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安全检测技术安全检测技术-3-3传感器基础下传感器基础下 霍尔效应霍尔效应半半导导体体薄薄片片置置于于磁磁场场中中，当当它它的的电电流流方方向向与与磁磁场场方方向向不不一一致致时时，半半导导体体薄薄片片上上平平行行于于电电流流和和磁磁场场方方向向的的两两个面之间产生电动势，这种现象称个面之间产生电动势，这种现象称霍尔效应霍尔效应。产生的电动势称产生的电动势称霍尔电势霍尔电势 半导体薄片称半导体薄片称霍尔元件霍尔元件霍尔式传感器的应用霍尔式传感器的应用优点优点:结结构构简简单单，体体积积小小，重重量量轻轻，频频带带宽宽，动动态态特特性性好好和和寿寿命长命长应用：应用：电电磁磁测测量量：测测量量恒恒定定的的或或交交变变的的磁磁感感应应强强度度、有有功功率、无功功率、相位、电能等参数；功功率、无功功率、相位、电能等参数；自动检测自动检测系统：多用于位移、压力的测量。系统：多用于位移、压力的测量。其他类型传感器其他类型传感器l超声波传感器超声波传感器l微波传感器微波传感器l红外探测器红外探测器l射线传感器射线传感器l离子敏传感器离子敏传感器l谐振式传感器谐振式传感器超声波传感器超声波传感器l声波：声波：1620kHz人耳朵能听见的波人耳朵能听见的波l次声波：次声波：20kHz的波，超声波，一般要求功的波，超声波，一般要求功率密度率密度P=发射功率发射功率/发射面积发射面积0.3w/cm0.3w/cm2 2l传感器原理：一般有发射和接收两只探头，发传感器原理：一般有发射和接收两只探头，发射探头发出的超声脉冲波在介质中传播到相界射探头发出的超声脉冲波在介质中传播到相界面经过反射后，再返回到接收探头，从而测出面经过反射后，再返回到接收探头，从而测出距离。距离。超声波传感器超声波传感器l发射探头：利用压电材料（压电晶体，陶瓷）的逆压发射探头：利用压电材料（压电晶体，陶瓷）的逆压电效应将高频电振动转换成高频机械振动，以产生超电效应将高频电振动转换成高频机械振动，以产生超声波；声波；l接收探头：利用正压电效应将接收的的超声振动转换接收探头：利用正压电效应将接收的的超声振动转换成电信号。成电信号。超声波传感器又称超声波换能器超声波传感器又称超声波换能器微波传感器微波传感器l微波：红外线波长介于可见光和微波之间，微波波长微波：红外线波长介于可见光和微波之间，微波波长1mm1m（300MHz300GHz），是毫米波、厘米波），是毫米波、厘米波和分米波的总称。比无线电波频率高，故称和分米波的总称。比无线电波频率高，故称“超高频超高频电磁波电磁波”l微波特点：能够穿越塑料、陶瓷，被水吸收，遇金属微波特点：能够穿越塑料、陶瓷，被水吸收，遇金属反射反射l传感器原理：也有发射天线和接收天线分为反射式和传感器原理：也有发射天线和接收天线分为反射式和遮断式。遮断式。反射式：反射式传感器通过检测被测物反射回来的微波功率反射式：反射式传感器通过检测被测物反射回来的微波功率或经过时间间隔，来表达被测物的位置、厚度等参数。或经过时间间隔，来表达被测物的位置、厚度等参数。遮断式：遮断式传感器通过检测接收天线接收到的微波功率遮断式：遮断式传感器通过检测接收天线接收到的微波功率的大小来判断发射天线与接收天线间有无被测物或被测物的的大小来判断发射天线与接收天线间有无被测物或被测物的位置等参数。位置等参数。