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Si2 干泵使用注意事项干泵使用注意事项Series 2 干泵使用注意事项干泵使用注意事项培训培训By BluesBy Blues多级罗茨的工作原理多级罗茨的工作原理通过以下方式将潜在沉积物最小化通过以下方式将潜在沉积物最小化1.通过减小气体经过的中间腔的容积；2.通过在泵的每一级进行N2 吹扫从而稀释工艺气体（P 和H 型扫从而稀释工艺气体（P 和H 型）；3 通过调节真空泵的温度使其3.通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺，从而限制气体在泵内的冷凝（P 和H 型）Series 2 干泵使用注意事项培训 2All rights reserved 2004,Alcatel干泵的温度控制原理干泵的温度控制原理Series 2 干泵使用注意事项培训 3All rights reserved 2004,Alcatel干泵的氮气吹扫原理干泵的氮气吹扫原理Series 2 干泵使用注意事项培训 4All rights reserved 2004,Alcatel使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项当真空泵上方的主开关设置为“当真空泵上方的主开关设置为“0”时，电源接口和主开关之时，电源接口和主开关之间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断开。间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断开。针对针对P 和和H 型泵型泵如果没有氮气流量将会造成严重危害如果没有氮气流量将会造成严重危害因因针对针对P 和和H 型泵型泵。如果没有氮气流量将会造成严重危害如果没有氮气流量将会造成严重危害，因因此氮气流量需要由工艺设备进行监控，没有氮气流量时需要此氮气流量需要由工艺设备进行监控，没有氮气流量时需要有信号提供给有信号提供给工工艺设备艺设备，如必要如必要还还需要互锁需要互锁。有信号提供给艺设备有信号提供给艺设备，如必要需要互锁如必要需要互锁如果高于如果高于LEL（爆炸极限低点）含量的易燃物质进入真空泵，那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的（爆炸极限低点）含量的易燃物质进入真空泵，那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至含量至LEL 以下，同时工艺设备需要在真空泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵。以下，同时工艺设备需要在真空泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵。Series 2 干泵使用注意事项培训 5All rights reserved 2004,Alcatel使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害，因此冷却水流量需要由工艺设备进行监控。害，因此冷却水流量需要由工艺设备进行监控。如果工艺中有任何腐蚀性的，易反应的，易燃的或氧化性强如果工艺中有任何腐蚀性的，易反应的，易燃的或氧化性强的介质进入真空泵的介质进入真空泵则需要在排气口安装监控装置则需要在排气口安装监控装置确保当确保当的介质进入真空泵的介质进入真空泵，则需要在排气口安装监控装置则需要在排气口安装监控装置，确保当确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外，也需要当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外，也需要当氮气流量不够时停止氮气流量不够时停止工工艺气体进入真空泵艺气体进入真空泵。氮气流量不够时停止艺气体进入真空泵氮气流量不够时停止艺气体进入真空泵如果有易燃物质进入真空泵，用户需要在排气口提供可以检测如果有易燃物质进入真空泵，用户需要在排气口提供可以检测LEL 的装置（能够检测到的装置（能够检测到25%的的LEL 的仪表），当检测到的仪表），当检测到易燃气体含量达到易燃气体含量达到25%的的LEL 值时停止进入真空泵的气体。值时停止进入真空泵的气体。