不易对准判断与处理简介.ppt
NAME/DATECONFIDENTIAL1Oct.2001不易對準判斷及處理簡介不易對準判斷及處理簡介l綱要:1.PREALIGN 2.SEARCH 3.EGA 4.程式/座標 ISSUE 5.LSA 異常層別及排除 6.FIA 異常層別及排除BY C.W.Lu OCT/2001NAME/DATECONFIDENTIAL2Oct.2001 PREALIGNl目的:找NOTCH位置,晶片粗略對正l限制:y主要受限機台能力y第一層對準機台需評估PREALIGN 穩定性y第一層PREALIGN結果將影響後續每一層l單片性異常處理:OF RETRYl注意事項:y第一層PREALIGN若偏差太大(特別是W.ROT.),則需報廢y第一層材料PREALIGN異常時,需重作,不可“PROCEDE”NAME/DATECONFIDENTIAL3Oct.2001PREALIGN異常層別及處理異常層別及處理NAME/DATECONFIDENTIAL4Oct.2001SEARCHl目的:y量測Y,T,X 三組MARK,計算WAFER CENTER位置,作為EGA基準y計算及補償WAFER ROTATIONlSENSOR/MARK選擇yMARK訊號強y雜訊低y與本層最接近之前一重要層MARKl限制ySCAN RANGE大,易受雜訊干擾y縮小SCAN RANGE需考慮STEPPER PREALIGN(包括 W.R.)能力NAME/DATECONFIDENTIAL5Oct.2001SEARCH MARK選擇選擇(1)-F8DNAME/DATECONFIDENTIAL6Oct.2001 SEARCH 手動助拉流程手動助拉流程l目的:ySEARCH 訊號太弱,雜訊過高或MARK磨損時,以手動對準並強制執行l程序yMANUAL Y-T,MANUAL X:執行SEARCH Y,T,X 之手動對準yEGA:強制完成SEARCH對準,並進入EGA步驟NAME/DATECONFIDENTIAL7Oct.2001CHECK對準訊號操作流程對準訊號操作流程lCHECK SIGNALy選F6-SWITCHyCHECK SEARCH SIGNAL:選“SEARCH ASSIST”yCHECK EGA SIGNAL:選“EGA ASSIST”NAME/DATECONFIDENTIAL8Oct.2001EGAl目的:y根據SEARCH 結果量測68組EGA MARKy分析每組MARK偏差量,計算該WAFER前層各AA分量(OFFSET,SCALING,MAG,RR)y計算WAFER曝光時各SHOT補償量lSENSOR/MARK選擇yMARK訊號強y雜訊低yAA穩定性高l限制ySCAN RANGE小,不易受雜訊干擾yALIGNMARK 選擇,需根據ALIGNMENT RULE,不可任易變更y換SENSOR/MARK,會造成AA SHIFTLSA MARKFIA MARKNAME/DATECONFIDENTIAL9Oct.2001g-EGA LIMIT OVER SPECNAME/DATECONFIDENTIAL10Oct.2001程式座標程式座標&圖形異常圖形異常NAME/DATECONFIDENTIAL11Oct.2001LSA SIGNAL 強弱變異強弱變異-STI(1)BEFORE ALIGNMARK ETCHINGAFTER ALIGNMARK ETCHINGNAME/DATECONFIDENTIAL12Oct.2001LSA SIGNAL 強弱變異強弱變異-STI(2)NAME/DATECONFIDENTIAL13Oct.2001SEARCH MARK選擇選擇(2)-ALIGN TO SINALIGN TO P1現象現象:ALIGNMARK訊號受訊號受 DUMMY PATTERN雜訊干擾雜訊干擾影響影響:偶發性不易對準偶發性不易對準現象現象:SEARCH改對改對 P1,MARK 訊訊號號 大幅增強大幅增強,DUMMY PATTERN雜雜訊相對減弱訊相對減弱影響影響:對準正常對準正常NAME/DATECONFIDENTIAL14Oct.2001CMP DISHING EFFECTl現象現象:STI CMP(SIN),凸凸MARK(AD3,AD4),CMP DISHING效應效應l處置處置:換換LSA 凹凹MARK OR 換換FIA SENSORNAME/DATECONFIDENTIAL15Oct.2001ALIGNMARK OXIDE RESIDUE 現象:LA ALIGNMARK蝕刻OX殘留,產生之雜訊處置:換FIA SENSOR/改凹MARKNAME/DATECONFIDENTIAL16Oct.2001W-CMP RESIDUE(2)凸凸MARK 凹凹MARK W-CMP後後,週邊週邊W 殘留殘留 W-CMP後後,週邊無週邊無W 殘留殘留NAME/DATECONFIDENTIAL17Oct.2001W-CMP RESIDUE(1)現象現象:L9 M-VIA層層,凸凸MARK 周遭周遭,W殘留殘留,雜訊過大雜訊過大影響影響:L9/LA M2M5處置處置:1.SEARCH 手動助拉手動助拉 2.