红外探测器红外探测器l红外线：波长在红外线：波长在770纳米至纳米至1毫米之间，在光谱毫米之间，在光谱上位于红色光外侧。具有很强上位于红色光外侧。具有很强热效应热效应，并易于，并易于被物体吸收，通常被作为热源。透过云雾能力被物体吸收，通常被作为热源。透过云雾能力比可见光强。比可见光强。l结构：由光学系统、敏感元件、前置放大器和结构：由光学系统、敏感元件、前置放大器和信号调制器组成。信号调制器组成。l类型：反射式红外探测器和投射式红外探测器类型：反射式红外探测器和投射式红外探测器反射式红外探测器反射式红外探测器l它由凹面玻璃反射镜组成，其表面镀金、铝和镍铬等它由凹面玻璃反射镜组成，其表面镀金、铝和镍铬等红外波段反射率很高的材料构成反射式光学系统。红外波段反射率很高的材料构成反射式光学系统。l为了减小像差或使用上的方便，常另加一片次镜，使为了减小像差或使用上的方便，常另加一片次镜，使目标辐射经两次反射聚集到敏感元件上，敏感元件与目标辐射经两次反射聚集到敏感元件上，敏感元件与镜组合一体，前置放大器接收热电转换后的电信号，镜组合一体，前置放大器接收热电转换后的电信号，并对其进行放大。并对其进行放大。透射式红外探测器透射式红外探测器l透射式光学系统的部件用红外光学材料做成，应透射式光学系统的部件用红外光学材料做成，应根据波长选用红外光学材料：根据波长选用红外光学材料：700C以上高温时，波长以上高温时，波长0.753m范围近红外光，范围近红外光，100700一般用一般用35m的中红外光，的中红外光，100以下用波长为以下用波长为514m的中远红外光。的中远红外光。获取透射红外光的光学材料一般比较困难，反射式光获取透射红外光的光学材料一般比较困难，反射式光学系统学系统 较常用。较常用。射线式传感器射线式传感器l由放射源和探测器组成利用射线式传感器进行测由放射源和探测器组成利用射线式传感器进行测量时，都要有发射出量时，都要有发射出或或Y射线的辐射源。射线的辐射源。l射线源：射线源：选择射线源应尽量提高检测灵敏度和减小统计误差选择射线源应尽量提高检测灵敏度和减小统计误差较长的半衰期及合适的放射强度，二十种左右较长的半衰期及合适的放射强度，二十种左右l探测器：核辐射的接收器，如电离室、闪烁等计探测器：核辐射的接收器，如电离室、闪烁等计数器数器辐射源容器辐射源容器离子敏传感器离子敏传感器l一种对离子具有选择敏感作用的场效应晶体管一种对离子具有选择敏感作用的场效应晶体管（ISFET）l结构结构离子选择性电极（离子选择性电极（ISE）+金属氧化物半导体场效应金属氧化物半导体场效应晶体管（晶体管（MOSFET）构成简称）构成简称ISFET管管l原理：将原理：将ISFET插入溶液时，在被测溶液与敏插入溶液时，在被测溶液与敏感膜接触处会产生一定的界面电势，大小取决感膜接触处会产生一定的界面电势，大小取决于溶液浓度于溶液浓度谐振（频率）式传感器谐振（频率）式传感器l能将被测量转换为频率信号，容易数字化，具能将被测量转换为频率信号，容易数字化，具备数字信号的优点：备数字信号的优点：测量精度和分辨力比模拟式的要高测量精度和分辨力比模拟式的要高抗干扰性和稳定性好；抗干扰性和稳定性好；便于传输、处理和存储；便于传输、处理和存储；易于实现多路检测。易于实现多路检测。l谐振式传感器原理分为：电的、机械的和原谐振式传感器原理分为：电的、机械的和原子的三类。子的三类。振弦固定在上、下夹块之间，是传感器的敏感元件，对传感器的精度、灵敏度、稳定性很重要。