Series 2 干泵使用注意事项培训 6All rights reserved 2004,Alcatel使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项当真空泵停机时，内部元件（监控系统，变频器）包含充电当真空泵停机时，内部元件（监控系统，变频器）包含充电大于大于60 VDC 的电容，依然带电。接触有可能造成严重的伤害。在停泵后，等待的电容，依然带电。接触有可能造成严重的伤害。在停泵后，等待1 分钟再打开真空泵。分钟再打开真空泵。氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前请释放压力请释放压力：请释放压力请释放压力：-对于氮气吹扫，断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀；对于氮气吹扫，断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀；-对于冷却水管路，断开进水接头并保持出水管路连接。等待对于冷却水管路，断开进水接头并保持出水管路连接。等待1 分钟后，断开出水接头。分钟后，断开出水接头。Series 2 干泵使用注意事项培训 7All rights reserved 2004,Alcatel使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项Alcatel 并不能控制进入真空泵的气体种类。通常，工艺气体是有毒的，易燃的，有腐蚀性的，易爆的或易发生反应的。并不能控制进入真空泵的气体种类。通常，工艺气体是有毒的，易燃的，有腐蚀性的，易爆的或易发生反应的。由于这些气体可能会造成受伤甚至与死亡，因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的，由于这些气体可能会造成受伤甚至与死亡，因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的，以保证最终的排放气体符合空气标准以保证最终的排放气体符合空气标准以保证最终的排放气体符合空气标准以保证最终的排放气体符合空气标准。Series 2 干泵使用注意事项培训 8All rights reserved 2004,Alcatel使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项泵的电机通过真空泵的电泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护气箱内配置了过载保护-气箱内配置了过载保护气箱内配置了过载保护RT1 开关（开关（ADP 泵）和泵）和RT2 开关（罗茨泵），该开关（罗茨泵），该互锁必须在安装互锁必须在安装，使用和使用和互锁必须在安装互锁必须在安装，使用和使用和维护时保证运行。一旦过载保护激活，则电源会切维护时保证运行。一旦过载保护激活，则电源会切断断，真空泵处于安全状态真空泵处于安全状态。断断真空泵处于安全状态真空泵处于安全状态当真空泵出错时，必须先将错误纠正然后再清除错误。要清当真空泵出错时，必须先将错误纠正然后再清除错误。要清除除错误，需要错误，需要将将除除将将主开关关闭，打开电气箱并将相关保护开关重置为“主开关关闭，打开电气箱并将相关保护开关重置为“1”。Series 2 干泵使用注意事项培训 9All rights reserved 2004,Alcatel使用时的安全注意事项使用时的安全注意事项真空泵配置了紧停（真空泵配置了紧停（EMO）回路回路。当紧停激活时当紧停激活时，真空真空回路回路。当紧停激活时当紧停激活时，真空真空泵进入安全停机状态。若要外部使用，真空泵泵进入安全停机状态。若要外部使用，真空泵J1 接口接口上的两个干接点针脚上的两个干接点针脚1 和和4上的两个干接点针脚上的两个干接点针脚1 和和4 可以提供使用。真空泵的可以提供使用。真空泵的EMO 也可以通过也可以通过J1 接口上接口上的针脚的针脚2 和和3 进行外部监控进行外部监控。的针脚的针脚和和进行外部监控进行外部监控EMO 回路由机电元件构成。回路由机电元件构成。对其复位将不会激活真空泵对其复位将不会激活真空泵对其复位将不会激活真空泵对其复位将不会激活真空泵。Series 2 干泵使用注意事项培训 10All rights reserved 2004,Alcatel干泵的加油干泵的加油警告！真空泵发运时并没有加油，油和泵分开发运。同样，警告！真空泵发运时并没有加油，油和泵分开发运。