注：2005年6月以后出厂的产品采用新型的欧陆3504温控表控制晶 体生长温度，其完成功能与欧陆S818温控表相同。2 .TDRADC电气控制系统组成及功能TDR-85单晶炉电气控制系统主要由以下四大部分组成：1） TDR-ADC晶体生长控制柜2）加热功率部件3）真空机组及液压升降继电控制单元4）辅助控制部分各部分的功能及系统组成如下：2） 1 TDR-ADC晶体生长控制柜晶体生长控制柜柜内控制单元有以下几部分组成：2.1.1 TDR -SLCL（PLC）晶升蜗升速度控制单机1）安装了二套PWM型直流调速装置及速度电源，实现晶升堪升速 度的控制。2）由柜内PLC控制器完成晶升蜗升速度单元的自动测量及控制。3）所有安装调试由前面板操作，调试维修方便。4）单机运行状况由前面板指示。5）单机外出线采用插拔式端子由后面板引出，方便用户接线。6）单机外形尺寸：19英寸宽、4U高度、280mm深。2.1.2 TDR SRCR晶转蜗转速度控制单机1）安装了二套交流调速装置，实现晶转蜗转电机系统的速度控制。2）安装了工业级单片机系统，实现晶转蜗转速度单元的自动测量及 控制。3）通过CAN总线通讯接口，与上位工控机相连。4）所有安装调试由前面板操作，调试维修方便。5）单机运行情况由前面板指示。6）单机外出线采用插拔式端子由后面板引出，方便用户接线。7）单机外形尺寸：19英寸宽、4U高度、280mm深。8）安装了 3路+ 24V电源，分别提供PLC可编程控制器、柜内控制元件及主机电磁离合器使用。9）安装了 1路+ 5V电源，提供HX-SEED2引晶操作单元及HX-TDR主机分线盒接口装置使用。232.1.3 TDR -TEMP温度控制及工控机单机1）安装了 1套三相全控桥加热温度控制电路，由欧陆S818控制器 完成加热温度的自动控制。2）预留了一路辅助加热温度控制电路空间，可通过面板给定电位器 完成辅助加热温度的手动控制。3）安装了工业级单片机系统，实现温度控制单元的自动测量及控制。4）通过CAN总线通讯接口，与上位工控机相连。5）安装了嵌入式工业控制机，完成晶体生长过程的自动控制。6）备有CCD晶体直径测量接口。7）安装了 PC104CANBUS现场总线通讯板，实现各控制单元与上 位工控机的通讯功能。8）所有安装调试由前面板操作，调试维修方便。9）单机运行情况由前面板指示。10）单机外出线采用插拔式端子由后面板引出，方便用户接线。11）单机外形尺寸：19英寸宽、4U高度、280mm深。2.1.4 控制柜继电控制单元TDR -ADC控制柜采用PLC智能逻辑控制器，并配有世界知名品牌 的低压电器，实现了继电控制逻辑的软件编程，使继电控制简单可靠, 完成对真空机组系统以及液压升降系统的智能逻辑控制。2.1.5 控制柜面板TDR -ADC控制柜的所有晶体生长参数均显示在液晶触摸屏上，加 热电压表及加热电流表显示主加热器的加热参数，欧陆S818仪表用 于主加热器的温度控制，真空仪表用于指示炉内真空度，面板按键用 于电源控制、真空机组启动及液压升降系统的控制，面板给定电位器 用于辅助加热器的温度给定。2.2加热功率部件加热功率部件标准配置由主加热功率部件组成。特殊用户选用主加热 及辅助加热两套加热功率部件。2 . 2. 1主加热功率部件主加热部分由控制单元及功率部件组成。控制单元安装在TDR -ADC 控制柜内，由欧陆表完成主加热温度的自动控制。功率部件安装在功 率柜内。24功率部件包括主变压器、三相全控桥晶闸管整流电路、三相同步变压器、主回路保护快速熔断器、晶闸管保护电路及电流互感器。3 .2.2辅助加热功率部件（选件）辅助加热部分是为双段式加热系统提供的，主要提供化硅阶段的辅助 加热，其温度控制为手动控制方式。而在晶体生长阶段则关闭辅助加 热。辅助加热功率部件安装在辅助加热功率柜内。