振弦材料要抗拉强度高、弹性模量大、磁性和导电性能好、线膨胀系数小，一般采用含碳量高的含钨、含钛的材料制造。振弦的中部固定着软铁块、永久磁铁和线圈，构成弦的激励器，同时兼作弦的拾振器。磁力线的通路是磁铁一软铁块一振弦一磁铁，形成封闭磁回路。下夹块和膜片相连，感受被测压力P。机械式：振弦式传感器机械式：振弦式传感器机械式：振弦式传感器机械式：振弦式传感器机械式：振弦式传感器机械式：振弦式传感器l原理：以被拉紧了的钢弦作为敏感元件，其振原理：以被拉紧了的钢弦作为敏感元件，其振动频率与拉紧力的大小、弦的长度有关。当振动频率与拉紧力的大小、弦的长度有关。当振弦的长度确定后，弦振动频率的变化量便表示弦的长度确定后，弦振动频率的变化量便表示拉力的大小，且输入是力，输出是频率。拉力的大小，且输入是力，输出是频率。l特点：结构简单牢固、测量范围大、灵敏度高、特点：结构简单牢固、测量范围大、灵敏度高、测量线路简单，广泛用于大压力的测试，也可测量线路简单，广泛用于大压力的测试，也可用来测量位移、扭矩、力和加速度等。其缺点用来测量位移、扭矩、力和加速度等。其缺点是：对传感器材料和加工工艺要求很高，而传是：对传感器材料和加工工艺要求很高，而传感器的精度较低，总精度约感器的精度较低，总精度约15。振筒是敏感元件，壁厚为0.070.12 mm，其一端固定，另一端密封可以自由运动。圆筒材料必须是能够构成闭合磁回路的磁性材料，并且弹性温度系数很低(如用合金材料)。外保护筒用来防止外磁场的干扰并起机械保护作用。振筒和外保护筒之间为真空参考室，作为参考标准。振筒式传感器振筒式传感器振筒式传感器振筒式传感器l用振筒的固有振动频率来测量有关参数，其固有用振筒的固有振动频率来测量有关参数，其固有频率取决于筒的形状、大小、材料和筒周围的介频率取决于筒的形状、大小、材料和筒周围的介质等。质等。l应用均匀薄壁圆筒作敏感元件，是年来新技术。应用均匀薄壁圆筒作敏感元件，是年来新技术。l这种传感器的优点是迟滞误差和漂移误差极小、这种传感器的优点是迟滞误差和漂移误差极小、固定性好、分辨率高以及轻便、成本低。固定性好、分辨率高以及轻便、成本低。l主要用于测量气体的密度和压力。主要用于测量气体的密度和压力。传感器的选用原则传感器的选用原则l测试条件与目的测试条件与目的测试的目的；测试的目的；被测量的选择；被测量的选择；测量范围；测量范围；过载的发生频度；过载的发生频度；输人信号的频带；输人信号的频带；测量要求精度；测量要求精度；测量时间。测量时间。l传感器的性能传感器的性能精度；精度；稳定性；稳定性；响应速度响应速度输出信号类型输出信号类型(模拟或数字模拟或数字)；静态特性、动态特性和环境特性静态特性、动态特性和环境特性传感器的工作寿命或循环寿命；传感器的工作寿命或循环寿命；标定周期；标定周期；信噪比。信噪比。传感器的选用原则传感器的选用原则l传感器的使用条件传感器的使用条件所测量的流体、固体对传感器的影响；所测量的流体、固体对传感器的影响；传感器对被测对象的质量传感器对被测对象的质量(负荷负荷)效应；效应；安装现场条件及环境条件安装现场条件及环境条件(温度、湿度、振动等温度、湿度、振动等)信号的传输距离；信号的传输距离；传感器的输出端的连接方式；传感器的输出端的连接方式；传感器对所测量物理量的实际值的影响；传感器对所测量物理量的实际值的影响；传感器是否符合国家标准或工业规范；传感器是否符合国家标准或工业规范；传感器的失效形式；传感器的失效形式；传感器的维护、安装传感器的维护、安装传感器的标定方法；传感器的标定方法；传感器的安装方式；传感器的安装方式；过载保护。