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霍尔传感器本讲稿第一页，共四十九页主要内容：主要内容：基本磁学量及测量方法基本磁学量及测量方法磁电感应式传感器磁电感应式传感器霍尔式传感器霍尔式传感器.第第第第4 4 4 4章章章章磁电磁电磁电磁电式传感器式传感器式传感器式传感器本讲稿第二页，共四十九页4.1 基本磁学量及测量方法一、基本磁学量一、基本磁学量磁感应强度磁感应强度B磁场强度磁场强度H磁通磁通 磁化强度磁化强度M本讲稿第三页，共四十九页4.1 基本磁学量及测量方法基本磁学量及测量方法 磁感应强度磁感应强度B:某处垂直于磁场的某处垂直于磁场的电流元电流元所受的力为该处磁感应强度的大所受的力为该处磁感应强度的大小，即小，即 在国际单位制中在国际单位制中B的单位为的单位为T（特斯拉），即（特斯拉），即在电磁单位制中，在电磁单位制中，B的单位为的单位为GS（高斯），其关系为（高斯），其关系为本讲稿第四页，共四十九页4.1 基本磁学量及测量方法基本磁学量及测量方法磁场强度磁场强度H 单位单位点磁荷点磁荷在所在处受磁场力的大小，其方向与正磁荷在在所在处受磁场力的大小，其方向与正磁荷在该处所受磁场力的方向一致。该处所受磁场力的方向一致。设点磁极的磁荷为设点磁极的磁荷为 ，它在磁场某处受力为，它在磁场某处受力为F，该处磁场，该处磁场强度为强度为在国际单位制中，在国际单位制中，H的单位为的单位为A/m（安每米）（安每米）.在电磁单位制中，在电磁单位制中，H的单位为的单位为Oe（奥斯特），关系为（奥斯特），关系为本讲稿第五页，共四十九页4.1 基本磁学量及测量方法基本磁学量及测量方法磁通磁通 (磁力线、磁感应线）磁力线、磁感应线）规定穿过某一闭合轮廓界定面规定穿过某一闭合轮廓界定面S的磁感应线的数目为与该面（或闭的磁感应线的数目为与该面（或闭合轮廓）相交链的磁通量合轮廓）相交链的磁通量,其表达式为其表达式为 式中，式中，dS为面积元矢量。为面积元矢量。的正方向与闭合轮廓的绕行方向符合右手螺旋定则，的正方向与闭合轮廓的绕行方向符合右手螺旋定则，即与界定面的正法线方向一致。即与界定面的正法线方向一致。在国际单位制中，磁通的单位为在国际单位制中，磁通的单位为 （），或称），或称Wb（韦伯）。（韦伯）。在电磁单位制中，磁通的单位为在电磁单位制中，磁通的单位为Mx（麦克斯韦），其关系为（麦克斯韦），其关系为本讲稿第六页，共四十九页4.1 基本磁学量及测量方法基本磁学量及测量方法磁化强度磁化强度M为描述磁介质的磁化状态，磁化强度矢量定义为单为描述磁介质的磁化状态，磁化强度矢量定义为单位体积内分子磁矩的矢量和，即位体积内分子磁矩的矢量和，即式中式中 为体积为体积 内所有分子磁矩的矢量和。内所有分子磁矩的矢量和。在国际单位制中，在国际单位制中，M的单位为的单位为A/m（安每米），其电（安每米），其电磁单位制的关系为磁单位制的关系为本讲稿第七页，共四十九页4.1 基本磁学量及测量方法基本磁学量及测量方法二、测量方法介绍二、测量方法介绍力和力矩法力和力矩法 利用铁磁体或载流体在磁场中受的力进行测量，是一种经典的测量方法。电磁感应法电磁感应法 以法拉第电磁感应定律为基础，是一种基本的测量方法。它可用于测量直流磁场，交流磁场和脉冲磁场。霍尔效应法霍尔效应法 利用半导体内载流子在磁场中受力作用进行磁场测量的方法。磁阻效应法磁阻效应法 利用物质在磁场作用下电阻发生变化的特性进行磁场测量的方法。本讲稿第八页，共四十九页4.1 基本磁学量及测量方法基本磁学量及测量方法磁通门法磁通门法 利用铁磁材料的交流饱和磁特性对恒定磁场进行测量的方法。磁共振法磁共振法 利用某些物质在磁场中选择性地吸收或辐射一定频率的电磁波，引起微观粒子（核、电子及原子）的共振跃迁来进行测量的方法。弱连接超导效应法弱连接超导效应法 利用超导弱连接的磁通量子化或约瑟夫逊效应制成的磁强计，称为超导量子干涉仪，是目前世界上最灵敏的磁强计，主要用于测量微弱磁场。磁光法磁光法利用传光材料在磁场作用下的法拉第磁光效应和磁致伸缩效应等进行磁场测量的方法。基于这种方法的光纤传感器具有独特优点，可用于恶劣环境下的磁场测量本讲稿第九页，共四十九页第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器 磁感强度与磁场源的分布磁感强度与磁场源的分布本讲稿第十页，共四十九页4.24.2 磁电感应式传感器磁电感应式传感器磁电感应式传感器磁电感应式传感器第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传磁电式传磁电式传磁电式传感器感器感器感器 磁磁磁磁电电电电感感感感应应应应式式式式传传传传感感感感器器器器是是是是利利利利用用用用电电电电磁磁磁磁感感感感应应应应原原原原理理理理，将将将将运运运运动动动动速速速速度度度度、位位位位移移移移等等等等物物物物理理理理量量量量转转转转换换换换成成成成线线线线圈圈圈圈中中中中的的的的感感感感应应应应电电电电动动动动势势势势输输输输出出出出。工工工工作作作作时时时时不不不不需需需需要要要要外外外外加加加加电电电电源源源源，可可可可直直直直接接接接将将将将被被被被测测测测物物物物体体体体的的的的机机机机械械械械能能能能转转转转换换换换为为为为电电电电量量量量输输输输出。