同主加热功率部 件一样，辅助加热功率部件也包括主变压器、三相全控桥晶闸管整流 电路、三相同步变压器、主回路保护快速熔断器、晶闸管保护电路及 电流互感器。其工作原理同主加热部分。2. 3继电控制2.1.1 液压系统的继电控制液压系统的继电控制安装在TDR-ADC控制柜内，由PLC控制器、 断路器、接触器、热继电器、继电器及操作按键组成。232真空机组的继电控制真空机组的继电控制安装在TDR-ADC控制柜内，由PLC控制器、 断路器、接触器、热继电器、继电器及操作按键组成。2. 4辅助控制部分2.1.1 HX-TDR主机分线盒接口装置主机分线盒接口装置安装在单晶炉主机分线盒内，完成晶升坍升计K、冷却水温度测量，并将这些信号通过CAN BUS现场总线传给电 控柜内的工业控制计算机。2.1.2 HX-SEED2 引晶装置引晶装置与TDR-SLCL支流速度单机及PLC控制器相联，完成对晶 升蜗升电机的快速操作及晶体生长引晶过程的人工操作。2.1.3 TDR LIN晶升蜗升计长板晶升计长板完成晶升计长及晶升平均拉速的计算。蜗升计长板完成蜗升计长及蜗升平均拉速的计算。2.1.4 限位开关限位开关包括：1）晶升上限位开关。2）蜗升上限位开关。253）蜗升下限位开关。4）水压上限位开关。（水压常开触点NO）5）水压下限位开关。（水压常闭触点NC）6）液压限位开关S1。7）液压限位开关S2o限位开关信号直接与PLC控制器相联。2.1.5 冷却水温度测量可以对16路冷却水水温报警节点进行检测，当其中某路冷却水的水 温超过50时，相应的该路报警指示灯亮并有声音报警。2.1.6 晶体直径测量晶体直径测量模块采用CGC2000-DIA,该模块安装在IRCON光学 高温计上。3. TDRF.85炉的TDR.ADC电气控制系统接 线说明3. 1 TDRF-85炉的晶体生长控制柜接线说明3.1.1 控制柜内元件接线控制柜内的单机及柜内元件接线表可参见TDR -ADC控制柜电气元 件安装图（TDRF-85炉专用）。3.1.2 控制柜端子排接线从控制柜后面看，在控制柜的下部两端有两排接线端子。接线端子的 一部分用于柜内元件接线，而另一部分则用于控制柜与柜外元件的信 号连接，下表只列出了控制柜与柜外元件的信号连接接线定义，列表 如下：TDR -ADC电柜左侧端子接线表（后视）线号信号定义备注34副室升、盖升液压阀33筒升液压阀32盖降（副室降）液压阀31筒降液压阀N液压阀线圈接地液压电磁阀15液压泵电机W相14液压泵电机V相13液压泵电机U相N地线液压泵电机12副室泵电机W相 副室泵电机2611副室泵电机V相10副室泵电机U相N地线9主室泵电机W相8主室泵电机V相7主室泵电机U相N地线主室泵电机3 W相交流电源2V相交流电源1.1 U相交流电源N地线PE保护地三相交流电源供电TDR -ADC电柜右侧端子接线表(后视)线号信号定义备注61 MV+ (T1)62 MV- (T1)热电偶63 TB1:加热同步接触器线圈电源NN (TB1)：地线接触器线圈63 TB2:加热电流互感器电源NN (TB1 )：地线电流互感器65 -K135 (T1)66 Gl (T1)67 G3 (T1)68 G5 (T1)69 -K4 (Tl)70 G4 (Tl)71 -K6 (Tl)72 G6 (Tl)73 -K2 (Tl)74 G2 (Tl)可控硅整流板75 TA (Tl)76 TB (Tl)77 TC (Tl)同步变压器78 GND (Tl)79电流互感器+A8080I-+ (Tl )电流互感器-/+81 V- (Tl)电流互感器-V电流互感器8282TV+ (Tl)电压反馈TV+8383TV- (Tl)电压反馈TV-加热电压88 +5V (CAN)89 GND (CAN)90 ADC+ (SL)91 ADC- (SL)晶体直径测量94 