发电型传感器精.ppt

发电型传感器第1页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器压电型传感器是一种典型的有源传感器，又称自发电式传感器或电势式压电型传感器是一种典型的有源传感器，又称自发电式传感器或电势式传感器。它既能将机械能转换成电能，又能将电能转换成机械能。其工传感器。它既能将机械能转换成电能，又能将电能转换成机械能。其工作原理是基于某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应。常见的压作原理是基于某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应。常见的压电材料有石英晶体、人工合成的多晶体陶瓷和有机高分子材料。电材料有石英晶体、人工合成的多晶体陶瓷和有机高分子材料。近年来，压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传近年来，压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用日益广泛。感器的应用日益广泛。下一页返回第2页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器3.1.1 压电型传感器工作原理压电型传感器工作原理压电效应压电效应 在某些晶体切片（如石英晶体切片）上，沿一定方向加上在某些晶体切片（如石英晶体切片）上，沿一定方向加上外力，晶体切片不仅几何尺寸会发生变化，而且晶体内部也会发外力，晶体切片不仅几何尺寸会发生变化，而且晶体内部也会发生极化现象，导致晶体表面积累电荷，形成电场，当外力除去后生极化现象，导致晶体表面积累电荷，形成电场，当外力除去后晶体表面又恢复到不带电状态，这种现象被称为压电效应。晶体表面又恢复到不带电状态，这种现象被称为压电效应。如如图图3-1所示为压电效应示意图。所示为压电效应示意图。若将压电材料置于电场之中，其几何尺寸也会发生变化，这若将压电材料置于电场之中，其几何尺寸也会发生变化，这种由于外电场作用，导致压电材料产生机械变形的现象，称为逆种由于外电场作用，导致压电材料产生机械变形的现象，称为逆压电效应或电致收缩效应。压电效应或电致收缩效应。上一页 下一页返回第3页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器压电材料压电材料 常见的压电材料有三类：石英，晶体、压电陶瓷和高分子压电材料。常见的压电材料有三类：石英，晶体、压电陶瓷和高分子压电材料。1）石英晶体。石英晶体亦称为水晶，它是重要的压电材料，具有很多独特的优石英晶体。石英晶体亦称为水晶，它是重要的压电材料，具有很多独特的优点，是目前高精度压电式传感器中常用的压电材料。由于天然石英晶体产量点，是目前高精度压电式传感器中常用的压电材料。由于天然石英晶体产量有限，所以近年来广泛采用人造石英晶体。有限，所以近年来广泛采用人造石英晶体。石英晶体外形及切片如石英晶体外形及切片如图图3-2所示。所示。上一页 下一页返回第4页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器2）压电陶瓷）压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。它山无数细微的电畴组成，压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。它山无数细微的电畴组成，这些电畴实际上是分子自发极化的小区域，在无外电场作用时，各个电这些电畴实际上是分子自发极化的小区域，在无外电场作用时，各个电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷呈电中性，不具有压电性质。为了使压电陶瓷具有压电效应，必须在瓷呈电中性，不具有压电性质。为了使压电陶瓷具有压电效应，必须在一定温度下做极化处理，极化处理之后，陶瓷材料内部存在很强的剩余一定温度下做极化处理，极化处理之后，陶瓷材料内部存在很强的剩余极化强度。当压电陶瓷受外力作用时，其表面也能产生电荷，所以压电极化强度。当压电陶瓷受外力作用时，其表面也能产生电荷，所以压电陶瓷具有压电效应。如陶瓷具有压电效应。如图图3-3 所示为压电陶瓷的极化过程。所示为压电陶瓷的极化过程。上一页 下一页返回第5页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器3）高分子压电材料）高分子压电材料高分子压电材料是一种新型材料，有聚偏二氟乙烯（高分子压电材料是一种新型材料，有聚偏二氟乙烯（PVF 或或PVDF）、聚氟乙烯（）、聚氟乙烯（PVF）、聚氯乙烯（）、聚氯乙烯（PVC）等。）