四氯化硅的制备工艺综述.docx

文档word格式，可根据实际情况编辑修改四氯化硅的制备工艺综述四氯化硅的制备工艺综述刘邦煜1,刘涛泽2,叶春1【摘要】对SiCl4的传统工业生产方法(如工业硅氯化法、硅铁氯化法等)和新发展的制备方法(如硅藻土氯化法、工农业副产物制备SiCl4)进行了分析比较研究,展望了SiCl4制备工艺及应用的发展方向,指出利用硅藻土以及多晶硅副产物制备SiCl4的途径前景广阔,而SiCl4分离提纯技术是解决副产SiCl4出路的关键。【期刊名称】应用化工【年(卷),期】2019(048)008【总页数】4【关键词】SiCl4；高纯SiCl4；多晶硅；硅藻土修改稿日期：2019-01-09基金项目：贵州省科教青年英才培养工程项目(2012-159)；贵阳市科技计划项目(2012205)SiCl4是具有强烈窒息性气味的挥发性液体,可作为气相白炭黑、高纯硅及有机硅化物的生产原料,应用领域十分广泛1。SiCl4的传统生产方法主要有工业硅、硅铁、碳化硅氯化法,均存在能耗高、成本高、污染重的问题,随着国家对环境资源的重视,亟需研发具有资源节约、社会友好属性的SiCl4生产新方法2-3。近年发展起来的利用硅藻土生产SiCl4的工艺,大幅降低生产成本,是硅工业的新突破4；多晶硅副产SiCl4由于产量巨大及环境污染问题突出,已成为工业获取SiCl4来源的主要关注方向5-6；为了实现富硅质废弃物的资源化利用,通过稻壳、废触体等工农业副产物制取SiCl4的方法已成为研究热点7-10。本文对2精选文档