同样，建议客户在退回真空泵之前也将油排放建议客户在退回真空泵之前也将油排放建议客户在退回真空泵之前也将油排放建议客户在退回真空泵之前也将油排放。真空泵出厂测试时使用的是真空泵出厂测试时使用的是Alcatel 113 合成油。合成油。矿物油与合成矿物油与合成油油不能混在一起使用不能混在一起使用我们建议用户依然使用我们建议用户依然使用矿物油与合成矿物油与合成油油不能混在一起使用不能混在一起使用，我们建议用户依然使用我们建议用户依然使用该润滑油。该润滑油。Series 2 干泵使用注意事项培训 11All rights reserved 2004,Alcatel干泵的加油干泵的加油油位应当在油位视窗的一半。油位应当在油位视窗的一半。Series 2 干泵使用注意事项培训 12All rights reserved 2004,Alcatel干泵的冷却水连接干泵的冷却水连接冷却水特性冷却水特性-事先处理过的软质水或无腐蚀性的工业用水事先处理过的软质水或无腐蚀性的工业用水-PH 值在值在7.5 和和11 之间之间-硬度硬度 1500 欧姆欧姆.厘米厘米-允许颗粒大小（最大）：允许颗粒大小（最大）：0.03 mm2-固体污染：固体污染：100 mg/dm3-温度：温度：10 25-压力范围：绝压压力范围：绝压 3 7 bar(30 87 psig)-进水口进水口/排水口压差：至少排水口压差：至少 2 bar(30 psig)如果冷却水特性中的“允许颗粒大小”和“固体污染”参数如果冷却水特性中的“允许颗粒大小”和“固体污染”参数不能满足不能满足请在冷却水路上安装过滤器请在冷却水路上安装过滤器Series 2 干泵使用注意事项培训 13All rights reserved 2004,Alcatel不能满足不能满足，请在冷却水路上安装过滤器请在冷却水路上安装过滤器。干泵的冷却水连接干泵的冷却水连接冷却水路的连接冷却水路的连接Series 2 干泵使用注意事项培训 14All rights reserved 2004,Alcatel干泵的冷却水连接干泵的冷却水连接冷却水流量的调节冷却水流量的调节Series 2 干泵使用注意事项培训 15All rights reserved 2004,Alcatel干泵的氮气吹扫连接干泵的氮气吹扫连接为了确保最好的性能，需要根据以下特性提供过滤后的干燥为了确保最好的性能，需要根据以下特性提供过滤后的干燥氮气：氮气：-露点露点 22-粉尘粉尘 1 u m-粉尘粉尘 1 u.m-含油量含油量 0.1 ppm-压力范围：压力范围：30 87 psig（绝压（绝压 3 7 bar）N2 突然大量进入氮气管路会造成内部元件的损坏。在为真突然大量进入氮气管路会造成内部元件的损坏。在为真空泵加氮气之前先逆时针旋转关闭调压阀空泵加氮气之前先逆时针旋转关闭调压阀空泵加氮气之前先逆时针旋转关闭调压阀空泵加氮气之前先逆时针旋转关闭调压阀。Series 2 干泵使用注意事项培训 16All rights reserved 2004,Alcatel干泵的氮气吹扫连接干泵的氮气吹扫连接氮气流量的调节氮气流量的调节Series 2 干泵使用注意事项培训 17All rights reserved 2004,Alcatel干泵的电路连接干泵的电路连接主断路器的设定值主断路器的设定值（建议值建议值）主断路器的设定值主断路器的设定值（建议值建议值）Series 2 干泵使用注意事项培训 18All rights reserved 2004,Alcatel干泵的电路连接干泵的电路连接电源连接（用插座）电源连接（用插座）Series 2 干泵使用注意事项培训 19All rights reserved 2004,Alcatel干泵的电路连接干泵的电路连接电源连接电源连接（直接用电线直接用电线）（直接用电线直接用电线）Series 2 干泵使用注意事项培训 20All rights reserved 2004,Alcatel干泵的电路连接干泵的电路连接对电线的要求对电线的要求对电线的要求对电线的要求-对于对于ADP 122，AWG-12（或或2.5 mm2）对于对于或或-对于对于ADS 602/ADS 1202，AWG-10（或（或4 mm2）地线要比地线要比3 根相线长。根相线长。Series 2 干泵使用注意事项培训 21All rights reserved 2004,Alcatel确认电机的转向确认电机的转向如果采取的是现场模式，真空泵只有在如果采取的是现场模式，真空泵只有在J1 和和J14 接口上连接了接口上连接了和和J14 接口上连接了接口上连接了接头（随泵一起发送）时才可以运行。