内存ATE测试介绍.ppt

技术交流技术交流 内存内存ATE测试测试2007200720072007年年年年 3 3 3 3月月月月 服务客户，精益求精概 览qATE测试和ATE测试设备qATE测试设备特点qHP83K/T5592简介qATE测试简介ATE测试测试什么是ATE测试？qATE 是 Automated Test Equipment 的简称，即自动测试设备，它是对内存条或SDRAM芯片的品质进行检测的测试设备。qATE 测试 即使用自动测试设备对内存条或SDRAM芯片的品质进行测试。ATE测试测试 ATE 的工作原理：被测器件被测器件（DUT）测试系统测试系统（ATE）Test ProgramResultsInputOutputATE测试设备测试设备q高档的ATE测试设备有：Verigy公司的93K系统Advantest公司的T5581/T5585/T5592系统KINGTIGER公司的KT2A PRO系统q 特点：精度高速度快完整的电性能、功能和时序测试及分析价格昂贵 专业的厂商使用T5592系统系统T5592T5592系统：系统：T5592系统系统T5592系统系统T5592系统系统T5592系统系统T5592系统系统KT-2A PRO系统系统ATE测试设备测试设备ATE测试设备的特点测试设备的特点q高精度的定时性能高精度的定时性能q大向量内存大向量内存q可编程的电流负载可编程的电流负载qPer PinPer Pin的时序与电平的时序与电平/电压电压q高价格高价格T5592简介简介 T5592测试系统简介T5592参数简介参数简介q 能够测试各种存储器（专用）q 最高测试频率可以达到1.066GHzq 定时精度达到150ps(OTA)q 最大可测试芯片64颗，DDR内存条16条（2Station)q Driver与双向口分开，节约成本（存储器特点专门设计）T5592简介简介硬件部分T5592简介简介ATE测试简介测试简介 ATE测试简介测试简介T5592测试项目测试项目q 连接性测试q 漏电流测试q 电源电流测试q 功能测试q 重要DC AC参数测试q SPD的读写测试 T5592简介简介连接性测试原理ATE测试简介测试简介ATE测试简介测试简介漏电流测试原理漏电流测试原理ATE测试简介测试简介IDD（动态电源电流）测试原理（动态电源电流）测试原理 功能测试原理功能测试原理时间条件时间条件时间条件时间条件电压条件电压条件电压条件电压条件波形条件波形条件波形条件波形条件 逻辑值逻辑值逻辑值逻辑值驱动器驱动器驱动器驱动器（ATEATEATEATE）比较器比较器比较器比较器被测试器件被测试器件被测试器件被测试器件（DUTDUT）图形文件图形文件RESULT:P/F芯片芯片芯片芯片电源电源电源电源ATE测试简介测试简介功能测试功能测试Pattern Pattern Check-board Check-boardATE测试简介测试简介 功能测试功能测试Pattern March-6NATE测试简介测试简介 DC参数测试参数测试DCDCDCDC参数参数参数参数测试测试测试测试电压参数测试电压参数测试电流参数测试电流参数测试 测试方法：测试方法：测试方法：测试方法：1 1 1 1。加电压测电流、。加电压测电流、。加电压测电流、。加电压测电流、加电流测电压加电流测电压加电流测电压加电流测电压 2 2 2 2。改变。改变。改变。改变DCDCDCDC参数，进行参数，进行参数，进行参数，进行 功能测试，找到功能测试，找到功能测试，找到功能测试，找到P/FP/FP/FP/F 转变点转变点转变点转变点 3 3 3 3。运行。运行。运行。运行patternpatternpatternpattern程序，程序，程序，程序，直接对参数测量直接对参数测量直接对参数测量直接对参数测量 ATE测试简介测试简介 DC测试测试ATE测试简介测试简介 目的：检测芯片的各项电气性能目的：检测芯片的各项电气性能VSIMVSIMISVISVMMDC test unitDC test unitDC参数测试参数测试 电压参数测试电压参数测试q主要电压参数电源电压VDD、VDDQ、VREF输入电压VIL、VIH输出电压VOL、VOHq测试目的：评估DUT能正常工作的电压范围评估输入管脚区分输入逻辑状态的能力评估输出管脚的输出相应逻辑电压的能力 电流参数测试电流参数测试q主要电流参数 电源电流IDD输入漏电流IIL、IIH输出漏电流IOL、IOH、IOZq测试目的：评估DUT的漏电流大小评估供给DUT工作时所需的电源电流大小DC参数测试参数测试工程测试工程测试 AC参数测试参数测试AC参数测试基本原理：改变需要测试的参数，重复执行功能 测试，直到测试结果由PASS转为FAIL 为止。记录PASS/FAIL转换点，进行必 要的数学运算，得出需要测试的参数实 际数值。实质是以时间条件为基础来执 行功能测试。AC参数测试参数测试qAC参数测试目的：保证器件的时序参数满足器件SPEC的要求保证器件在不同的时序条件限制下可正常工作分析器件时序参数解决故障问题Debug/优化测试程序的工具 工程测试工程测试 典型典型AC参数的时序图参数的时序图（CL/tRCD/tRPCL/tRCD/tRP）AC参数测试参数测试 Shmoo 图例图例-Margin Test(潜力测试）潜力测试）用于评价芯片实际能力，通常使用用于评价芯片实际能力，通常使用SHMOO PLOT 工具进行分析工具进行分析AC参数测试参数测试 Shmoo 图例图例 二维Shmoo 同时改变两个 相互关联的参 数，执行功能 测试 红色FAIL区域 绿色PASS区域AC参数测试参数测试ATEATE测试测试 生产测试生产测试（mass productionmass production）工程工程/评估测试评估测试（engineering/evaluationengineering/evaluation）ATE测试简介测试简介生产测试流程生产测试流程基本基本基本基本电性能电性能电性能电性能测试测试测试测试重要重要重要重要ACACACAC参数参数参数参数测试测试测试测试功能功能功能功能测试测试测试测试连接性测试、连接性测试、漏电流测试、漏电流测试、IDDIDD测试测试时序宽松、时序宽松、时序严格、时序严格、基本功能、基本功能、重要的重要的POPULAR POPULAR PATTERNPATTERN选用选用选用选用engineeringengineeringengineeringengineering的测试方法的测试方法的测试方法的测试方法对重要参数对重要参数对重要参数对重要参数进行测试进行测试进行测试进行测试ATE测试简介测试简介工程测试工程测试工程测试（工程测试（engineering)DCDCDCDC参数参数参数参数测试测试测试测试ACACACAC参数参数参数参数测试测试测试测试功能功能功能功能测试测试测试测试工程测试工程测试谢谢谢谢!