PE 工艺作业指导书.docx

PE 作业指导书编制人/日期： 审核人/日期： 批准人/日期： 1 目的为了确保PE车间安全生产和员工规范操作，提高生产效率，特制定本标准。2 范围本规范规定了 PE 车间员工标准操作及注意事项，适用于PE车间全体操作人员。3 相关文件清洗不净异常处理流程 18#片异常处理流程 4 定义无5 职责PE车间全体操作人员对此项工作负责。6 环境PE车间重点监控点洁净度要求如下：装片工作区（包括湿法刻蚀上下料工作区）和管P装片和卸片工作区洁净度要求100，000级以下（即0.5m的尘粒最大允许数/立方米小于3，500，000个）。7 职业健康安全无8 管理内容 8.1 捷佳创管式PECVD生产操作规范8.1.1 基本操作流程进舟（选工艺曲线，并记录机号、舟号和时间）取一组清洗干净的硅片和一篮补片按要求每舟装252片正常片 记录出片数，送到指定的印刷线将252片正常片卸到相应的印刷篮里测量膜厚、折射率 PECVD生产作业流程8.1.2 规范操作步骤8.1.2.1 工作前准备8.1.2.1.1 严格佩戴劳保用品，戴好活性炭口罩和PVC手套。8.1.2.1.2 待镀膜的硅片按组分开放置在工作台上，每组396片（16个小花篮）必须与补片在工作台分区摆放，如图16；同一组补片装片时分到其他管P，镀膜结束后合并下传印刷，每台管P分到的补片为8篮。 工作台划分示意图 8.1.2.1.3 工作用品的检查：检查真空吸盘真空压力大小，检查石墨舟是否有损坏，检查小车无损坏并可识别机台。8.1.2.1.4 镀膜Q-Time要求：从甩干完成到管P进舟时间不得超过1h。 8.1.2.2 PECVD岗位作业流程8.1.2.2.1 取片：取一篮补片放在装舟架子的最左边（有红色特别标记，如图17）；再从整组硅片里取6篮并排靠右放在架子上，准备好之后开始装片。 装舟 8.1.2.2.2 装舟A面：右侧员工确定石墨舟电极在右手侧后，开始装片，此时两个人全部装整组硅片，全部正着装片（设定装在舟片的A面），即A面108片全部为整组片。8.1.2.2.3 旋转石墨舟：装满A面，检查无漏装叠片；将小车拉出一个空间，然后旋转石墨舟180度，准备装B面。8.1.2.2.4 装舟B面：旋转之后，左侧员工先确定石墨舟电极在左手侧，则用补片将石墨舟的左边第一列装满18片，其余5列全部装整组硅片，全部正着装片（B面），即B面包括18片补片和90片整组片。8.1.2.2.5 复位：检查无漏装叠片；然后将石墨舟旋转180度，恢复初始位置（进舟位置）。8.1.2.2.6 进舟：所有的片子装好后，将支持石墨舟的不锈钢支架扶平；检查石墨舟的电极方向，石墨舟电极为上下两个孔，应朝向炉管，如图18所示： 石墨舟电极孔 上舟按钮a) 在放舟前要确认桨上和炉管内无舟后方可上舟，以免发生撞舟事故。b) 机台下方的平台严禁放置空余石墨舟，以免石墨舟取舟时导致石墨舟挤压坏。8.1.2.2.7 运行工艺：选择要进的空炉管，在其电脑显示屏上点击“Select Run”，在弹出的输入界面，输入工艺曲线号、舟号及操作员代号，然后在“仅确认即可运行当前代号的当前工艺”可选项打勾，确认无误后点击确定；最后点击入片按钮，如图19，系统启动自检程序，等待自检完毕后工艺自动开始运行。8.1.2.2.8 观察工艺中断：在正常情况下，每次入片时都要检查是否为正确的工艺曲线，若发现工艺有误，请立即通知值班工艺；在工艺运行正常情况下，严禁人为操作工艺跳步功能。8.1.2.3 取舟8.1.2.3.1 自动运行完成后，机械臂将自动进行下舟动作，下舟完成后会出现连续的提示音表示生产结束，此时可将小推车缓慢拉出，小心不要接触热石墨舟，以免烫伤。8.1.2.4 卸片8.1.2.4.1 冷却：将炉管里出来的石墨舟置于冷却房内进行冷却，切忌不可接触热石磨舟，以免烫伤。8.1.2.4.2 测膜厚：卸片前先测膜厚，要求从电极一侧到另一侧依次取中间一行6片送质检检测，膜厚和外观无异常即可卸片。