修改光罩修改光罩LAYOUT,SEARCH 改改AD(凹凹)MARK NAME/DATECONFIDENTIAL18Oct.2001MET RWK(CMP)MARK磨損磨損現象現象:METAL層層CMP RWK,MARK嚴重磨損嚴重磨損處置處置:SEARCH 手動助拉手動助拉NAME/DATECONFIDENTIAL19Oct.2001LSA/EGA:SIGNAL NOIZY AFTER CMP 現象:CMP異常,SIGNAL對稱性差,變異過大處置:換FIA SENSOR注意:換SENSOR/MARK 可能造成AA SHIFT;若 連批應先PILOT AANAME/DATECONFIDENTIAL20Oct.2001DUMMY PATTERN(1)l現象現象:y ALIGNMARK週圍密集週圍密集CMP DUMMY PATTERN,產生強烈雜訊產生強烈雜訊y此此DUMMY PATTERN作用作用類似類似LSA MARKl影響影響:y LSA SENSOR y CMP 後層後層l處置處置:y改用改用FIAy縮小縮小SEARCH MARGINySEARCH 改對最近之前層改對最近之前層MARK直排直排 差排差排NAME/DATECONFIDENTIAL21Oct.2001DUMMY PATTERN(2)l現象現象:y光罩光罩LAYOUT 錯誤錯誤,密集切割道密集切割道DUMMY PATTERN,嚴重干擾嚴重干擾ALIGN MARK訊號訊號l原因原因:yM-V2 MARK 底下未墊底下未墊M2 PADyM3 對對M-V2時時,受受M1 DUMMY PATTERN雜訊干擾雜訊干擾l影響影響:y L7N-B製程製程(eg.IOTPI2,SV10X7C,CMD02 etc)M2,M3,M4,PADl處置處置:ySEARCH&EGA 改對前層改對前層 yAA PILOT&補值補值yUPDATE 光罩規範光罩規範NAME/DATECONFIDENTIAL22Oct.2001密集排線干擾密集排線干擾l現象現象:y ALIGNMARK週圍密集排線週圍密集排線,產產生強烈雜訊生強烈雜訊y此此排線排線作用類似作用類似LSA MARKl影響影響:y LSA SENSOR y BY PRODUCT LAYOUTl處置處置:y改用改用FIAy縮小縮小SEARCH MARGINySEARCH 改對最近之前層改對最近之前層MARKNAME/DATECONFIDENTIAL23Oct.2001FIA/SEARCH SIGNAL(1)FIA Sensor/Search mark CENTER低反射率低反射率 CENTER高反射率高反射率 eg.MET,POLYNAME/DATECONFIDENTIAL24Oct.2001FIA SIGNAL 變異變異(1)-基材基材WITH ALIGNMARK ETCHINGSKIP ALIGNMARK ETCHINGPOLY CMPNAME/DATECONFIDENTIAL25Oct.2001FIA/EGA MARK CENTER反射太強反射太強l現象:MARK 寬度小,反射率高(eg.MET層之F2DD MARK)l處置:y換MARKy改光罩,改用REVERSE TYPE MARK(eg.F2DC MARK)MARK CENTER 高反射高反射MARK CENTER 低反射低反射NAME/DATECONFIDENTIAL26Oct.2001FIA/SEARCH 邊框效應邊框效應l現象現象:y FIA 外框外框OR 底部加墊底部加墊PAD之之邊框邊框,造成訊號誤判造成訊號誤判l影響影響:y舊型舊型FIA SEARCH X MARK y 底部加墊底部加墊PADl處置處置:y改用改用LSAyMARK 外緣加寬外緣加寬NAME/DATECONFIDENTIAL27Oct.2001FIA/EGA SIGNAL(1)MARK:F6DD l現象:MARK CENTER反射率變異過大l處置:換MARK OR 換SENSORl注意:換SENSOR/MARK 可能造成AA SHIFT;若連批應先PILOT AANAME/DATECONFIDENTIAL28Oct.2001LSA/SENSOR POSITION SHIFT(1)l現象:LSA-X SENSOR 位置SHIFTl確認:y連批性LSA不易對準yLSA-X 訊號微弱yLSA-Y 訊號正常yLSA-X影像異常,訊號也異常yFIA-X影像正常,訊號正常l影響:AA 穩定性劣化l處置:請EQ調機NAME/DATECONFIDENTIAL29Oct.2001FIA SENSOR DEFOCUS l現象:FIA SENSOR DEFOCUSl確認:y連批性FIA不易對準yFIA 訊號異常l影響:不易對準l處置:請EQ調機