是典型的有源传感器。出。是典型的有源传感器。出。是典型的有源传感器。出。是典型的有源传感器。特特特特点点点点：输输输输出出出出功功功功率率率率大大大大，稳稳稳稳定定定定可可可可靠靠靠靠，可可可可简简简简化化化化二二二二次次次次仪仪仪仪表表表表，但但但但频频频频率率率率响响响响应应应应低低低低。通通通通常常常常在在在在10100HZ,10100HZ,10100HZ,10100HZ,适适适适合合合合作作作作机机机机械械械械振振振振动动动动测测测测量量量量、转转转转速速速速测测测测量量量量。传感器尺寸大、重。传感器尺寸大、重。传感器尺寸大、重。传感器尺寸大、重。磁电式传感器机机械械能能电电 量量本讲稿第十一页，共四十九页原理原理法拉第电磁感应定律法拉第电磁感应定律线圈所交链的磁通线圈所交链的磁通 发发生变化时，线圈中将产生感应电动势生变化时，线圈中将产生感应电动势 第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器4.24.2 磁电感应式传感器磁电感应式传感器磁电感应式传感器磁电感应式传感器本讲稿第十二页，共四十九页l 磁场检测方法磁场检测方法 1.固定线圈法固定线圈法：用于测交变磁场的探测线圈固定在被测 磁场中某位置不变。2.抛移线圈法抛移线圈法:将线圈从被测场位置迅速移动到无磁场 处，主要测恒定磁场。3.旋转线圈法（测量发电机法旋转线圈法（测量发电机法）：适用于测量恒定磁场。第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器4.24.2 磁电感应式传感器磁电感应式传感器磁电感应式传感器磁电感应式传感器本讲稿第十三页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍尔霍尔霍尔霍尔传传感器感器感器感器 第第4 4章章磁磁电式传感器电式传感器n 磁磁敏敏元元件件基基于于磁磁电电转转换换原原理理,60,60年年代代西西门门子子公公司司研研制制了了第第一一个个磁磁敏敏元元件件,68,68年年索索尼尼公公司司研研制制成成磁磁敏敏二极管二极管,目前磁敏元件应用广泛。目前磁敏元件应用广泛。磁 敏 元 件磁敏传感器主要有：磁敏传感器主要有：磁敏电阻；磁敏电阻；磁敏二极管；磁敏二极管；磁敏三极管；磁敏三极管；霍尔式磁敏传感器。霍尔式磁敏传感器。本讲稿第十四页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍尔霍尔霍尔霍尔传传感器感器感器感器 第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器 霍霍霍霍尔尔尔尔传传传传感感感感器器器器属属属属于于于于磁磁磁磁敏敏敏敏元元元元件件件件，磁磁磁磁敏敏敏敏元元元元件件件件是是是是基基基基于于于于磁磁磁磁电电电电转转转转换换换换原原原原理，理，理，理，磁敏传感器是把磁学物理量转换成电信号。磁敏传感器是把磁学物理量转换成电信号。磁敏传感器是把磁学物理量转换成电信号。磁敏传感器是把磁学物理量转换成电信号。随随随随着着着着半半半半导导导导体体体体技技技技术术术术的的的的发发发发展展展展，磁磁磁磁敏敏敏敏元元元元件件件件得得得得到到到到应应应应用用用用和和和和发发发发展展展展，广广广广泛泛泛泛用用用用于于于于自自自自动动动动控控控控制制制制、信信信信息息息息传传传传递递递递、电电电电磁磁磁磁场场场场、生生生生物物物物医医医医学学学学等等等等方方方方面面面面的的的的电电电电磁、压力、加速度、振动测量。磁、压力、加速度、振动测量。磁、压力、加速度、振动测量。磁、压力、加速度、振动测量。特点：结构简单、体积小、动态特性好、寿命长。特点：结构简单、体积小、动态特性好、寿命长。特点：结构简单、体积小、动态特性好、寿命长。特点：结构简单、体积小、动态特性好、寿命长。磁敏传感器磁磁学学量量电电信信号号本讲稿第十五页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.1 4.3.1 4.3.1 4.3.1 霍尔效应霍尔效应霍尔效应霍尔效应第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器 霍霍尔尔传传感感器器就就是是基基于于霍霍尔尔效效应应，把把一一个个导导体体（半半导导体体薄薄片片）两两端端通通以以控控制制电电流流I I，在在薄薄片片垂垂直直方方向向施施加加磁磁感感强强度度B B的的磁磁场场，在在薄薄片片的的另另外外两两侧侧会会产产生生一一个个与与控控制制电电流流I I和和磁磁场场强强度度B B的的乘乘积积成成比比例例的电动势的电动势 .通通电电的的导导体体（半半导导体体）放放在在磁磁场场中中，电电流流I I与与磁磁场场B B方方向向垂垂直直，在在导导体体另另外外两两侧侧会会产产生生感感应应电电动动势势，这种现象称这种现象称霍尔效应霍尔效应。本讲稿第十六页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.1 4.3.1 4.3.1 4.3.1 霍尔效应霍尔效应霍尔效应霍尔效应第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传磁电式传磁电式传磁电式传感器感器感器感器 在磁场中导体自由电子在磁场的作用下做定向运动。