MOTOR+ (SL)95 MOTOR- (SL)晶升电机96 METER+ (SL)97 METER- (SL)晶升测速机191晶升给定+5V192晶升给定193晶升给定地194晶升显示+195晶升显示-196晶升显示+5V197晶升显示+5VGND214晶快升按键215晶快降按键216堪快升按键217蜗快降按键218快速切换按键144公共地HX-SEED2引晶手动操作装置102 MOTOR+ (CL)103 MOTOR- (CL)蜗升电机104 METER+ (CL)105 METER- (CL)蜗升测速机88 +5V (CAN)89 GND (CAN)HX-TDR主机信号采集装置106 CANH107 CANL108 U (SR)109 V (SR)HOW (SR)PE PE (SR)晶转电机111 U (CR)112 V (CR)113 W (CR)PE PE (CR)蜗转电机114+24V (LHQ)115 GND (LHQ)离合器电源301晶升上限位常开302蜗升上限位常开303蜗升下限位常开304液压S1限位常开305液压S2限位常开306水压上限位307水压下限位312公共端主机分线盒备注：晶转蜗转电机的编码器信号由专用连接电缆与TDR-SRCR单 机上的交流电机驱动器相连。1.2 TDR主机分线盒接线说明TDR主机分线盒安装在DRXF-85主机的右侧底座上，其内部安装 有HX-TDR主机信号处理装置及接线端子，主机信号通过接线端子 进入HX-TDR主机信号处理装置，通过4线制CAN BUS与TDR -ADC控制柜相连，使控制柜与主机之间的接线最少。 主机分线盒与主机连接的接线端子接线定义列表如下：TDR主机分线盒接线端子接线表线号信号定义备注310 WD29 电缆 2311 WD28机械泵313 WD14 土甘堪杆314WD15 炉底水温测量315 WD16 电极 1316 WD17下炉筒317 WD18 电极 2318 WD19上炉筒319 WD20 电极 3320 WD21 炉盖321 WD22322 WD23323 WD24324 WD25325 WD26326 WD27电极4阀口上可控硅阀盖卜可控硅电缆1327 J#蜗杆328炉底329电极1330下炉筒331电极2332上炉筒333电极3334炉盖335电极4336 阀口337上可控硅338阀盖339下可控硅340电缆1341电缆2342机械泵水温测量公共端328 +5V H3801-5329 S-C H3801-7330 S-E H3801-8331 GND H3801-6晶升计长332 +5V CZ1-1333 C-C CZ1-3334 C-E CZ1-4335 GND CZ1-2蜗升计长88 +5V DZ2-8389 GND DZ2-84106 CANH DZ2-85107 CANL DZ2-86TDR -ADC控制柜DZ2供电电源CAN BUS92晶升快速电机+93晶升快速电机-94晶升电机+95晶升电机-96晶升测速机+97晶升测速机-TDR-ADC控制柜DZ2102蜗升电枢+103蜗升电枢-104蜗升测速机+105堪升测速机-114电磁离合器+115电磁离合器-1.3 主加热接线说明主加热与主机连接的接线端子接线定义列表如下:主加热接线端子接线表线号信号定义备注63 TB1：加热同步接触器线圈电源NN (TB1)：地线接触器线圈63 TB1：加热电流互感器电源NN (TB1)：地线电流互感器75 TA (Tl)76 TB (Tl)77 TC (Tl)78 GND (Tl)同步电压(Tl)65触发脉冲-KI , 3, 566触发脉冲+G1 (Tl)67触发脉冲+G3 (T1)68触发脉冲+G5 (T1)69触发脉冲-K4 (T1)加热触发脉冲70触发脉冲+G4 (T1)71触发脉冲-K6 (T1)72触发脉冲+G6 (T1)73触发脉冲-K2 (T1)74触发脉冲+G2 (T1)79电流互感器+A (T1)80电流互感器+/- (T1)81电流互感器一V (T1)82电压反馈TV+ (T1)83电压反馈TV- (Tl)加热电压电流反馈323327上可控硅水温测头二.TDR-ADC单晶炉电气控制系统安装调 试1 .