XPS的原理及其应用(精品).ppt

班饶倩蓝现代现代 分析技术分析技术基本原理基本原理现代应用现代应用方法总结方法总结基本原理基本原理（射线光电子能谱）是利用软射线激发样品的电子能谱，主要应用于样品表面元素和其价态分析。其工作原理如图。XPSXPS分析技术特点分析技术特点优点：XPS不破坏样品。灵敏度高。化学位移明确。可同时提供元素定量定性及化学态信息。缺点：只能对十几mm2的大面积分析，提供大面积内平均信息。激发光源均为非单色化X光，分辨率不高。现代现代XPSXPS分析技术分析技术单色化XPS（MonoXPS）小面积XPS(SAXPS)成像XPS（iXPS）1.1.单色化单色化XPSXPS和和SAXPSSAXPS 以前的单色化XPS单纯采用晶体（如石英晶体）单色化光源，SAXPS简单采用光阑限定实现小面积分析。现代采用先进的铝靶微聚焦单色器，可同时实现单色化XPS和SAXPS功能。新型Mono SAXPS典型技术参数：最佳空间分辨率15微米，最大分析区域400微米，最佳分辨率0.47eV,常规的XPS极限分辨率只有0.8eV。整体灵敏度大大提高，样品定位准确。1.11.1腐蚀科学中钢板上锈蚀半点检测腐蚀科学中钢板上锈蚀半点检测1.21.2微电子技术中半导体集成芯片分析微电子技术中半导体集成芯片分析1.31.3有机物种绝缘体有机物种绝缘体PEFTPEFT的分析的分析2.2.成像成像XPSXPS（iXPSiXPS）成像iXPS主要有三种：-平行成像法不需逐点扫描，速度快，信噪比高。最佳空间分辨率能达1微米。-X射线束扫描法-光电子扫描法2.12.1硅寄存器硅寄存器IXPSIXPS分析分析2.22.2聚酯（聚酯（PETPET）膜表面的碳纤维）膜表面的碳纤维iXPSiXPS分析分析结束语结束语本文只简单介绍现代能谱仪三个主要功能和应用，其实与传统的能谱仪想比，现代光电子能谱仪在功能、性能、使用维护、数据系统等方面有了很大的发展，相信随着科技发展，将来能更齐全、性能更优越。Thank You