等。高分子压电材料的最大特点具有柔软性，它不易破碎，具有防水性，测高分子压电材料的最大特点具有柔软性，它不易破碎，具有防水性，测量动态范围宽，频响范围大但其工作温度一般低于量动态范围宽，频响范围大但其工作温度一般低于100，当温度升高，当温度升高时，其灵敏度将降低，同时机械强度不高，耐紫外线能力较差，不宜暴晒。时，其灵敏度将降低，同时机械强度不高，耐紫外线能力较差，不宜暴晒。上一页 下一页返回第6页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器3.1.2 压电型传感器测量转换电路压电型传感器测量转换电路压电元件的等效电路压电元件的等效电路 在压电晶片产生电荷的两个平面上装上金属电极，就构成了一个压电元件。在压电晶片产生电荷的两个平面上装上金属电极，就构成了一个压电元件。当压电晶片受力时，在晶体的一个表面会聚集正电荷，而在另一个表面会聚当压电晶片受力时，在晶体的一个表面会聚集正电荷，而在另一个表面会聚集等量的负电荷，所以它可以被看做是一个电荷发生器，同时，它又相当于集等量的负电荷，所以它可以被看做是一个电荷发生器，同时，它又相当于一个以压电材料为绝缘介质的电容器，其电容值为：一个以压电材料为绝缘介质的电容器，其电容值为：上一页 下一页返回第7页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器如如图图3-4（a）所示，压电元件可以等效为一个与电容相并联的电荷源。所示，压电元件可以等效为一个与电容相并联的电荷源。如如图图3-4（b）所示，压电元件也可以等效为一个与电容相串联的所示，压电元件也可以等效为一个与电容相串联的电压源。压电元件的端电压为：电压源。压电元件的端电压为：压电元件在交变力的作用下，电荷可以不断产生，可以供给测量回压电元件在交变力的作用下，电荷可以不断产生，可以供给测量回路以一定的电流，因此，压电式传感器适用于动态测量。路以一定的电流，因此，压电式传感器适用于动态测量。上一页 下一页返回第8页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器压电传感器的测量电路压电传感器的测量电路根据压电式传感器的转换原理及其等效电路，它的输出可以是电根据压电式传感器的转换原理及其等效电路，它的输出可以是电压，也可以是电荷，为此，前置放大器有两种形式：一种是电压压，也可以是电荷，为此，前置放大器有两种形式：一种是电压放大器，其输出电压与输入电压（即传感器的输出电压）成比例，放大器，其输出电压与输入电压（即传感器的输出电压）成比例，通常将此种前置放大器称作阻抗变换器，它对整个测量系统电缆通常将此种前置放大器称作阻抗变换器，它对整个测量系统电缆电容的变化非常敏感，尤其是连接电缆长度的变化更为明显；另电容的变化非常敏感，尤其是连接电缆长度的变化更为明显；另一种是电荷放大器，其输出电压与输入电荷成比例，这种放大器一种是电荷放大器，其输出电压与输入电荷成比例，这种放大器对电缆长度变化的影响极为迟钝，所以对其造成的影响可忽略不对电缆长度变化的影响极为迟钝，所以对其造成的影响可忽略不计。计。上一页 下一页返回第9页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器电压放大器电压放大器如如图图3-6所示，（所示，（a）为压电传感器连接电压放大器的等效电路，为压电传感器连接电压放大器的等效电路，（b）是简化后的等效电路。是简化后的等效电路。输入电压为输入电压为当当 时，输出电压为：时，输出电压为：可以看出放大器输入电压幅度与被测频率无关，当改变连接传感器可以看出放大器输入电压幅度与被测频率无关，当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时，与前置放大器的电缆长度时，Cc将改变，从而引起放大器的输出电压将改变，从而引起放大器的输出电压也发生变化。也发生变化。上一页 下一页返回第10页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器电荷放大器电荷放大器如如图图3-7是压电传感器连接电荷放大器的等效电路。电荷放大器是压电式是压电传感器连接电荷放大器的等效电路。电荷放大器是压电式传感器另一种专用的前置放大器，它可以将高内阻的电荷源转换为低内传感器另一种专用的前置放大器，它可以将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源输出，而且输出电压正比于输入电荷。因此，它也同样起着阻的电压源输出，而且输出电压正比于输入电荷。因此，它也同样起着阻抗变换的作用。阻抗变换的作用。使用电荷放大器最大的一个优点是传感器的灵敏度与连接电缆长度使用电荷放大器最大的一个优点是传感器的灵敏度与连接电缆长度无关。