电子显微镜及其附属设备结构、基本原理(第一部分1).ppt

电子显微镜及其附属设备电子显微镜及其附属设备的结构、基本原理、的结构、基本原理、用途及其使用用途及其使用方法方法第一部分第一部分透射式电子显微镜透射式电子显微镜1.透射式电子显微镜外形及其基本结构 组成：电子光学系统；高压系统；数据采集系统；电子控制系统；真空系统等五大部分。电子光学系统 电子枪、电子束 加速线圈、透镜 系统、物镜系统、成像系统、消像 散系统、电子对 中系统等真空系统真空系统的组成：机械泵、扩散泵、离子泵、真空管道、循环水系统等电子枪镜筒照相室DPIPRP数据采集系统数据采集系统包括：CCD数据采集系统、PHOTO采集系统；高压及其电源系统高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发射枪、电源等。电子控制系统电源控制系统、电子束调整系统、电子光路调整系统、电子成像控制系统、真空控制系统、模式选择系统等。2.透射电子显微镜的基本工作原理电子光学系统电子光学系统 的工作原理的工作原理LaB6灯丝在高电压的作用下，产生一束高能电子束。经过透镜、物镜、消像散等系统的调整，形成一束近似平行光的电子束，作用于试样。电子束与试样将发生各种各样的作用。主要形成透过电子、弹性散射电子、非弹性散射电子