在磁场中导体自由电子在磁场的作用下做定向运动。每个电子受洛仑兹力作用被推向导体的另一侧：每个电子受洛仑兹力作用被推向导体的另一侧：霍尔电场霍尔电场霍尔电场作用于电子的力霍尔电场作用于电子的力本讲稿第十七页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.1 4.3.1 4.3.1 4.3.1 霍尔效应霍尔效应霍尔效应霍尔效应第第第第4 4 4 4章章章章磁电磁电磁电磁电式传感器式传感器式传感器式传感器 当两作用力相等时电荷不再向两边积累，当两作用力相等时电荷不再向两边积累，达到动态平衡：达到动态平衡：通过（半）导体薄片的电流通过（半）导体薄片的电流I与载流子浓度与载流子浓度n，电子运动速度电子运动速度v，薄片横截面积，薄片横截面积 b*d 有关：有关：霍尔电势：霍尔电势：本讲稿第十八页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.1 4.3.1 4.3.1 4.3.1 霍尔效应霍尔效应霍尔效应霍尔效应第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器霍尔系数灵敏度本讲稿第十九页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.1 4.3.1 4.3.1 4.3.1 霍尔效应霍尔效应霍尔效应霍尔效应第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器讨论：讨论：任何材料在一定条件下都能产生霍尔电势，但不任何材料在一定条件下都能产生霍尔电势，但不 是都可以制造霍尔元件是都可以制造霍尔元件 绝缘材料电阻率很大，电子迁移率很小，不适用；绝缘材料电阻率很大，电子迁移率很小，不适用；金属材料电子浓度很高，金属材料电子浓度很高，R RH H很小，很小，U UH H很小。很小。半导体电子迁移率一般大于空穴的迁移率，所以半导体电子迁移率一般大于空穴的迁移率，所以 霍尔元件多采用霍尔元件多采用N N型半导体（多电子）。型半导体（多电子）。v由上式可见，厚度由上式可见，厚度d d越小，霍尔灵敏度越小，霍尔灵敏度 K KH H 越大，越大，所以霍尔元件做的较薄，通常近似所以霍尔元件做的较薄，通常近似1 1微米。微米。本讲稿第二十页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器霍尔传感器霍尔传感器霍尔传感器第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传磁电式传磁电式传磁电式传感器感器感器感器霍尔元件符号霍尔元件符号 本讲稿第二十一页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性第第第第4 4 4 4章章章章磁电磁电磁电磁电式传感器式传感器式传感器式传感器 霍尔晶体外形矩形薄片有四根引线，霍尔晶体外形矩形薄片有四根引线，两端加激励两端为输出；两端加激励两端为输出；电源电源E E，控制电流，控制电流I I；负载负载R RL L，R R可调保证控制电流，可调保证控制电流，B B磁场与元件面垂直（向里）。磁场与元件面垂直（向里）。实测中可把实测中可把I I或或B B单独做输入单独做输入 也可把也可把I*BI*B作输入。作输入。通过霍尔电势输出测量结果。通过霍尔电势输出测量结果。输出输出UoUo与与I I或或B B成正比关系。成正比关系。本讲稿第二十二页，共四十九页外形特点：四端元件,一对控制极，一对输出极；性能特点：结构简单，体积小；频带宽；非接 触测量，寿命长。但温度特性差，转换效率低。4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性本讲稿第二十三页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性电阻相对变化电阻相对变化温度低温度低-温度高温度高升温减小升温减小负温度系数负温度系数升温增大升温增大正温度系数正温度系数温度低温度低-温度高温度高霍耳电压相对变化霍耳电压相对变化砷化铟砷化铟硅硅锗锗碲化铟碲化铟锗锗温度特性温度特性本讲稿第二十四页，共四十九页磁特性：UH-B特性：I一定UH-I特性：B一定Ri-B,Ro-B特性：磁阻效应4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性本讲稿第二十五页，共四十九页InSb霍尔元件的输出特性UH-B特性：I一定4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性本讲稿第二十六页，共四十九页GaAs霍尔元件的输出特性 UH-B特性：4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性本讲稿第二十七页，共四十九页特性参数特性参数：w输入/输出电阻：Ri,RO (B=0,T一定）w温度系数(霍尔电压系数，电阻系数)w额定激励电流/最大激励电流：IN/Imw最大磁感应强度：Bmw霍尔灵敏度：KHw不等位电势：U no4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.2 4.3.2 4.3.2 4.3.2 霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性霍尔传感器基本特性本讲稿第二十八页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.3 4.3.3 4.3.3 4.3.3 霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿(1)(1)不等位电势不等位电势 第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传磁电式传磁电式传磁电式传感器感器感器感器 当当霍霍尔尔元元件件通通以以激激励励电电流流I I时时，若若磁磁场场B=0B=0，理理论论上上霍霍尔尔电电势势U UH H=0,=0,但但实实际际U UH H不不等等于于0 0，这这时时测测得得的的空空载载电电势势称称不不等等位位电电势势U U0 0。产生的原因：产生的原因：霍尔引出电极安装不对称霍尔引出电极安装不对称半导体材料不均匀半导体材料不均匀本讲稿第二十九页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.3 4.3.3 4.3.3 4.3.3 霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿(1)(1)不等位电势不等位电势 不等位电势的补偿不等位电势的补偿 第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器本讲稿第三十页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.3 4.3.3 4.3.3 4.3.3 霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿霍尔传感器的误差及补偿 (2)(2)温度误差及补偿温度误差及补偿 第第第第4 4 4 4章章章章磁电磁电磁电磁电式传感器式传感器式传感器式传感器霍霍尔尔元元件件是是半半导导体体元元件件，它它的的许许多多参参数数与与温温度度有有关关。当当温温度度T T变变化化时时，载载流流子子浓浓度度n n、迁迁移移率率、电电阻阻率率，霍霍尔系数尔系数R RH H 都会变化。都会变化。几种补偿方法：几种补偿方法：1、恒流源激励，消除Ri受温度影响。2、输入回路串入电阻，消除 UH受温度影响。3、选取合适负载电阻，消除Ro UH受温度影响。本讲稿第三十一页，共四十九页2.2.利用利用输入回路串电阻输入回路串电阻进行补偿进行补偿U UH HB B-+-等效电路等效电路在在t度下霍耳系数：度下霍耳系数：在在t度下输入电阻：度下输入电阻：本讲稿第三十二页，共四十九页由由得得温度引起的霍耳电压增量温度引起的霍耳电压增量:显然显然,当当 时时,温度变化不引起的霍耳电压输出。温度变化不引起的霍耳电压输出。结论：结论：输入补偿电阻数值：输入补偿电阻数值：（补偿前提：（补偿前提：）本讲稿第三十三页，共四十九页3.3.利用输出回路的负载利用输出回路的负载进行补偿进行补偿U UH HB B-+-等效电路等效电路恒流源恒流源恒流源恒流源在在t度下霍耳电压：度下霍耳电压：在在t度下输出电阻：度下输出电阻：本讲稿第三十四页，共四十九页 对上式求导，令对上式求导，令 ，即输出电压对温度，即输出电压对温度t t的变化率的变化率为零，得：为零，得：结论：用负载进行温度补偿结论：用负载进行温度补偿 所需负载电阻为：所需负载电阻为：本讲稿第三十五页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4 4.3.4 4.3.4 4.3.4 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电磁电磁电磁电式传感器式传感器式传感器式传感器(1)(1)测转速测转速(2)(2)测磁场测磁场(3)(3)位移测量位移测量(4)(4)压力测量压力测量(5)(5)开关开关 （6)6)测电流测电流检缺口检缺口 检齿检齿磁磁 场场 测测 量量本讲稿第三十六页，共四十九页w磁场测量磁场测量w 霍尔器件检测磁场的方法最简单，将霍尔器件放在被测磁场中，令磁力线和器件表面垂直，通电后即可由输出电压得到被测磁场的磁感应强度。若不垂直，则应求出其垂直分量来计算被测磁场的磁感应强度值。因霍尔元件的尺寸极小，可以进行多点检测，并可对狭缝，小孔中的磁场进行检测。