无关。电荷放大器的输出电压为：电荷放大器的输出电压为：当当A1时，输出电压为时，输出电压为上一页 下一页返回第11页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器 由于引入了深度的电容负反馈，使放大器输出只与稳定的由于引入了深度的电容负反馈，使放大器输出只与稳定的Cf有有关，与电缆分布电容等无关，甚至可以忽略其影响。关，与电缆分布电容等无关，甚至可以忽略其影响。压电传感器的应用压电传感器的应用压电传感器主要用于脉动力、冲击力、振动等动态参数的测量。由压电传感器主要用于脉动力、冲击力、振动等动态参数的测量。由于压电材料可以是石英晶体、压电陶瓷和高分子压电材料等，它们于压电材料可以是石英晶体、压电陶瓷和高分子压电材料等，它们的特性不尽相同，所以用途也不一样。的特性不尽相同，所以用途也不一样。石英晶体主要用于精密测量，多用于基准传感器；压电陶瓷灵敏度较高，机石英晶体主要用于精密测量，多用于基准传感器；压电陶瓷灵敏度较高，机械强度稍低，多用于测力和振动传感器；而高分子压电材料多用于定性测量。械强度稍低，多用于测力和振动传感器；而高分子压电材料多用于定性测量。下面介绍压电传感器的应用下面介绍压电传感器的应用上一页 下一页返回第12页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器压电元件的连接压电元件的连接 如如图图3-8所示为压电元件的连接方式。压电元件通常是两片或两所示为压电元件的连接方式。压电元件通常是两片或两片以卡粘贴在一起，由于压电片上的电荷是有极性的，因此有串联片以卡粘贴在一起，由于压电片上的电荷是有极性的，因此有串联和并联两种连接方法，用的比较多的是并联接法，并联之后极板上和并联两种连接方法，用的比较多的是并联接法，并联之后极板上的总电荷量是单块极板的两倍。的总电荷量是单块极板的两倍。压电式动态力传感器压电式动态力传感器 如如图图3-9所示为压电式单向动态力传感器结构示意图。所示为压电式单向动态力传感器结构示意图。当压电片受压后产生电荷（电压），由两根输出线输出，然后当压电片受压后产生电荷（电压），由两根输出线输出，然后接人电荷放大器或电压放大器，转换成与作用力大小成正比的电压。接人电荷放大器或电压放大器，转换成与作用力大小成正比的电压。这种动态力传感器主要用于变化频率不太高的动态力测量。这种动态力传感器主要用于变化频率不太高的动态力测量。上一页 下一页返回第13页，本讲稿共82页3.1 压电型传感器压电型传感器压电式振动加速度传感器压电式振动加速度传感器 压电式加速度传感器是将被测加速度转换成电荷或电压输出的装置，压电式加速度传感器是将被测加速度转换成电荷或电压输出的装置，其结构同测力传感器很相似。其结构同测力传感器很相似。玻璃打碎报警装置玻璃打碎报警装置 玻璃打碎报警装置是将高分子压电薄膜粘贴在玻璃上，当玻璃破碎时，玻璃打碎报警装置是将高分子压电薄膜粘贴在玻璃上，当玻璃破碎时，会发出几千赫兹或更高频率的振动，高分子压电薄膜可以感受这一振动，同会发出几千赫兹或更高频率的振动，高分子压电薄膜可以感受这一振动，同时将振动波转换成电压，然后经放大、滤波、比较等处理后提供给报警系统。时将振动波转换成电压，然后经放大、滤波、比较等处理后提供给报警系统。上一页 返回第14页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器 霍尔式传感器是基于霍尔效应的一种传感器。霍尔式传感器是基于霍尔效应的一种传感器。1879年美国物理学家霍尔年美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应，但由于金属材料的霍尔效应首先在金属材料中发现了霍尔效应，但由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。太弱而没有得到应用。随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制成霍尔元件，由于其随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制成霍尔元件，由于其霍尔效应显著而得到广泛的应用和迅速的发展。目前，霍尔传感器霍尔效应显著而得到广泛的应用和迅速的发展。目前，霍尔传感器已广泛用于电磁、压力、位移、加速度、振动等方面的测量。已广泛用于电磁、压力、位移、加速度、振动等方面的测量。下一页返回第15页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器3.2.1 霍尔式传感器的工作原理霍尔式传感器的工作原理霍尔效应霍尔效应 如如图图3-12所示为霍尔效应原理图。将金属或半导体霍尔元件放置于磁感所示为霍尔效应原理图。