过载保护。使用工作人员所具备的最低技术能力使用工作人员所具备的最低技术能力传感器的选用原则传感器的选用原则l传感器所接数据采集系统及辅助设备传感器所接数据采集系统及辅助设备传感器所连接数据系统的一般性质；传感器所连接数据系统的一般性质；数据系统主要单元的性质，其中包括数据传输连接方式、数数据系统主要单元的性质，其中包括数据传输连接方式、数据存储方法、数据显示方式；据存储方法、数据显示方式；数据系统的精确性和频率的响应特性；数据系统的精确性和频率的响应特性；传感器系统的负荷阻抗特性；传感器系统的负荷阻抗特性；传感器的输出是否需要进行频率滤波和幅值变换及其处理方传感器的输出是否需要进行频率滤波和幅值变换及其处理方法；法；数据系统对传感器输出误差检测或校正能力。数据系统对传感器输出误差检测或校正能力。l关于购置与维护项目关于购置与维护项目传感器的价格；传感器的价格；出厂日期；出厂日期；服务体制；服务体制；备件；备件；保修期间，保修期间，传感器的选用传感器的选用-指标指标l灵敏度灵敏度灵敏度高，意味着传感器感知的变化量小灵敏度高，意味着传感器感知的变化量小一般来讲，检测精度越高要求传感器具有较高的灵一般来讲，检测精度越高要求传感器具有较高的灵敏度敏度当灵敏度高时，与测量信号无关的外界噪声也容易当灵敏度高时，与测量信号无关的外界噪声也容易混入，并且噪声也会被放大系统放大。为此，往往混入，并且噪声也会被放大系统放大。为此，往往要求信噪比越大越好，即要求传感器本身噪声小，要求信噪比越大越好，即要求传感器本身噪声小，且不易从外界引入干扰噪声且不易从外界引入干扰噪声当输人量增大时，传感器不应进入非线性区，更不当输人量增大时，传感器不应进入非线性区，更不能进入饱和区域能进入饱和区域检测工作在较强的噪声干扰下进行时，包括干扰量，检测工作在较强的噪声干扰下进行时，包括干扰量，两者的叠加不能进入非线性区两者的叠加不能进入非线性区在保证量程的情况下尽可能提高灵敏度在保证量程的情况下尽可能提高灵敏度传感器的选用传感器的选用-指标指标l传感器的响应特性传感器的响应特性指在所测频率范围内保持不失真的测量条件。实际指在所测频率范围内保持不失真的测量条件。实际传感器的响应总有一定的延迟，但希望延迟时间越传感器的响应总有一定的延迟，但希望延迟时间越小越好。小越好。一般来讲，利用光电效应、压电效应等制作的物性一般来讲，利用光电效应、压电效应等制作的物性型传感器，其响应时间短，可工作频率范围宽。而型传感器，其响应时间短，可工作频率范围宽。而结构型结构型(如电感、电容、磁电式如电感、电容、磁电式)传感器等，由于受传感器等，由于受结构特性的影响，以及机械系统惯性质量的限制，结构特性的影响，以及机械系统惯性质量的限制，其固有频率较低。其固有频率较低。在动态测量中，传感器的响应特性对测试结果有直在动态测量中，传感器的响应特性对测试结果有直接影响接影响选用时应考虑被测物理量的变化特点选用时应考虑被测物理量的变化特点(如稳态、瞬变、如稳态、瞬变、随机等随机等)。传感器的选用传感器的选用-指标指标l线性范围线性范围任何传感器都有一定的线性范围，在线性范围内输任何传感器都有一定的线性范围，在线性范围内输出与输入成比例关系。出与输入成比例关系。传感器工作在线性区域内，是保证测量精度的基本传感器工作在线性区域内，是保证测量精度的基本条件。