安装说明1.1 控制系统配置由前所述，TDR-ADC单晶炉电气控制系统包括：1.1.1 TDR -ADC晶体生长控制柜1) TDR -SLCL(PLC)晶升蜗升速度控制单机。2) TDR -SRCR晶转蜗转速度控制单机。3) TDR -TEMP温度控制及工控机单机。4)欧陆818S温度控制器。5)真空仪表。6) 15触摸式液晶显示器。7) PLC可编程序控制器。1.1.2 加热功率部件1）主加热功率柜。1.1.3 TDRF-85单晶炉主机安装元件1） HX-TDR主机信号处理装置。2） HX-SEED2引晶装置。3） TDR -LIN晶升蜗升计长板。4） CGC2000-DIA晶体直径测量模块。1. 2接线说明1.1.1 TDR -ADC电控柜接线说明TDR -ADC电控柜的内部连线在出厂前已经完成安装调试。通电以 前根据接线定义将电控柜与以下控制单元可靠相连，对外连线包括： 1）主机分线盒接线2）主机分线盒接线包括：晶升电机、晶升测速机、堪升电机、瑞升 测速机、蜗快速电机、电磁离合器电源、+5V供电电源及CAN通讯 接口。3） CGC2000-DIA晶体直径测量模块接线4）炉体热电偶接线5）加热功率柜接线6）主加热功率柜接线包括：同步电源切换、电流互感器电源、触发 脉冲、同步电压、电流互感器及加热电压。7）真空机组及液压泵真空机组包括：主室泵及副室泵。8）供电电源供电电源采用三相5线制供电，即U、V、W三相电源，N地线，PE保护地。国内设备使用三相380V交流电源。1.1.2 功率柜接线说明功率柜除与控制柜相连外，其可控硅水温传感器与主机分线盒相连， 三相电源进线与三相主供电回路相连。1.1.3 主机分线盒接线说明DRXF-85单晶炉的主机分线盒除与控制柜及功率柜相连外，还与安 装在主机上的电气控制单元相连。这些连线包括：1）水温测量2） TDR -LIN晶升蜗升计长板3）晶升蜗升电机4）晶转堪转电机5 ） HX-TDR主机信号处理装置（内部接线）。2 .系统调试3 . 1 TDR-ADC晶升蜗升速度系统调试晶升、堀升速度系统采用直流伺服电机作为驱动电机，其中晶升系统 采用单电机控制，蜗升系统采用双电机控制，晶升、蜗升速度系统 的控制由TDR-SLCL（PLC）晶升蜗升速度控制单机完成。该单机的前后面板如图1、图2所示：图1、TDR -SLCL(PLC)晶升蜗升速度控制单机前面板图2、TDR -SLCL(PLC)晶升堪升速度控制单机后面板从前面板由左向右排，各控制板的功能如表1所列：表1、TDR -SLCL(PLC)晶升堪升速度控制单机配置板表序号名称功能1 TDR -ADC-P4晶升功率电源(+36V)4 TDR -SL-DRI晶升速度驱动，晶升快速驱动5 TDR -SL-CON晶升控制4TDR -ADC-P1 控制电源 (+5V, ±12V, +24V)5 TDR -CL-CON蜗升控制6TDR-CL-DRI蜗升速度驱动，蜗升快速驱动7 TDR -ADC-P4蜗升功率电源(+36V)8 TDR -ADC-P3 不用其中晶升/蜗升速度驱动板及晶升/蜗升控制板是晶升、堪升速度系统调试中最重要的，其指示灯及电位器的功能如下表所列：表2、晶升/坍升控制板指示灯、电位器的功能表序号名称功能1 SL PRO LEDCL PRO LED电机保护指示灯(停止时亮)2 F SL DISF CL DIS晶升手操器显示满度电位器不用3 F SL