将金属或半导体霍尔元件放置于磁感应强度为应强度为B的磁场中，若磁场方向垂直于霍尔元件，当有电流的磁场中，若磁场方向垂直于霍尔元件，当有电流I流过时，流过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势认在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势认UH，这种现象称为，这种现象称为霍尔效应。产生的电动势霍尔效应。产生的电动势UH为霍尔电动势。为霍尔电动势。实验可知，霍尔电动势的大小正比于流过霍尔元件的电流实验可知，霍尔电动势的大小正比于流过霍尔元件的电流I和加在霍和加在霍尔元件上的磁感应强度尔元件上的磁感应强度B。即。即 上一页 下一页返回第16页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器 若磁感应强度不垂直于霍尔元件，而是与法线成某一角度，则霍尔若磁感应强度不垂直于霍尔元件，而是与法线成某一角度，则霍尔电动势为：电动势为：霍尔元件霍尔元件 霍尔元件的结构很简单，它由霍尔片、引线和壳体组成。如霍尔元件的结构很简单，它由霍尔片、引线和壳体组成。如图图3-13所示。所示。霍尔片是一块矩形半导体薄片，一般采用霍尔片是一块矩形半导体薄片，一般采用N型的锗、锑化锢和砷化锢半型的锗、锑化锢和砷化锢半导体单晶体材料制成。导体单晶体材料制成。上一页 下一页返回第17页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器霍尔元件的基本电路霍尔元件的基本电路 霍尔元件的基本电路如霍尔元件的基本电路如图图3-14所示。控制电流由电源所示。控制电流由电源E 供给，供给，RP为调为调节电阻，调节控制电流的大小。霍尔兀件输出端接负载电阻节电阻，调节控制电流的大小。霍尔兀件输出端接负载电阻Rf，Rf可以是一般电阻，也可以是放大器的输入电阻或指示器内阻。在磁场和控制可以是一般电阻，也可以是放大器的输入电阻或指示器内阻。在磁场和控制电流的作用下，负载上就有电压输出。电流的作用下，负载上就有电压输出。霍尔元件的输出电压一般较小，一般裔要用放大电路将其进霍尔元件的输出电压一般较小，一般裔要用放大电路将其进行放大处理。为了获得较好的放大效果，通常采用差分放大电路，行放大处理。为了获得较好的放大效果，通常采用差分放大电路，如如图图3-15所示。所示。上一页 下一页返回第18页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器霍尔元件的误差及补偿霍尔元件的误差及补偿 由于制造工艺的缺陷及半导体材料本身的特性，霍尔元件在使用中由于制造工艺的缺陷及半导体材料本身的特性，霍尔元件在使用中存在各种零位误差及温度误差。存在各种零位误差及温度误差。不等位电压及其补偿不等位电压及其补偿霍尔元件的零位误差主要包括不等位电压、寄生直流电压、感应霍尔元件的零位误差主要包括不等位电压、寄生直流电压、感应电压及自激磁场零电压。其中不等位电压是最主要的一个零位误电压及自激磁场零电压。其中不等位电压是最主要的一个零位误差。差。由于控制电极的端面接触不良，两个霍尔电极在制造时不可能绝对由于控制电极的端面接触不良，两个霍尔电极在制造时不可能绝对对称地焊在霍尔片两侧，从而造成霍尔片电阻率不均匀。对称地焊在霍尔片两侧，从而造成霍尔片电阻率不均匀。上一页 下一页返回第19页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器两电极不处在同一等位面上，因此在两极之间存在着电位差，该电位差称为两电极不处在同一等位面上，因此在两极之间存在着电位差，该电位差称为不等位电压。不等位电压。在分析不等位电压时，可把霍尔电极等效为一个电桥，如在分析不等位电压时，可把霍尔电极等效为一个电桥，如图图3-18所示。所示。在制造霍尔元件的过程中，可采用机械修磨或用化学腐蚀的方在制造霍尔元件的过程中，可采用机械修磨或用化学腐蚀的方法来使电桥恢复平衡，减小不等位电压。法来使电桥恢复平衡，减小不等位电压。对已制成的霍尔元件，可采用外接补偿线路等方法进行补偿如对已制成的霍尔元件，可采用外接补偿线路等方法进行补偿如图图3-19所所示为几种常用的补偿电路。示为几种常用的补偿电路。上一页 下一页返回第20页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器温度误差及其补偿温度误差及其补偿 由于霍尔元件基片的载流子迁移率、电阻率和霍尔常数等均是由于霍尔元件基片的载流子迁移率、电阻率和霍尔常数等均是温度的函数，因此在工作温度变化时，它的一些特性参数，如霍尔温度的函数，因此在工作温度变化时，它的一些特性参数，如霍尔电势、输入电阻和输出电阻等都要发生相应的变化，从而使霍尔式电势、输入电阻和输出电阻等都要发生相应的变化，从而使霍尔式传感器产生温度误差。