线性范围越宽，表明传感器的工作量程越大。条件。线性范围越宽，表明传感器的工作量程越大。任何传感器都不容易保证其绝对线性，某些情况下，任何传感器都不容易保证其绝对线性，某些情况下，在保证检测精度的前提下，可利用其近似线性区。在保证检测精度的前提下，可利用其近似线性区。例如，变间隙型电容传感器、电感式传感器等，均例如，变间隙型电容传感器、电感式传感器等，均采用在初始间隙附近的近似线性区内工作。选用时采用在初始间隙附近的近似线性区内工作。选用时必须考虑被测物理量的变化范围，令其非线性误差必须考虑被测物理量的变化范围，令其非线性误差在允许的范围之内。在允许的范围之内。自动检测时，可利用微机系统，通过软件对传感器自动检测时，可利用微机系统，通过软件对传感器的输出特性进行线性补偿，往往可以使其线性范围的输出特性进行线性补偿，往往可以使其线性范围扩大很多。扩大很多。传感器的选用传感器的选用-指标指标l稳定性稳定性稳定性表示传感器经过长时间使用以后，其输出特稳定性表示传感器经过长时间使用以后，其输出特性不发生变化的性能，和传感器在正常工作条件下，性不发生变化的性能，和传感器在正常工作条件下，环境参数变化对其输出特性影响程度的指标。环境参数变化对其输出特性影响程度的指标。为保证稳定性，在选定传感器之前，应对使用环境为保证稳定性，在选定传感器之前，应对使用环境进行调查，以选择较合适的传感器类型。例如湿度进行调查，以选择较合适的传感器类型。例如湿度会影响电阻应变式传感器的绝缘性能；温度的变化会影响电阻应变式传感器的绝缘性能；温度的变化将产生零点漂移等。磁电式传感器在电场或磁场中将产生零点漂移等。磁电式传感器在电场或磁场中工作时，亦会带来测量误差等等。工作时，亦会带来测量误差等等。传感器的选用传感器的选用-指标指标l精确度精确度传感器的精确度表示传感器的输出与被测量的对应传感器的精确度表示传感器的输出与被测量的对应程度。程度。实际工作中，并非要求传感器的精确度越高越好。实际工作中，并非要求传感器的精确度越高越好。如果是属于相对比较性的试验研究，只需要求传感如果是属于相对比较性的试验研究，只需要求传感器的精密度高，而无需要求绝对量值。器的精密度高，而无需要求绝对量值。如果是进行定量分析，要求传感器要有足够高的精如果是进行定量分析，要求传感器要有足够高的精确度。例如，超精密切削机床，为研究其运动部件确度。例如，超精密切削机床，为研究其运动部件的定位精度、主轴回转运动误差、振动及热变形等，的定位精度、主轴回转运动误差、振动及热变形等，往往要求测量精度在往往要求测量精度在0.150.015mm范围内，要测范围内，要测得这样的量值，必须选用高精度的传感器。得这样的量值，必须选用高精度的传感器。传感器的选用传感器的选用-指标指标l测量方法测量方法:(非非)接触测量、（非）在线测量接触测量、（非）在线测量接触与非接触测量：在机械系统中，运动部件的被接触与非接触测量：在机械系统中，运动部件的被测参数测参数(例如回转轴的运动误差、振动、扭矩等例如回转轴的运动误差、振动、扭矩等)往往往采用接触测量，有许多实际因素，诸如测量头的往采用接触测量，有许多实际因素，诸如测量头的磨损、接触状态的变动等都不易妥善解决，也易造磨损、接触状态的变动等都不易妥善解决，也易造成测量误差，同时给信号的采集带来困难。若采用成测量误差，同时给信号的采集带来困难。若采用电容式、电涡流式等非接触传感器将带来很大方便。