而在接头（随泵一起发送）时才可以运行。而在远程模式，如果紧停接口并没有远程连接，远程模式，如果紧停接口并没有远程连接，则必须在则必须在J1 接口上连接口上连则必须在则必须在J1 接口上连接口上连接接头。接接头。Series 2 干泵使用注意事项培训 22All rights reserved 2004,Alcatel确认电机的转向确认电机的转向将主开关设置到位置将主开关设置到位置1，“主开关开”显示灯亮。，“主开关开”显示灯亮。Series 2 干泵使用注意事项培训 23All rights reserved 2004,Alcatel确认电机的转向确认电机的转向当手动遥控器连接到真空泵上时，监控系统自动识别该真空泵。按控系统自动识别该真空泵。按“ENTER”键使系统初使化。由于是第一次连接，必须按“CONTROL”键获得对于真空泵的控制权：一个星键获得对于真空泵的控制权：个星号显示在屏幕的左上方。Series 2 干泵使用注意事项培训 24All rights reserved 2004,Alcatel确认电机的转向确认电机的转向在真空泵进气口安装一个真空表。在真空泵进气口安装一个真空表。将主开关打开到位置将主开关打开到位置1。按“按“ROOTS”键，直到显示屏上的”键，直到显示屏上的ROOTS 消失。消失。按“按“START”键启动真空泵并在数秒后停机：”键启动真空泵并在数秒后停机：-如果压力值显示为小于如果压力值显示为小于5.10-1 mbar，则转向是正确的。，则转向是正确的。-如果压力上升，则只需要更换主电源插座中或主开关终端的任意两相即可如果压力上升，则只需要更换主电源插座中或主开关终端的任意两相即可Series 2 干泵使用注意事项培训 25All rights reserved 2004,AlcatelJ14远程控制接口的使用远程控制接口的使用远程控制的功能为：远程控制的功能为：-可以远程控制真空泵的功能“启动可以远程控制真空泵的功能“启动/停止停止/气体吹扫气体吹扫/罗茨泵”以及“进气口阀门”。罗茨泵”以及“进气口阀门”。-通过通过辅助的干接点辅助的干接点（50V 1A）对对一些一些参数进行参数进行监监控控。这些。这些接点接点也也可以用可以用辅助的干接点辅助的干接点对参数进行控对参数进行控接点可以用接点可以用来进行一些自动控制。来进行一些自动控制。J14 远程控制接口的位置远程控制接口的位置远程控制接口远程控制接口“J14”在真空在真空远程控制接口远程控制接口J14”在真空在真空泵的尾部面板上。泵的尾部面板上。Series 2 干泵使用注意事项培训 26All rights reserved 2004,AlcatelJ14远程控制接口的使用远程控制接口的使用在现场模式时，真空泵只有在“在现场模式时，真空泵只有在“J14”接口上连接了随泵一”接口上连接了随泵一起发送的接头时才可以运行。起发送的接头时才可以运行。接头的接线接头的接线接头的类型：接头的类型：Sub D 50 针的接头。针的接头。Series 2 干泵使用注意事项培训 27All rights reserved 2004,AlcatelJ14远程控制接口的使用远程控制接口的使用控制的接点（输入信号）控制的接点（输入信号）5 30 VDC 电压干接点电压干接点Series 2 干泵使用注意事项培训 28All rights reserved 2004,AlcatelJ14远程控制接口的使用远程控制接口的使用输入信号的功能输入信号的功能Series 2 干泵使用注意事项培训 29All rights reserved 2004,AlcatelJ14远程控制接口的使用远程控制接口的使用输出信号的功能输出信号的功能Series 2 干泵使用注意事项培训 30All rights reserved 2004,AlcatelJ1紧停接口的使用紧停接口的使用在现场模式下，只有在“在现场模式下，只有在“J1”接口连接了随泵发送的接头接口连接了随泵发送的接头之后才能够运行之后才能够运行紧停接头连接之后紧停接头连接之后如果是远程控制如果是远程控制之后才能够运行之后才能够运行。紧停接头连接之后紧停接头连接之后，如果是远程控制如果是远程控制模式，则需要在“模式，则需要在“J14”接口处再连接上接头。接口处再连接上接头。