8.1.2.4.3 卸片装篮：卸片时，右边卸片的员工先确认电极孔在右手侧，然后将舟右边第一列的镀膜片（即反手面148片）卸到印补片印刷花篮里，计为补片；该舟其余的片镀膜片则为同一批，加上该组另一石墨舟里的252片，本组镀膜数量仍为400片；各组的印刷花篮分区域放置，如图21。 工作台划分示意图 8.1.2.4.4 卸片库存：若卸片时要装库存，则将硅片正面（蓝色面）朝上整齐落在纤维纸上，每张纤维纸铺4片；只允许用厚纤维纸，且每片纤维纸只允许用3次，在其角上编号。在卸片装库存过程中，只允许用吸盘（笔）吸取硅片。8.1.2.4.5 正确填写流程单，将镀好氮化硅膜的硅片送往印刷，库存硅片放入N2柜，并记录存在日期和流程单号。8.1.2.4.6 将闲置不用的石墨舟集中指定位置存放。8.1.3 装片注意事项8.1.3.1 硅片必须靠紧三卡点，以防掉片造成镀膜失败片。8.1.3.2 装片时禁止让硅片背面与石墨舟强烈摩擦。8.1.3.3 装片时要轻拿轻放，以降低碎片率。8.1.3.4 准确填写舟号。8.1.4 卸片注意事项8.1.4.1 保证吸笔、吸盘表面干净，规定每班每2小时用酒精擦拭1次。8.1.4.2 操作过程中要保持PVC手套干净，装片前务必检查片子表面是否干燥，操作前要检查吸笔、吸盘气的大小是否适中。8.1.4.3 禁止数片，不能摩擦镀膜面；禁止皮肤和硅片的直接接触；禁止不加纤维纸进行摞库存片，避免镀膜面因摩擦而损伤；卸片时禁止吸盘与镀膜面进行摩擦。8.1.4.4 严禁用手直接接触石墨舟；在卸片时，铺纸的操作人员要戴好PVC手套，严禁用手直接接触硅片。8.1.4.5 单舟出现超过10片镀膜失败片必须马上通知值班工艺工程师，并保留现场，不要卸片；同一天舟连续2次出现20片以上色差时，停止使用该石墨舟，并立即通知工艺人员。8.1.4.6 必须待石墨舟冷却至常温才可接触或抬舟，以避免烫伤或PVC手套粘到舟上，造成舟污染。8.6.5 送片操作规程8.1.5.1 质检对膜厚、折射率和反射率进行抽检，每两组测一舟，每舟测6片。8.1.5.2 抽检抽检时保证当班所有管P都能抽测到。8.1.5.3 发现inline异常及时通知工艺值班人员。8.6.6 石墨舟的使用及维护 8.1.6.1 石墨舟使用次数达到140须强制性停用，否则为违规操作。8.1.6.2 清洗干净的石墨舟严格按照“管式PECVD石墨舟烘舟流程”进行处理8.1.6.3 石墨舟在搬运时须佩戴PVC手套，小心轻放。8.1.6.4 发现陶瓷杆断裂、石墨片破损、石墨电极断裂时，须通知石墨舟清洗房进行维护，更换新石墨片的舟须重新清洗、烘舟。8.3 异常处理流程 8.3.4 18#片异常处理流程：8.3.4.1 异常描述：电池片并联电阻小于8欧姆。8.3.4.2 异常处理流程：8.3.4.2.1 出现18#片异常时按照18#片异常处理流程进行处理。 8.3.4.2.2 出现任何18#片的异常情况都必须通知工艺值班工程师，每班集中出现超过400片必须通知工艺主管工程师，集中出现超过800片由主管工程师通知工艺部经理进行处理。8.3.5 镀膜失败片处理流程：8.3.5.1 异常描述：镀膜后出现色差、发白、水印、漏装等需要返工的硅片。8.3.5.2 异常处理流程：8.3.5.2.1 处理之前首先由质量、工艺确认返工片类型，类型I为色差发红、水印、划痕摩擦片，类型II为刻蚀黑边刻蚀白圈、钩点掉片、漏装叠片、脏片、手印片。 8.3.5.2.2 当班将类型I直接按工艺设定参数去PSG清洗甩干后附返工片流程单正常下传，类型II返工片则集中按工艺设定参数清洗后返制绒处理。9 客户特殊要求无10 记录10.1 记录清单石墨舟清洗验收记录表 石墨舟烘干验收记录表 石墨舟烘舟测舟记录表 石墨舟使用次数统计表 K+P工艺每日点检表 10.2 记录保管 PE工艺每日点检表由工艺部保管，其他记录由生产部保管，保存期限为三年。11 附件 无