传感器产生温度误差。为了减小霍尔元件的温度误差，除选用温度系数小的元件（如砷化锢）为了减小霍尔元件的温度误差，除选用温度系数小的元件（如砷化锢）或采用恒温措施外，采用恒流源供电是个有效的措施，但这还不能完全解决或采用恒温措施外，采用恒流源供电是个有效的措施，但这还不能完全解决霍尔电压的稳定性问题，还需采用其他补偿电路。霍尔电压的稳定性问题，还需采用其他补偿电路。图图3-20所所示是一种较好示是一种较好的温度补偿电路。的温度补偿电路。上一页 下一页返回第21页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器 经补偿之后的霍尔电动势受温度的影响极小，而且对霍尔元经补偿之后的霍尔电动势受温度的影响极小，而且对霍尔元件的其他性能没有影响，只是由于激励电流被分流了，霍尔电压件的其他性能没有影响，只是由于激励电流被分流了，霍尔电压的输出稍有降低，但这可以通过增大恒流源的数值以达到原来的的输出稍有降低，但这可以通过增大恒流源的数值以达到原来的霍尔电压的输出值。霍尔电压的输出值。3.2.3霍尔集成电路霍尔集成电路 随着微电子技术的发展，目前霍尔器件多已集成化。霍尔集成随着微电子技术的发展，目前霍尔器件多已集成化。霍尔集成电路（又称霍尔电路（又称霍尔IC）有许多优点，如灵敏度高、体积小、温漂小、输）有许多优点，如灵敏度高、体积小、温漂小、输出幅度大、对电源稳定性要求低等。霍尔集成电路可分为开关型和线性出幅度大、对电源稳定性要求低等。霍尔集成电路可分为开关型和线性型两大类。型两大类。上一页 下一页返回第22页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器开关型霍尔集成电路开关型霍尔集成电路 开关型霍尔集成电路是利用霍尔元件与集成电路技术结合而制成的开关型霍尔集成电路是利用霍尔元件与集成电路技术结合而制成的一种磁敏传感器模块，它能感知一切与磁信息有关的物理量，并以开关一种磁敏传感器模块，它能感知一切与磁信息有关的物理量，并以开关形式输出。霍尔开关集成传感器具有使用寿命长、无触点磨损、无火花形式输出。霍尔开关集成传感器具有使用寿命长、无触点磨损、无火花干扰、无转换抖动、工作频率高、温度特性好、能适应恶劣的环境等优干扰、无转换抖动、工作频率高、温度特性好、能适应恶劣的环境等优点。点。霍尔开关集成传感器的工作特性曲线如霍尔开关集成传感器的工作特性曲线如图图3-23所示所示.上一页 下一页返回第23页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器工作原理工作原理 当有磁场作用在传感器上时，根据霍尔效应，霍尔元件输出霍当有磁场作用在传感器上时，根据霍尔效应，霍尔元件输出霍尔电压，该电压经放大器放大后，送至施密特触发整形电路，当尔电压，该电压经放大器放大后，送至施密特触发整形电路，当放大后的电压大于施密特触发器放大后的电压大于施密特触发器“开启开启”阀值电压时，施密特整形电阀值电压时，施密特整形电路翻转，输出高电平，使三极管路翻转，输出高电平，使三极管V 导通，这种状态我们称之为导通，这种状态我们称之为“开状态开状态”；当磁场减弱时，霍尔元件输出的电压很小，经放大器放大后其值也小；当磁场减弱时，霍尔元件输出的电压很小，经放大器放大后其值也小于施密特整形电路的于施密特整形电路的“关闭关闭”阀值电压，施密特整形电路再次翻转，阀值电压，施密特整形电路再次翻转，输出低电平，使三极管输出低电平，使三极管V 截止，这种状态我们称为截止，这种状态我们称为“关状态关状态”。这。这样，一次磁场强度的变化，就使传感器完成了一次开关动作。样，一次磁场强度的变化，就使传感器完成了一次开关动作。上一页 下一页返回第24页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器线性型霍尔集成电路线性型霍尔集成电路 线性型霍尔集成电路的输出电压与外加磁场强度呈线性比例线性型霍尔集成电路的输出电压与外加磁场强度呈线性比例关系。这类传感器一般由霍尔元件和放大器组成，当外加磁场时，关系。这类传感器一般由霍尔元件和放大器组成，当外加磁场时，霍尔元件产生与磁场成线性比例变化的霍尔电压，经放大器放大霍尔元件产生与磁场成线性比例变化的霍尔电压，经放大器放大后输出。在实际电路设计中，为厂提高传感器的性能，往往在电后输出。在实际电路设计中，为厂提高传感器的性能，往往在电路中设置稳压、电流放大输出级、失调调整和线性度调整等电路。路中设置稳压、电流放大输出级、失调调整和线性度调整等电路。图图3-24给出了具有双端差动输出特性的线性霍尔器件给出了具有双端差动输出特性的线性霍尔器件UGN3501M的内部电路框图。的内部电路框图。