DISF CL DIS晶升手操器显示满度电位器不用4 F SL (AD)F CL (AD)晶升速度测量满度电位器蜗升速度测量满度电位器5 Z SL (AD)Z CL (AD)晶升速度测量零点电位器蜗升速度测量零点电位器6 F SL (A)F CL (A)晶升电流测量 满度电位器蜗升电流测量满度电位器7 Z SL (A)Z CL (A)晶升电流测量 零点电位器蜗升电流测量 零点电位器8 F DIA直径测量满度电位器9 Z DIA直径测量零点电位器10 F SL SPF CL SP晶升速度给定满度电位器蜗升速度给定满度电位器11Z SL SPZ CL SP晶升速度给定零点电位器蜗升速度给定零点电位器表3、晶升/蜗升速度驱动板指示灯、电位器的功能表序号名称功能36V LED晶升（蜗升）电机电源指示灯36V （100V） LED晶升（蜗升）快速电机电源指示灯SL UP LEDCL UP LED晶升（蜗升）快速电机运行指示灯SL DOWN LEDCL DOWN LED晶升（蜗升）快速电机快降指示灯OFFSET调零晶升（堪升）电机驱动器调零电位器REF比值 晶升（蜗升）电机驱动器比值电位器LIMET限流 晶升（堀升）电机驱动器限流电位器GAIN增益 晶升（堪升）电机驱动器增益电位器晶升、堀升速度系统的电源开关，速度给定操作及参数显示均由控制柜上的液晶触摸屏完成。晶升、堪升速度系统的快速操作及晶升手动给定由HX-SEED2引晶装置完成。速度参数显示画面如图3所示：其操作说明参见TDR-ADC控制软件说明。图3、TDR-ADC晶升蜗升速度控制参数显示画面10.1.1 晶升速度调试晶升速度系统的电机选用日本三洋公司生产的M818T-031伺服电动 机带测速机组，晶升速度控制器选用12A8型脉宽调速器。有关M818T-031伺服电机及12A8驱动器的介绍见其产品说明书或 本说明书后面的产品简介。1）晶升机械传动装置晶升传动比：1： 1800提拉头绕丝轮周长：200mm2）晶升技术指标晶升单元是四套速度中最复杂的，其主要技术指标如下：晶升速度范围：0.28.00mmmin晶升/蜗升跟踪范围：1.00mmmin晶升时f±升从00.300mmmin 可调。晶升快速升/降速度：N200mmmin。3）晶升速度调试速度显示调试：晶升给定20%50%时，调TDR-SL-DRI插件上的"增益”电位器, 使增益最大且电机不震动为好。当晶升速度为0.100.50mmmin之间时 （以平均拉速或千分表实测 为准），调TDR-SL-CON板上的ZSL（AD）晶升速度测量零点电 位器，使晶升速度显示值为与实际值相等。当晶升速度为2.005.00mmmin之间时（以平均拉速或千分表实测 为准），调TDR-SL-CON板上的FSL（AD）晶升速度测量满度电 位器，使晶升速度显示值为与实际值相等。同时调TDR-SL-CON板 上的FSL DIS晶升手操器显示满度电位器，使手操器上显示器显 示值与实际值相等。反复调零点及满度直到速度显示值与实际值在 误差范围内为止。给定调试：晶升给定为0时，调TDR-SL-CON板上的7SL SP晶升速度给 定零点电位器，使晶升速度为零。晶升给定为100%时，调TDR-SL-CON板上的F SL SP的晶升速 度给定满度电位器，使晶升速度为8.0012.00mmmin。2.1.2蜗升速度调试堀升速度系统采用双电机结构，堀升速度系统的慢速电机选用日本三 洋公司生产的M818T- 031伺服电动机带测速机组，控制器选用12A8型脉宽调速 器。1）蜗快速伺服电动机特性参数：伺服电动机型号：无刷直流电机驱动器BL-2203C额定电压：220VAC额定电流：不大于4A额定转速：依所选电机确定（8000转max）2）蜗升机械传动装置蜗慢升传动比：1:124003）蜗升技术指标 控制蜗升速度，蜗升速度范围：0.02mmlmmmin速度由晶升控制，两者为随动跟踪关系，跟踪速度可调。