电容式、电涡流式等非接触传感器将带来很大方便。破坏与非破坏测量：在要求对测试件进行破坏性检破坏与非破坏测量：在要求对测试件进行破坏性检验，如果合理地选择检测方法，可以把破坏性检测验，如果合理地选择检测方法，可以把破坏性检测用非破坏性检测用非破坏性检测(如涡流探伤、超声探伤、核辐射探如涡流探伤、超声探伤、核辐射探伤、测厚等伤、测厚等)来代替。来代替。在线实时检测，各种新型在线实时检测传感器的研在线实时检测，各种新型在线实时检测传感器的研制，是当前检测技术发展的一个重要方向。制，是当前检测技术发展的一个重要方向。传感器的选用传感器的选用-其他其他l在选择测量范围或刻度范围时，希望平时使用的指示在选择测量范围或刻度范围时，希望平时使用的指示是在满量程的是在满量程的50以上，以保证其精度。以上，以保证其精度。l传感器的响应速度要与输入信号的频带相符，以便得传感器的响应速度要与输入信号的频带相符，以便得到良好的信噪比。同时还要考虑传感器的精度保持范到良好的信噪比。同时还要考虑传感器的精度保持范围。精度高的一般售价高，而且也不能随便的使用。围。精度高的一般售价高，而且也不能随便的使用。l除传感器的设置场所以外，其安装方法也要给予注意，除传感器的设置场所以外，其安装方法也要给予注意，有关的外形尺寸和重量等也有必要了解。有关的外形尺寸和重量等也有必要了解。l对于传感器工作在危险地点和苛刻的环境，传感器最对于传感器工作在危险地点和苛刻的环境，传感器最重要的是可靠性和安全性。尽可能从已作为标准产品重要的是可靠性和安全性。尽可能从已作为标准产品的商品中选择传感器，无论从价格上还是从维修上都的商品中选择传感器，无论从价格上还是从维修上都是上策。是上策。l某些特殊使用场合，无法选到合适的传感器，则需自某些特殊使用场合，无法选到合适的传感器，则需自行设计行设计传感器应用注意事项传感器应用注意事项l使用前必须要认真阅读使用说明书。使用前必须要认真阅读使用说明书。l正确地安装传感器正确地安装传感器l注意传感器的使用安全性注意传感器的使用安全性l传感器和测量仪表必须可靠连接，系统应有良好的接地，远离传感器和测量仪表必须可靠连接，系统应有良好的接地，远离强电场、强磁场。感器和仪表应远高强腐蚀性物体，远离易燃、强电场、强磁场。感器和仪表应远高强腐蚀性物体，远离易燃、易爆物品。易爆物品。l仪器输入端与输出端必须保持干燥和清洁。传感器在不用时，仪器输入端与输出端必须保持干燥和清洁。传感器在不用时，保持传感器的捐和插座的清洁。保持传感器的捐和插座的清洁。l传感器通过插头与供电电源和二次仪表连接时，应注意引线号传感器通过插头与供电电源和二次仪表连接时，应注意引线号不能接错不能接错l精度较高的传感器都需要定期校准，精度较高的传感器都需要定期校准，l各种传感器都有一定的过载能力，但使用时应尽量不要超量程。各种传感器都有一定的过载能力，但使用时应尽量不要超量程。l在插拔仪表与外部设备连接线前，必须先切断仪表及相应设备在插拔仪表与外部设备连接线前，必须先切断仪表及相应设备电源。电源。l传感器不使用时，应存放在温度为传感器不使用时，应存放在温度为1035，相对湿度不大于，相对湿度不大于85和无腐蚀性气体的房间内。和无腐蚀性气体的房间内。l传感器如果出现异常或故障应及时与厂家联系，不得擅自拆卸传感器如果出现异常或故障应及时与厂家联系，不得擅自拆卸传感器传感器Its time for lunch,isnt it?结束语结束语谢谢大家聆听！谢谢大家聆听！36