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    第四章电容传感器精选文档.ppt

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    第四章电容传感器精选文档.ppt

    第四章电容传感器本讲稿第一页,共十一页近似:略去三次以上项:非线性误差:结论:(4)差动结构:灵敏度提高一倍 非线性误差减小 补偿温度变化(1)只有测量范围很小时具有线性(近似);(2)灵敏度与初始极距平方成反比:减小极距-提高灵敏度,受限:(1)非线性误差增大;(2)极距过小-电容器击穿、短路 一般:0=0.10.2mm,C0=20100pF(3)灵敏度与介电常数成正比:=0r 加入固体介质:高介电常数(云母/塑料)本讲稿第二页,共十一页2、变面积型电容传感器电容:(a)扇形平板结构;(b)柱面板结构相对变化:结论:灵敏度:(1)传感器输出为线性;(2)灵敏度与初始极距成反比:减小极距-提高灵敏度,(3)保持极距不变:中间移动式;(4)差动结构:提高灵敏度 本讲稿第三页,共十一页2、变介质型电容传感器电容:插入式:影响:降低灵敏度,产生非线性;极板厚度h/极距之比 越大-严重;边缘效应因子(表4-1)应用:测量厚度、湿度二、电容传感器存在问题及措施1、边缘效应:措施:带保护环-增强均匀性;降低极板厚度-金属薄膜本讲稿第四页,共十一页2、静电引力:影响:电缆-寄生电容-与传感器电容并联 随机-影响输出特性,电缆越长-影响越严重 远大于传感器电容(20100pF)-淹没;影响:极板之间存在静电场-静电引力/力距-弹性元件-误差;3、寄生电容:措施:措施:理论计算-补偿,表4-2(1)增大传感器初始电容:减小极距,增大面积,减小寄生电容影响;(2)注意传感器的接地与屏蔽:屏蔽线至传感器壳内,“一点接地”(3)缩短电缆长度,加大线径:(4)小型化:将前置放大器与传感器安装在一个壳体内,固定不变(5)集成化:将传感器与前置电路集成于同一芯片上,最佳本讲稿第五页,共十一页(6)驱动电缆法:)驱动电缆法:(7)整体屏蔽法:)整体屏蔽法:(8)虚地法:)虚地法:等电位屏蔽法 双层屏蔽等位传输法双层屏蔽电缆:内屏蔽层,外屏蔽层(接地)驱动放大器:增益为1,接内屏蔽层,信号线与内屏蔽层等电位,消除信号线与内屏蔽层之间电容要求:增益=1,准确(1/10000);恒定不变(宽频带);容性负载:内外屏蔽层间电容特点:精度高,抗干扰性能好,电路复杂,原理:将传感器、传输电缆和前置电 路统一屏蔽,关键:如何接地 特点:效果好,结构复杂,信号线接放大器虚地(输入端)本讲稿第六页,共十一页(1)温度对传感器结构影响:4、温度影响:、温度影响:三、电容传感器特点及应用三、电容传感器特点及应用特点:分辨力极高(电容值10-7,相对值100%200%,位移0.01m);动极板质量小,惯性小,动态响应好;非接触,自身发热和功耗小;结构简单,不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强温度变化-尺寸变化-电容变化(极距小时更敏感)-误差 材料不同-热胀系数不等-热变形不均匀-间隙加大-误差(2)温度对介质的影响:温度变化-介电常数变化-电容改变不同介质,影响程度不同-空气、云母等基本不变;液体影响大应用:微信息检测-测微仪、;静态测量-金属零件计数 高频信号检测-振动,转速;本讲稿第七页,共十一页1-测杆:2-片簧:3-定极板;4-动极板:1、电容式位移传感器:、电容式位移传感器:三、电容传感器特点及应用三、电容传感器特点及应用原理:变介质型 变极距型;2、电容式厚度传感器:、电容式厚度传感器:特点:接触式测量差动结构:特点:非接触式测量应用:纸张、绝缘薄膜等本讲稿第八页,共十一页加速度-质量块-弹性元件-变形-电容变面积型3、电容式加速度传感器:、电容式加速度传感器:三、电容传感器特点及应用三、电容传感器特点及应用1-动极板2-定极板3-绝缘材料4-弹性体5-支架4、电容式力传感器:、电容式力传感器:本讲稿第九页,共十一页压差-膜片-变形-电容变极距型 差动结构5、电容式压力传感器:、电容式压力传感器:三、电容传感器特点及应用三、电容传感器特点及应用变介质型:液位传感器-液位变化引起不同介电质的高度 物位传感器-非导电固体颗粒6、电容式液位、电容式液位/物位传感器:物位传感器:本讲稿第十页,共十一页1、差动式梳齿形容栅传感器、差动式梳齿形容栅传感器四、容栅传感器四、容栅传感器2、多级片型容栅传感器、多级片型容栅传感器3、特点:定极板-两组极栅,等间隔,交叉 动极板-极距相同,栅宽相同相对移动-电容周期变化-脉冲信号多个差动式变面积型电容传感器的并联 动尺-一系列发射电极片,宽度间隔l0 定尺-一系列接收电极片,宽度间隔l0/4相对移动-电容周期变化-脉冲信号多个差动式变面积型电容传感器的并联4、应用:量程大-长定尺,150mm,300mm精度高-误差平均效应测量位移-数显卡尺,分辨力0.01mm本讲稿第十一页,共十一页

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