Series 2 干泵使用注意事项培训 31All rights reserved 2004,AlcatelRS232/485接口的使用接口的使用串口连接的初始设置如下：串口连接的初始设置如下：-类型类型：RS 232类型类型：RS 232-传输速度：传输速度：9600 bauds-数据长度：数据长度：8 bits-奇偶性奇偶性：无无-奇偶性奇偶性：无无-停止位：停止位：1J6 和和 J7 接头接头Series 2 干泵使用注意事项培训 32All rights reserved 2004,AlcatelRS232/485接口的使用接口的使用PC通过通过RS232和干泵之间的连接：和干泵之间的连接：Series 2 干泵使用注意事项培训 33All rights reserved 2004,AlcatelRS232/485接口的使用接口的使用PC通过通过RS485和干泵之间的连接：和干泵之间的连接：串联：如果任何一台真空泵断开则所有信号都丢失。并联：如果任何一台真空泵断开则只有该真空泵的信号丢失。串联：如果任何一台真空泵断开则所有信号都丢失。并联：如果任何一台真空泵断开则只有该真空泵的信号丢失。Series 2 干泵使用注意事项培训 34All rights reserved 2004,Alcatel排气管加热带的安装排气管加热带的安装松开四个螺丝，移开真空泵的尾松开四个螺丝，移开真空泵的尾拆卸排气管道松开两个螺帽拆卸排气管道松开两个螺帽盖。排气管道位于真空泵的底部。（盖。排气管道位于真空泵的底部。（2），移开管道。），移开管道。Series 2 干泵使用注意事项培训 35All rights reserved 2004,Alcatel排气管加热带的安装排气管加热带的安装将加热带（将加热带（3）安装在管道上，）安装在管道上，安装隔热套安装隔热套（4）并通过绳索绑紧。并通过绳索绑紧。安装隔热套安装隔热套（4）。Series 2 干泵使用注意事项培训 36All rights reserved 2004,Alcatel排气管加热带的安装排气管加热带的安装排气加热带的电路连接排气加热带的电路连接将加热带的电源线连接到电气箱内的将加热带的电源线连接到电气箱内的RT3 断路器上。断路器上。注：注：?若要在拆卸消音器时不断开加热带的连接，需确认电源若要在拆卸消音器时不断开加热带的连接，需确认电源线的长度等线的长度等线的长度等线的长度等。如果有多个加热带，需将它们平行地连接到。如果有多个加热带，需将它们平行地连接到RT3 的接点的接点Series 2 干泵使用注意事项培训 37All rights reserved 2004,Alcatel上。上。运行模式运行模式现场控制模式现场控制模式出于安全原因，真空泵在同一时间只能由一个手动遥控器控出于安全原因，真空泵在同一时间只能由一个手动遥控器控制制制制。根据手动遥控器连接方式进行根据手动遥控器连接方式进行开关设置开关设置有两个开关必须设置有两个开关必须设置第一个第一个有两个开关必须设置有两个开关必须设置：第一个第一个开关在手动遥控器的背部，第二个开关开关在手动遥控器的背部，第二个开关S1 则在电路接口处则在电路接口处Series 2 干泵使用注意事项培训 38All rights reserved 2004,Alcatel运行模式运行模式干触点远程控制模式相对于串口连接模式有优先权。干触点远程控制模式相对于串口连接模式有优先权。Series 2 干泵使用注意事项培训 39All rights reserved 2004,Alcatel手动遥控器的使用手动遥控器的使用中性气体吹扫设置中性气体吹扫设置-出于安全方面的考虑，真空泵的“出于安全方面的考虑，真空泵的“CMD PURGE”菜单设置“菜单设置“DISABLED”。该设置在真空泵运行时不允许客户停止气体吹扫。该设置在真空泵运行时不允许客户停止气体吹扫。对于对于LM 型的真空泵，设置“型的真空泵，设置“CMD PURGE”为为“DISABLED”并将并将S2 符号轮设置在位置符号轮设置在位置“1”“DISABLED”并将并将S2 符号轮设置在位置符号轮设置在位置“1”。如果选择了气体吹扫的话如果选择了气体吹扫的话N2 的信息将显示在手动遥控器的信息将显示在手动遥控器如果选择了气体吹扫的话如果选择了气体吹扫的话，N2 的信息将显示在手动遥控器的信息将显示在手动遥控器屏幕上。屏幕上。Series 2 干泵使用注意事项培训 40All rights reserved 2004,Alcatel手动遥控器的使用手动遥控器的使用真空泵的启动真空泵的启动-如果要同时启动罗茨泵和如果要同时启动罗茨泵和ADP，设置“，设置“CMD ROOTS”菜单为菜单为“DISABLED”；-当当ADP 在运行时要启动或停止罗茨泵在运行时要启动或停止罗茨泵，则设置则设置“CMD ROOTS”菜单为菜单为当当ADP 在运行时要启动或停止罗茨泵在运行时要启动或停止罗茨泵，则设置则设置CMD ROOTS 菜单为菜单为“ENABLED”。