国际标准扫描探针显微镜漂移测量方法发布[001].pdf

国际标准：“扫描探针显微镜漂移测量方法”发布目前，（）由中国科学技术大学工程科学学院黄文浩教授主持制订的国际标准“扫描探针显微镜漂移测量方法(ISO11039:2012)”已由国际标准化组织正式发布。自 20 世纪 80 年代扫描探针显微镜(Scanning-probemicroscopy，SPM)发明以来，由于其具有原子量级的分辨能力，极大地促进了纳米科学技术的发展，并已逐步形成了一种高新技术产业。SPM 的工作原理是通过微小探针在样品表面进行扫描，将探针与样品表面间的相互作用转换为表面形貌和特性图像。由于扫描速率较慢，漂移现象在扫描过程中普遍存在，这制约了 SPM 在纳米测量和纳米加工方面的进一步应用。黄文浩教授近二十年来一直从事纳米技术与精密仪器领域的研制工作。在2006 年，他向国际标准化组织ISO/TC201(表面化学分析技术委员会)提出了“扫描探针显微镜漂移速率测量方法标准”的提案，目的是要将 SPM 工作时纳米/秒的漂移大小和方向测量出来，以规范这类仪器的使用方法。2007 年该提案正式立项，黄文浩教授被指定为该项目工作组的召集人。经过四年多的努力，SPM 漂移测量方法标准的最终草案于 2011 年经全体成员国投票后顺利通过，并于2012 年正式发布。该标准定义了描述 SPM 在 X、Y 和 Z 方向的漂移速率的专业术语，规定了 SPM 漂移速率的测量方法和测量程序，对仪器的功能和工作环境以及测量报告内容均作了严格要求。该标准为 SPM 仪器生产厂家制定了漂移速率的有效参数规格，并且能帮助用户了解仪器的稳定性，以便设计有效的实验。该标准不仅适用于基于 SPM 测量图像的漂移速率评价方法，对其它纳米级测量仪器稳定性的评价也有着重要参考价值。相关研究工作受到国家自然科学基金、中科院知识创新工程重要方向性项目和科技部 973 项目资助。