上一页 下一页返回第25页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器 当其感受的磁场为零时，第当其感受的磁场为零时，第1脚相对于第脚相对于第8 脚的输出电压等于零；当脚的输出电压等于零；当感受的磁场为正向时感受的磁场为正向时,输出为正；磁场为反向时，输出为负。当它的第输出为正；磁场为反向时，输出为负。当它的第5、6、7 脚外接一只微调电位器后，就可以微调并消除不等位电势引脚外接一只微调电位器后，就可以微调并消除不等位电势引起的输出零点漂移。若要实现单端输出，只要将起的输出零点漂移。若要实现单端输出，只要将1、8 端接到差动端接到差动减法放大器的正负输入端上。减法放大器的正负输入端上。线性霍尔集成电路的输出特性如线性霍尔集成电路的输出特性如图图3-25所示。所示。上一页 下一页返回第26页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器3.2.4 霍尔式传感器的应用霍尔式传感器的应用 霍尔式传感器的应用主要有以下三个方面：霍尔式传感器的应用主要有以下三个方面：（l）当控制电流不变，使传感器处于非均匀磁场时，传感器的输出正比）当控制电流不变，使传感器处于非均匀磁场时，传感器的输出正比于磁感应强度，可反映角度、位置或激励电流的变化。主要用于磁场测量、于磁感应强度，可反映角度、位置或激励电流的变化。主要用于磁场测量、微位移测量、三角函数发生器、转速表、测力装置等。微位移测量、三角函数发生器、转速表、测力装置等。（2）当控制电流与磁感应强度都为变量时，传感器的输出与两）当控制电流与磁感应强度都为变量时，传感器的输出与两者的乘积成正比。主要用于乘法计、功率计等。者的乘积成正比。主要用于乘法计、功率计等。（3）当保持磁感应强度恒定不变时，则利用霍尔电压与控制电流）当保持磁感应强度恒定不变时，则利用霍尔电压与控制电流成正比的关系，可以做成过电流控制装置等。成正比的关系，可以做成过电流控制装置等。上一页 下一页返回第27页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器霍尔开关集成传感器的位置检测霍尔开关集成传感器的位置检测 霍尔开关集成传感器的基本工作方式如霍尔开关集成传感器的基本工作方式如图图3-26所示。所示。其中图其中图3-26（a）中磁体的取向总是使磁体的轴线与霍尔开关集成传）中磁体的取向总是使磁体的轴线与霍尔开关集成传感器的正面相垂直，且位于开关集成传感器的中心线卡，磁通密度是气感器的正面相垂直，且位于开关集成传感器的中心线卡，磁通密度是气隙隙D 的函数，磁体接近开关集成传感器移动，电路就导通；反之，电路截止。的函数，磁体接近开关集成传感器移动，电路就导通；反之，电路截止。在图在图3-26（b）中当磁棒轴线处于开关中心线时，能够获得最）中当磁棒轴线处于开关中心线时，能够获得最大的磁通密度，从而使电路接通。为了更好地启动霍尔开关，气隙大的磁通密度，从而使电路接通。为了更好地启动霍尔开关，气隙要尽量小。要尽量小。上一页 下一页返回第28页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器霍尔式微压力传感器霍尔式微压力传感器 霍尔式微压力传感器的原理示意图如霍尔式微压力传感器的原理示意图如图图3-27 所示，该传感器主要所示，该传感器主要由霍尔元件由霍尔元件l、磁铁、磁铁2和弹性波纹膜盒和弹性波纹膜盒3 组成。组成。霍尔式电流传感器霍尔式电流传感器用一环形导磁材料作成磁心，套在被测电流流过的导线上，能将导用一环形导磁材料作成磁心，套在被测电流流过的导线上，能将导线中电流感生的磁场聚集起来。在磁心上开有一气隙，内置一个霍线中电流感生的磁场聚集起来。在磁心上开有一气隙，内置一个霍尔线性器件，器件通电后便可输出霍尔电压，从而可以检测导线中尔线性器件，器件通电后便可输出霍尔电压，从而可以检测导线中流过电流的大小。流过电流的大小。上一页 下一页返回第29页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器非接触的按键开关非接触的按键开关 如如图图3-30 所示是一个山开关型集成霍尔传感器和两小块永久磁所示是一个山开关型集成霍尔传感器和两小块永久磁铁构成的键盘开关的结构示意图。铁构成的键盘开关的结构示意图。在按键末按下时，磁铁处于图在按键末按下时，磁铁处于图3-30（a）所示的位置，通过霍尔传感器）所示的位置，通过霍尔传感器的磁力线是有上向下的；在按下按钮时，磁铁位置变化到图的磁力线是有上向下的；在按下按钮时，磁铁位置变化到图3-30（b）所示）所示的位置，这时通过霍尔传感器的磁力线方向由下向上的。因此，在按下按键的位置，这时通过霍尔传感器的磁力线方向由下向上的。因此，在按下按键前后霍尔传感器的输出处于不同的状态。