罗茨泵可以通过按“。罗茨泵可以通过按“ROOTS”键启动或停止。键启动或停止。Series 2 干泵使用注意事项培训 41All rights reserved 2004,Alcatel手动遥控器的使用手动遥控器的使用真空泵的启动真空泵的启动按按“START”键可以启动真空泵键可以启动真空泵以下操作将会自动运行以下操作将会自动运行：按按START 键可以启动真空泵键可以启动真空泵。以下操作将会自动运行以下操作将会自动运行：-进气口截止阀打开（如果设置了该选项的话）；进气口截止阀打开（如果设置了该选项的话）；-ADP 泵启动；泵启动；-捕捉数据，传感器运行；捕捉数据，传感器运行；-如果菜单“如果菜单“CMD PURGE”设置为“设置为“DISABLED”的话，气体吹扫阀打开（的话，气体吹扫阀打开（P 型和型和H型）；型）；-罗茨泵启动（如果选择的话）同时，将显示真空泵的运行参数。罗茨泵启动（如果选择的话）同时，将显示真空泵的运行参数。注：对于有温度控制的真空泵，“注：对于有温度控制的真空泵，“THERM ADP”水阀在真空泵温度达到水阀在真空泵温度达到ADP 设置温度值时打开，而当温度设置温度值时打开，而当温度下降到下降到ADP 设置温度值设置温度值2时时水阀关闭水阀关闭Series 2 干泵使用注意事项培训 42All rights reserved 2004,Alcatel下降到下降到ADP 设置温度值设置温度值-2时时，水阀关闭水阀关闭。手动遥控器的使用手动遥控器的使用真空泵的停机真空泵的停机按“按“STOP”键并按“键并按“ENTER”确认。以下操作将自动运行：确认。以下操作将自动运行：-进气口截止阀关闭（如果设置了该选项的话）；进气口截止阀关闭（如果设置了该选项的话）；-真空泵停止；真空泵停止；-如果设置了时间的话（如果设置了时间的话（0-120 分钟），在停机状态下气体吹扫继续运行（分钟），在停机状态下气体吹扫继续运行（P 型和型和H 型）型）如果是因为断电而停机的话，如果“如果是因为断电而停机的话，如果“AUTO START”菜单设置为“菜单设置为“ENABLED”的话的话真空泵可以自动重新启动真空泵可以自动重新启动ENABLED 的话的话，真空泵可以自动重新启动真空泵可以自动重新启动。如果真空泵设置了断电后自动重新启动的功能，客户有责任采取所有的检测，以防止该运行方式造成的任何风险。如果真空泵设置了断电后自动重新启动的功能，客户有责任采取所有的检测，以防止该运行方式造成的任何风险。Series 2 干泵使用注意事项培训 43All rights reserved 2004,Alcatel可选配置：断电保护可选配置：断电保护该可选配置包含一块安装在该可选配置包含一块安装在M4电控箱内的线路板，用于当电控箱内的线路板，用于当断电时暂时提供泵几秒钟电断电时暂时提供泵几秒钟电断电时暂时提供泵几秒钟电断电时暂时提供泵几秒钟电。-该可选配置可通过用户在手动遥控器内的“该可选配置可通过用户在手动遥控器内的“DEFINITION”菜单设置。菜单设置。在手动遥控器内的在手动遥控器内的“DEFINITION”菜单中设置电池项为菜单中设置电池项为“ENABLED”如如在手动遥控器内的在手动遥控器内的“DEFINITION”菜单中设置电池菜单中设置电池一一项为项为“ENABLED”。如如果发生主电源断电，“果发生主电源断电，“W09 power supply”信息显示在手动遥控器上，但是远信息显示在手动遥控器上，但是远程程程程控制器接口上的输出触点状态并不改变。控制器接口上的输出触点状态并不改变。Series 2 干泵使用注意事项培训 44All rights reserved 2004,Alcatel可选配置：断电保护可选配置：断电保护有两种可能的情况：有两种可能的情况：-主电源在断电后延时主电源在断电后延时1 秒之内就恢复秒之内就恢复主电源在断电后延时主电源在断电后延时1 秒之内就恢复秒之内就恢复如果真空泵正在运行时突然断电，如果手动遥控器的“如果真空泵正在运行时突然断电，如果手动遥控器的“DEFINITION”菜单中菜单中的的的的“AUTO RESTART”设置为“设置为“ENABLED”，则真空泵自动重新启动。真空泵恢，则真空泵自动重新启动。真空泵恢复到原先的运行状态。复到原先的运行状态。