手套箱等设备技术参数(共3页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上手套箱等设备技术参数序号主要技术要求及配置要求1设备名称及采购数量：手套箱3套，气体净化系统2套一、技术参数：（一）手套箱：1、箱体要求：304不锈钢材质, 尺寸分别2000mm*1000mm，1500mm*780mm, 1500mm*780mm；2、箱体泄漏率：<0.05vol%/h；3、微型过渡舱1个（长400mm，直径150 mm），T型过渡舱2个（长600mm，直径390mm），均须内置滑盘；4、前窗面板为Lexan材质，厚度10mm，手套孔圈为POM材质；5、防疲劳照明系统，需有防漫射功能，安装于前窗顶部；6、溴丁基橡胶手套，厚度0.4 mm，末端口径220 mm；7、必须配置三层高度可调的搁物架；8、HEPA过滤器的过滤级别可达H13，风速0.25米/秒，洁净度千级以上；9、箱体出气口带有有机溶剂吸附装置；10、箱体安装石英玻璃窗；11、箱体底部配有支架和旋转脚轮，可微调水平。（二）气体净化系统：1、水氧净化系统：进口循环泵；净化柱自动再生程序；SUS304不锈钢管道；2、可得气体纯度：水<1 ppm，氧<1 ppm；3、主控阀：MB EPV-40 VAT电磁气动阀；4、PLC控制，箱体工作压力在+/-15 mbar范围内进行调节，带有可调节压力的脚踏开关；5、配有真空泵，真空度2x10-3 mbar以上，抽速12 m3/h，原厂气镇和油雾过滤器；6、水探头：检测范围0-500 ppm；耐腐蚀，PLC集成控制，灵敏度10 mv/ppm，精确度0.1 ppm，设计寿命5年以上；7、氧探头：检测范围0-1000 ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，灵敏度不低于10 mv/ppm，精确度不低于0.1 ppm，设计寿命5年以上；8、有机溶剂吸附装置，5kg以上活性炭可更换，灰尘吸附功能，抽真空功能。（三）加热面板：箱体内须配备2个加热面板，参数如下：1、加热输出功率：1000 W ；2、加热温度范围：50-600 °C ；3、带传感器控温精确度：±3 K ；4、介质温度稳定性：±3 K ；5、加热速度：5 K/min。（四）系统集成要求：3个箱体通过T型过渡舱连接成一套手套箱系统，3个舱门，中间箱体右侧另配备微型过渡舱。二、配置要求：1、箱体集成气体净化系统；2、6个DN40KF法兰接口3、BNC和BANANA插头位于箱体上4、电路改造：符合设备及空调安装要求，配置多路接线插座2设备名称及采购数量：匀胶机1台一、技术参数：匀胶机为非标定制，操作界面须与手套箱底板融为一体，真空、补气管路与手套箱集成控制系统必须完全融为一体。所集成甩胶机参数如下：1、匀胶机须通过手套箱的PLC控制系统进行设置；2、整机泄漏率：<0.05vol%/h；3、顶部带有透明密封罩；4、能处理尺寸不小于 8''的wafer或6''x6''的基片；5、转速范围：1007000 rpm；6、可编辑的程序菜单数量：不少于10个；7、主材质：须耐绝大多数的有机溶剂；8、速度阶段：0-10个阶段；9、每阶段时间范围：0-999秒；10、内置可更换式的防污染碗；11、配有脚踏开关。3设备名称及采购数量：光刻机1台一、技术参数：1、曝光面积：150 mm×150 mm；2、分辨力：0.8-1 m（胶厚2m的正胶）；3、对准精度：±0.6 mm；4、照明均匀性：±3%（f100 mm范围），±5%（f150 mm范围），±6%（150 mm×150 mm）5、曝光波长：365 nm；6、曝光能量密度： 20 mW/cm2；7、光源平行性：2度8、最大胶厚：500 m（SU8胶）9、掩模相对于样片运动行程：X：±5 mm，Y：±5 mm，q：±6度；10、曝光方式：定时和定剂量。二、配置要求：1、曝光头：包括冷光椭球镜、直流高压汞灯、三维汞灯调节台、光学系统、冷却系统。2、对准系统：包括对准工件台、对准显微镜和CCD对准系统。3、电控系统：包括单片机控制系统、计算机控制器及控制桌柜等。4、气动系统：真空泵及相关配件等。5、电路改造：符合设备及空调安装要求，配置多路接线插座。注：加部分技术参数负偏离将视为未实质响应。专心-专注-专业