前后霍尔传感器的输出处于不同的状态。这种非接触的按键开关工作十分稳定、可靠，且使用寿命长，这种非接触的按键开关工作十分稳定、可靠，且使用寿命长，被广泛用于计算机终端键盘。被广泛用于计算机终端键盘。上一页 下一页返回第30页，本讲稿共82页3.2 霍尔式传感器霍尔式传感器用霍尔式集成传感器实现无触点照明控制用霍尔式集成传感器实现无触点照明控制 用霍尔集成传感器构成的无触点照明控制电路如用霍尔集成传感器构成的无触点照明控制电路如图图3-31 所示。所示。旋转传感旋转传感 旋转传感可用作物体旋转运动的检测，诸如角位移、角速度、角加速度、旋转传感可用作物体旋转运动的检测，诸如角位移、角速度、角加速度、流速、流量等。流速、流量等。如如图图3-32所示为旋转物体的测速报警电路框图。所示为旋转物体的测速报警电路框图。上一页 返回第31页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器 热电偶传感器也是一种自发电型的温度传感器，它能方便地将温热电偶传感器也是一种自发电型的温度传感器，它能方便地将温度信号转换成电势信号。热电偶传感器性能稳定，结构简单，测度信号转换成电势信号。热电偶传感器性能稳定，结构简单，测量范围广，一般在量范围广，一般在-180-2800之间。在高温范围内，灵敏度之间。在高温范围内，灵敏度要比热电阻高得多，并且热惯性小、反应快，可以用标准的显示要比热电阻高得多，并且热惯性小、反应快，可以用标准的显示仪表和记录仪表来进行显示和记录，日前在工业生产和科学研究仪表和记录仪表来进行显示和记录，日前在工业生产和科学研究中已得到广泛的应用。中已得到广泛的应用。3.3.1 热电偶传感器的工作原理热电偶传感器的工作原理 热电偶的工作原理是基于物体的热电效应。热电偶的工作原理是基于物体的热电效应。下一页返回第32页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器工作原理如工作原理如图图3-33 所示，将两种不同材料的导体或半导体（所示，将两种不同材料的导体或半导体（A、B）串接成一个闭合回路，若两结合点的温度不同，回路中将产生一电动）串接成一个闭合回路，若两结合点的温度不同，回路中将产生一电动势，这种现象称为热电效应。势，这种现象称为热电效应。由两种不同材料的导体组成的回路称为热电偶，组成热电偶的导体称为由两种不同材料的导体组成的回路称为热电偶，组成热电偶的导体称为热电极，热电偶所产生的电动势称为热电动势，热电偶的两个结点中，热电极，热电偶所产生的电动势称为热电动势，热电偶的两个结点中，置于被测对象中的结点置于被测对象中的结点t 称之为测量端，又称工作端或热端，温度为称之为测量端，又称工作端或热端，温度为t0的另的另一结点称为参考端，又称自由端。一结点称为参考端，又称自由端。热电偶产生的热电动势是由两种导体的接触电动势和单一导体温热电偶产生的热电动势是由两种导体的接触电动势和单一导体温差电动势两部分组成的。差电动势两部分组成的。上一页 下一页返回第33页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器接触电动势是由于两种不同导体的自由电子密度不同，在接触处接触电动势是由于两种不同导体的自由电子密度不同，在接触处发生自由电子的扩散而形成的电动势。当发生自由电子的扩散而形成的电动势。当A和和B两种不同材料的导体两种不同材料的导体接触时，由于两材料自由电子密度不同，因此电子在两个方向上扩散的速率接触时，由于两材料自由电子密度不同，因此电子在两个方向上扩散的速率就不一样。就不一样。假设导体假设导体A的自由电子密度大于导体的自由电子密度大于导体B的自由电子密度，则导体的自由电子密度，则导体A扩散到导体扩散到导体B的电子数要比导体的电子数要比导体B扩散到导体扩散到导体A的电子数多。所以导的电子数多。所以导体体A失去电子带正电荷，导体失去电子带正电荷，导体B得到电子带负电荷。于是在得到电子带负电荷。于是在A,B两导两导体的接触界面上便形成了一个由体的接触界面上便形成了一个由A到到B的电场，如图的电场，如图3-33所示。所示。上一页 下一页返回第34页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器该电场的方向与扩散进行的方向相反，它将阻碍扩散作用的继续进行。该电场的方向与扩散进行的方向相反，它将阻碍扩散作用的继续进行。当扩散作用与阻碍扩散作用相等时，导体便处于一种动态平衡状态。在当扩散作用与阻碍扩散作用相等时，导体便处于一种动态平衡状态。在这种状态下，这种状态下，A,B两导体的接触处就产生了电位差，即接触电动势。接触电两导体的接触处就产生了电位差，即接触电动势。接触电动势的大小与导体的材料、结点的温度有关，与导体的直径、长度及几何形动势的大小与导体的材料、结点的温度有关，与导体的直径、长度及几何形状无关。