主电源并没有在断电后延时主电源并没有在断电后延时1 秒之内恢复秒之内恢复-主电源并没有在断电后延时主电源并没有在断电后延时1 秒之内恢复秒之内恢复发生断电后，出现“发生断电后，出现“D09 power supply”信息（由于真空泵电源没有供电，信息（由于真空泵电源没有供电，Series 2 干泵使用注意事项培训 45All rights reserved 2004,Alcatel该信息将会在主电源一恢复后就显示在“该信息将会在主电源一恢复后就显示在“ADMINISTRATION”菜单的最近的报菜单的最近的报警警ADS602中罗茨泵的冷却中罗茨泵的冷却罗茨泵的冷却水路配置了一个罗茨泵的冷却水路配置了一个3 通阀，用于根据工艺确定罗通阀，用于根据工艺确定罗茨泵的冷却茨泵的冷却茨泵的冷却茨泵的冷却。罗茨泵罗茨泵冷却冷却冷却冷却Series 2 干泵使用注意事项培训 46All rights reserved 2004,AlcatelADS602中罗茨泵的冷却中罗茨泵的冷却罗茨泵不冷却：罗茨泵不冷却：根据工艺的要求根据工艺的要求可能不需要冷却罗茨泵可能不需要冷却罗茨泵如果是这种情况如果是这种情况则将手动阀旋转则将手动阀旋转根据工艺的要求根据工艺的要求，可能不需要冷却罗茨泵可能不需要冷却罗茨泵。如果是这种情况如果是这种情况，则将手动阀旋转则将手动阀旋转180 度到相反的位置度到相反的位置Series 2 干泵使用注意事项培训 47All rights reserved 2004,AlcatelADS602中罗茨泵的冷却中罗茨泵的冷却罗茨泵冷却罗茨泵冷却罗茨泵冷却罗茨泵冷却的工作原理的工作原理Series 2 干泵使用注意事项培训 48All rights reserved 2004,Alcatel真空泵设置参数的储存和读取真空泵设置参数的储存和读取在安装或替换真空泵时，有可能需要将一台真空泵的设置参在安装或替换真空泵时，有可能需要将一台真空泵的设置参数拷贝到另数拷贝到另一一台真空泵上台真空泵上（根据用户编辑的所有运行设置和根据用户编辑的所有运行设置和数拷贝到另台真空泵上数拷贝到另台真空泵上（根据用户编辑的所有运行设置和根据用户编辑的所有运行设置和参数）。参数）。-Config.Save 和和 Config.Load 所有的参数都被储存到真空泵中，除了以下参数则需要根据真空泵现场设置：所有的参数都被储存到真空泵中，除了以下参数则需要根据真空泵现场设置：-蜂鸣器蜂鸣器-蜂鸣器蜂鸣器-温度单位温度单位-压力单位压力单位-RS 连接连接-时间和日期时间和日期-语言语言Series 2 干泵使用注意事项培训 49All rights reserved 2004,Alcatel语言语言储藏模式储藏模式通过连续按“通过连续按“+”键滚动到“键滚动到“MANAGEMENT”菜单。然后，菜单。然后，按按按按“ENTER”键进入子菜单“键进入子菜单“STORAGE”。随后，再按“。随后，再按“+”键以及键以及“ENTER”键选择“键选择“ENABLED”。此时，真空泵将不能启动，计时器也被封闭。此时，真空泵将不能启动，计时器也被封闭。注注当真空泵启动后当真空泵启动后“STORAGE”模式自动模式自动注注：当真空泵启动后当真空泵启动后，“STORAGE”模式自动模式自动取消，只需要重新设置一下日期和时间（因为在储存模式下运行模式被封闭）。取消，只需要重新设置一下日期和时间（因为在储存模式下运行模式被封闭）。Series 2 干泵使用注意事项培训 50All rights reserved 2004,Alcatel维护保养维护保养真空泵内残留的工艺气体可能会造成严重伤害甚至于死亡。在搬动真空泵真空泵内残留的工艺气体可能会造成严重伤害甚至于死亡。在搬动真空泵之前之前，通过机台对真空泵继续进行通过机台对真空泵继续进行N2 吹扫吹扫30 分钟以分钟以上。上。N2 的压力和流量应的压力和流量应之前之前通过机台对真空泵继续进行通过机台对真空泵继续进行吹扫吹扫分钟以分钟以的压力和流量应的压力和流量应当与在工艺时编辑的数据相同。当与在工艺时编辑的数据相同。建议（建议（P 和和H 型）型）-用干燥氮气对真空泵进行吹扫。用干燥氮气对真空泵进行吹扫。-如果在程序中编辑了氮气吹扫的指令如果在程序中编辑了氮气吹扫的指令，当真空泵停止时当真空泵停止时（正常停机或故障正常停机或故障如果在程序中编辑了氮气吹扫的指令如果在程序中编辑了氮气吹扫的指令，当真空泵停止时当真空泵停止时（正常停机或故障正常停机或故障停机）氮气吹扫将会自动进行。停机）氮气吹扫将会自动进行。-如果不是的话，则需要如下操作：如果不是的话，则需要如下操作：如果真空泵是远程控制的如果真空泵是远程控制的则需要移开在真空泵尾部的则需要移开在真空泵尾部的J14 和和J1 接头接头并连并连如果真空泵是远程控制的如果真空泵是远程控制的，则需要移开在真空泵尾部的则需要移开在真空泵尾部的J14 和和J1 接头接头，并连并连接上随泵发送的接头。