4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4 4.3.4 4.3.4 4.3.4 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器本讲稿第三十七页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4 4.3.4 4.3.4 4.3.4 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器霍尔传感器位移测量原理霍尔传感器位移测量原理 本讲稿第三十八页，共四十九页产生梯度磁场的磁系统和霍尔位移传感器的静态特性产生梯度磁场的磁系统和霍尔位移传感器的静态特性 霍尔位移传感器霍尔位移传感器4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4 4.3.4 4.3.4 4.3.4 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器本讲稿第三十九页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4 4.3.4 4.3.4 4.3.4 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器霍尔压力传感器结构原理霍尔压力传感器结构原理 本讲稿第四十页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4 4.3.4 4.3.4 4.3.4 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器霍霍尔尔元元件件和和磁磁体体运运动动方方式式本讲稿第四十一页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.5 4.3.5 4.3.5 4.3.5 霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器1 1 集成霍尔元件集成霍尔元件本讲稿第四十二页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.5 4.3.5 4.3.5 4.3.5 霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器 线线性性集集成成电电路路(测测位位移移、测测振振动动)本讲稿第四十三页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.5 4.3.5 4.3.5 4.3.5 霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器 第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传磁电式传磁电式传磁电式传感器感器感器感器 开关集成器件开关集成器件(测转速、开关控制、判断测转速、开关控制、判断N SN S极性极性)B B、BB形成切换回差形成切换回差,这是位置式作用传感器的特点这是位置式作用传感器的特点,作无触点开关时可防止干扰引起的误动作作无触点开关时可防止干扰引起的误动作 。形形成成切切换换回回差差 本讲稿第四十四页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.5 4.3.5 4.3.5 4.3.5 霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传磁电式传磁电式传磁电式传感器感器感器感器2 2 应用应用 ：无触点开关：无触点开关本讲稿第四十五页，共四十九页4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.5 4.3.5 4.3.5 4.3.5 霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器霍尔集成传感器第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传磁电式传磁电式传磁电式传感器感器感器感器2 2 应用应用 ：接口电路：接口电路本讲稿第四十六页，共四十九页霍尔电流传感器霍尔电流传感器4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4.3.4.3.4.3.霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器本讲稿第四十七页，共四十九页霍尔零磁通电流传感器4.3 4.3 4.3 4.3 霍霍霍霍尔尔式式式式传传感器感器感器感器 4.3.4.3.4.3.4.3.霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用第第第第4 4 4 4章章章章磁电式磁电式磁电式磁电式传感器传感器传感器传感器本讲稿第四十八页，共四十九页第第第第4 4 4 4章章章章磁电式传感磁电式传感磁电式传感磁电式传感器器器器本章要点：本章要点：磁电感应式传感器工作原理、磁电感应式传感器工作原理、基本特性及应用；基本特性及应用；霍尔式传感器原理、霍尔式传感器原理、霍尔传感器的温度补偿和不等位电势补偿霍尔传感器的温度补偿和不等位电势补偿 霍尔传感器的应用、霍尔传感器的应用、霍尔集成传感器霍尔集成传感器.本讲稿第四十九页，共四十九页