状无关。温差电动势是由于在导体内部，高温端的自由电子具有较大的动能而向低温温差电动势是由于在导体内部，高温端的自由电子具有较大的动能而向低温端扩散，因而导致导体的高温端因失去电子而带正电，低温端由于获得电子端扩散，因而导致导体的高温端因失去电子而带正电，低温端由于获得电子而带负电，在高温与低温端之间形成一个电场，该电场会阻止电子继续向低而带负电，在高温与低温端之间形成一个电场，该电场会阻止电子继续向低温端扩散，并使电子反方向运动，当达到平衡时导体两端就产生了电位差即温端扩散，并使电子反方向运动，当达到平衡时导体两端就产生了电位差即温差电动势。温差电动势。上一页 下一页返回第35页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器 实践证明，在热电偶回路中起主要作用的是两个结点的接触电动势，温实践证明，在热电偶回路中起主要作用的是两个结点的接触电动势，温差电动势只占极小部分，可以忽略不计，则：差电动势只占极小部分，可以忽略不计，则：可以得出下列结论：可以得出下列结论：1)如果构成热电偶的两个热电极材料相同，那么即使两端温度不同，但如果构成热电偶的两个热电极材料相同，那么即使两端温度不同，但输出的总热电动势为零，因此必须由两种不同的材料才能构成热电偶。输出的总热电动势为零，因此必须由两种不同的材料才能构成热电偶。2)如果热电偶两结点温度相同，那么即使导体如果热电偶两结点温度相同，那么即使导体A,B的材料不同，回的材料不同，回路总的热电动势亦为零。路总的热电动势亦为零。上一页 下一页返回第36页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器 3)热电偶的热电动势的大小只与材料和结点温度有关，与热电偶的尺热电偶的热电动势的大小只与材料和结点温度有关，与热电偶的尺寸和形状无关温差越大，热电动势越大。寸和形状无关温差越大，热电动势越大。热电偶的基本定律热电偶的基本定律1）均质导体定律。如果热电偶回路中的两个热电极材料相同，无论）均质导体定律。如果热电偶回路中的两个热电极材料相同，无论结点温度如何，热电动势均为零。根据这一定律，可以检验两个结点温度如何，热电动势均为零。根据这一定律，可以检验两个热电极材料成分是否相同，也可检查热电极材料的均匀性。热电极材料成分是否相同，也可检查热电极材料的均匀性。2）中间导体定律。在热电偶回路中接入第三种导体，只要第三种导）中间导体定律。在热电偶回路中接入第三种导体，只要第三种导体的两接点温度相同，则回路中总的热电动势不变。体的两接点温度相同，则回路中总的热电动势不变。上一页 下一页返回第37页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器3）中间温度定律。热电偶在结点温度为时所产生的热电势等于该热电偶在温度）中间温度定律。热电偶在结点温度为时所产生的热电势等于该热电偶在温度和时分别产生的热电势和的代数和，这就是中间温度定律。和时分别产生的热电势和的代数和，这就是中间温度定律。4）标准热电极定律。如果两种导体）标准热电极定律。如果两种导体A、B 分别与第三种导体分别与第三种导体C 组成热组成热电偶产生的热电动势已知，则由这两个导体电偶产生的热电动势已知，则由这两个导体A、B 组成热电偶产生的组成热电偶产生的热电动势可以由下式计算：热电动势可以由下式计算：上一页 下一页返回第38页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器3.3.2 热电偶的结构形式与种类热电偶的结构形式与种类热电偶的结构形式热电偶的结构形式 1）普通热电偶。普通热电偶通常由热电极、绝缘管、保护套管和接）普通热电偶。普通热电偶通常由热电极、绝缘管、保护套管和接线盒等几个主要部分组成，其结构如线盒等几个主要部分组成，其结构如图图3-37所示。所示。2）恺装热电偶。恺装热电偶是由金属保护套管、绝缘材料和）恺装热电偶。恺装热电偶是由金属保护套管、绝缘材料和热电极三者组合成一体的特殊结构的热电偶。热电极三者组合成一体的特殊结构的热电偶。恺装热电偶具有响应速度快，可靠性好、耐冲击、比较柔软、恺装热电偶具有响应速度快，可靠性好、耐冲击、比较柔软、可挠性好、便于安装等优点，因此特别适用于复杂结构，如狭小弯可挠性好、便于安装等优点，因此特别适用于复杂结构，如狭小弯曲管道内的温度测量。曲管道内的温度测量。上一页 下一页返回第39页，本讲稿共82页3.3 热电偶传感器热电偶传感器3）薄膜式热电偶）薄膜式热电偶 薄膜式热电偶是用真空蒸镀的方法，把热电极材料蒸镀在绝缘基板上薄膜式热电偶是用真空蒸镀的方法，把热电极材料蒸镀在绝缘基板上而制成，如而制成，如图图3-39所示。所示。测量端既小又薄，厚