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偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究目录主要参考文献主要参考文献 5论文综述及问题提出论文综述及问题提出1论文的理论基础论文的理论基础2论文计划、进度及待解决的问题论文计划、进度及待解决的问题3研究的基本内容研究的基本内容4 至今人们提出了多种方法：至今人们提出了多种方法： 椭圆偏振测量法、椭圆偏振测量法、 干涉测量法、干涉测量法、 光谱法光谱法 阿贝勒阿贝勒(Abeles)(Abeles)方法、方法、 棱镜耦合法棱镜耦合法 偏振光反射法偏振光反射法1. 问题研究方法概况外差干涉测量、等厚干涉法、测量干涉色测量 透射光谱法透射光谱法反射光谱法反射光谱法1989年日本的Tami Kihara和Kiyoshi Yokomori首次提出通过测量薄膜的反射率可以同时求解出薄膜的厚度和折射率。 宋敏研究的理论依据 0112101121e xp(2)1e xp(2)sssssrrirrri112222110042(s i n)dnn2rssR11101201012011112222001101202012022212222002, ,cos, , ,24 (sin), ,cos, , ,24 (sin)ssssssF n n nG n n nRmnnF n n nG n n nRmnn 第一章绪论第一章绪论 1.1薄膜技术的发展及应用薄膜技术的发展及应用 1.2薄膜参数测量方法综述薄膜参数测量方法综述 1.3本论文的研究背景、目的及意义本论文的研究背景、目的及意义 1.4本论文主要内容及安排本论文主要内容及安排4.论文的基本内容：论文的基本内容： 3.论文的基本内容：论文的基本内容： 第二章基于反射法薄膜参数测量系统原理 2.1单层薄膜的多光束干涉原理 2.2反射法测定薄膜光学参数原理 2.3薄膜测量系统装置4.论文的基本内容：论文的基本内容： 第三章优化算法 3.1三点拟合算法 3.2多点拟合算法 3.3逐次逼近拟合算法 3.4三种算法精度对比 1、优化算法、优化算法 2、光路系统的搭建、光路系统的搭建 3、实验光路的改进与优化、实验光路的改进与优化 4、能精确测量镀膜参数的范围，膜、能精确测量镀膜参数的范围，膜和衬底的选取和衬底的选取 突破的难点：突破的难点：恳请各位老师同学提出宝贵意见！3 .论文计划、进度及待解决的问题论文计划、进度及待解决的问题1、论文计划（1）201106201108模拟噪声存在时的测试情况。反射法测量光路的设计及搭建实验平台。（2）201108201110进行反射法测试实验，从中发现问题并对其逐步完善，反射光强信号的探测及其处理，数据的反演。（3）2011102012.05进行论文的撰写。（4）2012.052012.06审查答辩。2、论文进度：理论部分，优化了反射法测量薄膜参数的算法。推导出反射法测量薄膜参数的公式。完成了模拟实验。实验部分，完成实验平台的搭建。3 、论文计划、进度及待解决的问题论文计划、进度及待解决的问题 第五章模拟与实验 5.11S偏振光模拟 5.1单层薄膜实验模拟 5.12P偏振光模拟 5.13两种偏振光精度对比 5.21二氧化硅膜，硅衬底 5.2单层薄膜实测数据 5.22二氧化硅膜，玻璃衬底 5.23PMMA膜，玻璃衬底 5.3多层薄膜实验数据 5.4测试结果分析 第六章 全文总结与展望3 、论文计划、进度及待解决的问题论文计划、进度及待解决的问题 第四章薄膜测量系统和软件 4.1薄膜测试系统硬件介绍 4.2薄膜测试系统软件介绍 3、待解决的问题： （1）实验平台的改进与优化。 （2）理论上进一步优化算法。 （3）通过前期的实验，对实验平台存在的不足进行改进与完善。论证改进性能的方法及工作的展望。 4、主要参考文献：、主要参考文献：