限位保护堀升上限位时"，停止上升操作。蜗升下限位时，停止下降操作。4）蜗升速度调试速度显示调试：瑞升给定20%50%时，调TDR-CL-DRI插件上的"增益”电位器, 使增益最大且电机不震动为好。当蜗升速度为0.0100.050mmmin之间时（以平均拉速或千分表实 测为准），调TDR-CL-CON板上的ZCL （AD）：堪升速度测量零点 电位器，使蜗升速度显示值为与实际值相等。当蜗升速度为0.2000.500mmmin之间时（以平均拉速或千分表实 测为准），调TDR-CL-CON板上的FCL （AD）蜗升速度测量满度 电位器，使蜗升速度显示值为与实际值相等。反复调零点及满度直 到速度显示值与实际值在误差范围内为止。给定调试：蜗升给定为0时，调TDR-CL-CON板上的ZCL SP蜗升速度给 定零点电位器，使堪升速度为零。堪升给定为100%时，调TDR -CL-CON板上的FCLSP的蜗升速度给定满度电位器，使蜗升 速度为 0.8001.200mmmin°5）蜗快升速度调试按照电气接线图，确认接线正确后，通电后，通过驱动器面板上的电 位器直接调解电机转速，操作安全方便，使电机转速在1000转即可。2.2 TDR-ADC晶转蜗转速度系统调试晶转、蜗转速度控制系统由TDR -ADC晶体生长控制柜中的TDR-SRCR晶转蜗转速度控制单机、日 本安川公司的交流伺服电机、减速机构及相应的连接电缆组成。TDR -SRCR晶转蜗转速度控制单机通过CAN BUS现场总线通讯接口， 与上位工控机相连，实现晶转蜗转电机的控制；TDR -SRCR晶转蜗 转速度控制单机内还安装了 3路+24V电源，分别提供PLC可编程 控制器、柜内控制元件及主机上的电磁离合器使用，安装了 1路+5V电源，提供HX-SEED2引晶操作单元及HX-TDR主机分线盒接 口装置使用。该单机的前后面板如下图所示：图1、TDR -SRCR晶转蜗转速度控制单机前面板图2、TDR -SRCR晶转蜗转速度控制单机后面板从前面板由左向右排，各控制板的功能如下表所列：表1、TDR -SRCR晶升蜗升速度控制单机配置板表序号名称功能1控面板(大)内装两个安川电机驱动器2 TDR -SRCR -AC SERVO晶转堪转速度驱动3 TDR -SRCR-CPU晶转蜗转控制CPU4 TDR -ADC-P7 晶转蜗转控制电源(+5V, ±12V, +5VCAN)5 TDR -ADC-P2 PLC> I/O 控制电源(+24V PLC,+24V I/O)6 TDR -ADC-P8电磁离合器电源(+24VLHQ)其中晶转蜗转控制CPU板是晶转蜗转速度系统调试中最重要的，其指示灯及电位器的功能如下表所列：表2、晶转堪转控制CPU板指示灯、电位器的功能表序号名称功能1 RUN LED运行指示灯2 485 LED 不用3 CAN LED CAN通讯指示灯4 ALM LED报警指示灯5 CDR LED堪转电机转动方向指示灯6 SDR LED晶转电机转动方向指示灯7 SR LED晶转速度指示灯8 CR LED蜗转速度指示灯9SRSP晶转给定频率满度电位器10CRSP蜗转给定频率满度电位器晶转、堀转速度系统的电源开关、方向切换、速度给定操作及参数显 示均由控制柜上的液晶触摸屏完成。速度参数画面如图3所示：2.2.1 晶转蜗转速度交流伺服电机简介晶转、蜗转速度控制系统采用日本安川公司生产的交流伺服电机控制 系统。电机型号为：SGMAH-04AAA41 ,控制器型号为： SGDM-04ADA,该电机带有编码器及专用控制器，控制器上有显示 窗口，可以设置、调整电机运行参数，显示电机运行状态及过载情况。 控制器有多种运行方式及参数可供用户选择。该套系统具有控制可 靠、精度高、体积小等特点。