编辑“接上随泵发送的接头。编辑“PURGE FLOW PROLONGED”并设置“并设置“PURGE Series 2 干泵使用注意事项培训 51All rights reserved 2004,AlcatelCOMMAND”为为DISABLED。在面板上按。在面板上按START，然后按，然后按STOP，氮气吹扫在“，氮气吹扫在“STOP IN PROGRESS”期间自动进行。期间自动进行。维护保养维护保养维护保养时间的监控维护保养时间的监控根据设置编辑的维护保养时间根据设置编辑的维护保养时间，当运行时间超过维护保养设置时间时当运行时间超过维护保养设置时间时，手动手动根据设置编辑的维护保养时间根据设置编辑的维护保养时间当运行时间超过维护保养设置时间时当运行时间超过维护保养设置时间时手动手动遥控器上会交替出现运行参数以及报警信号。前端面板上的红色报警灯会点亮。遥控器上会交替出现运行参数以及报警信号。前端面板上的红色报警灯会点亮。在泵运行时按在泵运行时按SET 键键各元件的运行时间会依次显示各元件的运行时间会依次显示在泵运行时按在泵运行时按SET 键键，各元件的运行时间会依次显示各元件的运行时间会依次显示。该信息也可以在任何时间通过。该信息也可以在任何时间通过MAINTENANCE 菜单获得。菜单获得。维护保养周期维护保养周期根据工艺以及使用的设备而改变。维护保养周期维护保养周期根据工艺以及使用的设备而改变。换油在现场无需换油。只有在厂商培训的专人进行泵的大修时才需要换油。换油在现场无需换油。只有在厂商培训的专人进行泵的大修时才需要换油。Series 2 干泵使用注意事项培训 52All rights reserved 2004,Alcatel维护保养维护保养电气元件的位置（电器箱）电气元件的位置（电器箱）诊断和故障排除诊断和故障排除（从从D 30 开始开始）可能会需要检查电气箱内的电气元件可能会需要检查电气箱内的电气元件诊断和故障排除诊断和故障排除（从从D 30 开始开始）可能会需要检查电气箱内的电气元件可能会需要检查电气箱内的电气元件：Series 2 干泵使用注意事项培训 53All rights reserved 2004,Alcatel维护保养维护保养断路器的设置断路器的设置Series 2 干泵使用注意事项培训 54All rights reserved 2004,Alcatel维护保养维护保养M4 监控系统尾部的传感器接口位置监控系统尾部的传感器接口位置Series 2 干泵使用注意事项培训 55All rights reserved 2004,Alcatel维护保养维护保养真空泵的放油真空泵的放油一一些特别的气体在接触到油之后会变得有腐蚀性和有毒些特别的气体在接触到油之后会变得有腐蚀性和有毒在处理用过的油或在处理用过的油或些特别的气体在接触到油之后会变得有腐蚀性和有毒些特别的气体在接触到油之后会变得有腐蚀性和有毒。在处理用过的油或在处理用过的油或脏油时请始终戴好手套，将油排放到密闭的容器中，不要呼吸到油蒸汽。请始终戴好呼吸面罩。脏油时请始终戴好手套，将油排放到密闭的容器中，不要呼吸到油蒸汽。请始终戴好呼吸面罩。注意注意注意注意：罗茨泵有：罗茨泵有2 个个油箱油箱油箱油箱。Series 2 干泵使用注意事项培训 56All rights reserved 2004,Alcatel维护保养维护保养冷却水的排放冷却水的排放-由于冷却水路上配置了水阀（常关），冷却水的排放必须在真空泵运行状态下进行（这样阀才能打开）。由于冷却水路上配置了水阀（常关），冷却水的排放必须在真空泵运行状态下进行（这样阀才能打开）。-准备一段带准备一段带1/4 英寸快速公接头的软管（英寸快速公接头的软管（A），以及一段带），以及一段带1/4 英寸快速母接头的软管（英寸快速母接头的软管（B）（与压缩空气相连）。）（与压缩空气相连）。-松开真空泵冷却水进水口和出水口的接头松开真空泵冷却水进水口和出水口的接头松开真空泵冷却水进水口和出水口的接头松开真空泵冷却水进水口和出水口的接头。-将软管（将软管（A）连接到真空泵的出水口，然后将软管的另一端连接到一个容器中（容量不超过）连接到真空泵的出水口，然后将软管的另一端连接到一个容器中（容量不超过1 升）。升）。将软管将软管（B）连接到真空泵的进水口连接到真空泵的进水口然后另然后另该操作必须迅速进行，因为真空泵该操作必须迅速进行，因为真空泵在没有冷