晶转传动比：1： 100 ；蜗转传动比: 1： 140o有关交流伺服电机及控制器的介绍见其产品说明书或本说 明书后面的产品简介。图3、晶转堪转速度控制参数显示画面其操作说明参见TDR-ADC控制软件说明。2.2.2 晶转蜗转速度调试1）晶转速度调试速度显示调试：晶转给定频率为075.00KH时，电机转速为0900RPM,由于减 速比为1： 30,这时晶转速度约为030RPM。当晶转速度为15RPM 时，用秒表实测晶转速度，修正晶转显示系数使晶转速度与实测值相 等即可。给定调试：晶升给定为75.00KH时"，调TDR-SRCR-CPU插件上的晶转给定电 位器SRSP,使电机转速为900RPM,即晶转速度为30RPM。2）蜗转速度调试速度显示调试：蜗转给定频率为025.00KH时，电机转速为0300RPM,由于减 速比为1：30,这时蜗转速度为约010RPM。当蜗转速度为5RPM 时，用秒表实测堪转速度，修正蜗转显示系数使堪转速度与实测值相 等即可。给定调试：蜗转给定为25.00KH时，调TDR-SRCR-CPU插件上的蜗转给定电 位器CRSP,使电机转速为300RPM,即蜗转速度为10RPM。2.3 TDR-ADC温度控制系统调试温度控制系统由TDR-TEMP温度控制及工控机单机、欧陆818S温 度控制仪表、加热功率柜、面板电流电压表及操作按键组成。2.3.1 TDR-TEMP温度控制及工控机单机该单机由两部分组成，单机左边为嵌入式工业控制机，单机右边为双 回路加热触发控制电路及温度测量控制CPU,该单机的前后面板如 图1、图2所示：图1、TDR -TEMP温度控制单机前面板图2、TDR -TEMP温度控制单机后面板从前面板由左向右排，各控制板的功能如下表所列：表1、TDR -TEMP温度控制单机配置板表序号名称功能1 TDR -IPC-ECM嵌入式主控板2 TDR -ADC-P5控制主机电源板3 TDR -ADC-P1 温度控制电源(+5V, ±12V, +24V)4 TDR -TEMP-CPU 温度控制 CPU 板5 TDR -TEMP-CON温度主加热控制板T16 TDR -TEMP-TRI温度主加热脉冲分配板T17 TDR -ADC-P2 温度加热电源板(+24VT1, +24V T2)8TDR-ADC-P6 温度加热电源板(±15VT1, ±15VT2)9 TDR -TEMP-CON温度辅助加热控制板T2 (不用)10TDR -TEMP-TRI温度辅助加热脉冲分配板T2 (不用)其中单机中TDR-TEMP-CPU插件及TDR-TEMP-CON插件是温度系统调试中最重要的，其指示灯及电位器的功能如下表所列：表2、TDR -TEMP-CPU板指示灯、电位器的功能表序号名称功能1 RUN LED运行指示灯2 485 LED （不用）3 CAN LED CAN通讯指示灯4 ALM LED报警指示灯5 R-2 LED温度辅助加热过流复位开关指示灯（不用）6R-1LED温度主加热过流复位开关指示灯7 VI温度主加热电压测量满度电位器811温度主加热电流测量满度电位器9V2温度辅助加热电压测量满度电位器（不用）1012温度辅助加热电流测量满度电位器（不用）11 Vo温度主加热输出满度电位器（不用）表3、TDR -TEMP-CON指示灯、电位器的功能表序号名称功能1 Io LED过流报警指示灯2RW2 e V加热电压满度电位器3RW1 e T限流电位器4RW3 e Z加热电压零点电位器5RW4 #TA A相同步电压调平衡电位器6RW5 TB B相同步电压调平衡电位器7RW6 TC C相同步电压调平衡电位器8 RESET过流复位按钮温度控制系统的参数显示由控制柜上的液晶触摸屏完成，温度给定操 作由欧陆818S温度控制仪表完成，温度参数画面如下页图所示： 图3、温度控制参