真空系统组成与设计基础.ppt

真空技术真空技术o一.真空技术概况（杨乃恒）o二.真空工程理论基础（张世伟）o三.真空系统组成与设计基础（刘坤）o四.干式真空泵原理与技术基础（巴德纯）o五.真空获得设备原理与技术基础（张以忱）o六.真空镀膜技术基础（张以忱）o七.真空测量技术基础（刘玉岱）o八.质谱原理与真空检漏（刘玉岱）o九.真空冶金技术基础（王晓冬）o十.真空设备选型的方法与实践（徐成海）东北大学第七期东北大学第七期培训系列之培训系列之1.1.真空系统的组成真空系统的组成2.2.真空系统组成元件真空系统组成元件3.3.真空系统的设计计算真空系统的设计计算课程内容课程内容1.真空系统的组成o1.1真空系统的概念o1.2真空系统的组成元件o1.3真空系统的分类o1.4真空系统设计的基本内容1.1真空系统的概念o什么是真空系统？什么是真空系统？用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。例如：镀膜设备真空系统；真空热处理炉真空系统；航空模拟器真空系统；真空冶炼炉真空系统；真空压力浸漆真空系统等等。马德堡半球实验Magdeburg-spheresExperimento用两个直径119厘米的半球合起来，用水银真空泵将球内空气抽至粗真空，每个半球用8匹马才能向相反方向拉开。o真空电炉：真空电炉是在最近几十年发展起来的，在真空条件（稀薄气体中）工作的。根据加热热源不同，真空电炉可分为：电阻加热炉感应加热炉电弧加热炉电子束加热炉o真空电子束焊接：定向高速运动的电子束流撞击工件使动能转化为热能而使工件熔化，形成焊缝多功能离子注入设备金属蒸汽真空弧源注入机金属蒸汽真空弧源注入机真空吹氧脱碳炉非自耗电弧炉o离子注入：n真空中一束离子束射向固体材料，把固体材料原子或分子撞出材料表面，叫做溅射；n离子束从固体材料表面弹回来，或穿出固体材料而去，叫做散射；n而当离子束射到固体材料后，受固体材料抵抗速度慢慢减低，并最终停留在固体材料中，叫做离子注入。n离子注入引起材料表面成分、结构和性能变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能特点：无公害、不改变尺寸和表面光洁度、无剥落、不需再加工和热处理。o真空热处理：n真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，即在低于一个大气压的气氛环境中进行热处理，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。n真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。无氧化、无脱碳、无毒害物质产生；变形小、硬度均匀；脱脂除气，可获得洁净表面。光学镀膜机光学镀膜机幕墙玻璃幕墙玻璃相机镜头哈勃太空望远镜磁控溅射与离子束联合镀膜机用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析扫描电子显微镜：扫描电子显微镜：用细聚焦电子束轰击样品表面，电子用细聚焦电子束轰击样品表面，电子用细聚焦电子束轰击样品表面，电子用细聚焦电子束轰击样品表面，电子用细聚焦电子束轰击样品表面，电子用细聚焦电子束轰击样品表面，电子与样品相互作用产生二次电子、背散与样品相互作用产生二次电子、背散与样品相互作用产生二次电子、背散与样品相互作用产生二次电子、背散与样品相互作用产生二次电子、背散与样品相互作用产生二次电子、背散射电子等。射电子等。射电子等。射电子等。射电子等。射电子等。扫描电子显微镜近场光学显微镜X射线光电子能谱仪扫描近场光学显微镜多模式扫描探针显微镜 气动真空输运设备 带式真空压榨过滤机差压型真空注型机真空压力浸渍设备 国内第一台千瓦量级的氦制冷系统大型真空热实验设备模拟舱中的神州飞船模拟舱中的神州飞船 Vacuum Environment Simulationo真空度的提高（极高真空10-12Pa）和真空容器大型化（例如宇航的微重力试验的真空系统真空室1700m3），今后新的尖端科学技术的发展对此要有所考虑。空间环境模拟室Want of Manufacturing of semiconductor Industry液晶显示器大规模集成电路半导体工业需要清洁的环境半导体工业需要清洁的环境真空集便器与真空除污机“象鼻”真空吸尘机真空硬地垃圾清洁机o典型高真空系统前级泵前级泵主主泵泵高真空管路高真空管路主主阀阀预真空抽气泵预真空抽气泵预真空管路预真空管路预真空管道阀预真空管道阀前级管路前级管路前级管道阀前级管道阀软连接管道软连接管道1.2真空系统的组成元件一个较完善的真空系统由下列元件组成：1抽气设备：例如各种真空泵；2真空阀门；3连接管道；4真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；5其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。图3典型真空系统原理图 1真空室充气阀；2真空测量规管；3流量调节阀；4高真空阀；5冷阱；6油扩散泵；7储气罐；8热偶计规管（测扩散泵前级压力）9前级阀；10真空膜盒继电器；11预抽阀；12罗茨泵；13、14机械泵（其中一台可兼维持泵）；15旁通阀；1真空室2放气阀3电离真空计4热偶真空计5高真空阀6冷阱7扩散泵8前级真空阀9电磁真空阀10机械泵11管道阀图4典型真空系统原理图1.3真空系统的分类o1.3.1粗低真空系统o1.3.2中真空系统o1.3.3高真空系统o1.3.4超高真空系统1.3.1粗低真空系统o用粗真空泵（如水蒸汽喷射泵或水环泵）直接从大气压下为真空室排气，组成的真空系统即为粗真空系统。该系统是最简单的真空系统。o用低真空泵（如油封式机械泵）给真空室排气，即可组成低真空系统。o应用领域很多：n真空传输：煤矿抽瓦斯、化工、制药、医学、畜牧业等n真空造型n真空吸盘n真空包装真空系统示意图一个要进行真空处理的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,同时在容器上设置真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统。真空集便器与真空除污机1.3.2中真空系统这种系统应用比较普遍，许多应用设备都采用该种系统。如自耗炉真空系统，感应炉真空系统和一些热处理炉的真空系统等。中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。下面介绍几种系统:o只用机械泵给真空室排气，系统比较简单，在低真空范围内，真空度低于1.3310-1Pa。o油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵)工作压强范围:1.331.3310-1Pa。优点:抽气能力大，系统简单，振动小，工作稳定可靠，维修方便，成本低。缺点:预抽时间长(同罗茨泵系统比较)，工作中需要较贵重的增压泵油。下图为采用油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵)的真空感应熔炼炉的真空系统。真空感应熔炼炉o罗茨泵串联机械泵工作压强范围：1.331333Pa。优点：预抽气时间短。缺点：工作时有振动,且噪音大;工作中随时间增加,罗茨泵性能下降。o罗茨泵串联机械泵 o罗茨泵串联小型罗茨泵(中间泵),再串联机械泵工作压强范围：0.1331333Pa。优点：工作压强范围大,工作真空度高。o以油增压泵和罗茨泵为主泵,两个泵出口串联罗茨泵,再串联机械泵工作压强范围：0.1331333Pa。优点：具有罗茨泵系统和油增压泵系统的双重特点。罗茨水环泵机组o除了上述几种之外,还有油增压泵串联罗茨泵,再串联机械泵的真空系统，以及罗茨泵串联水环泵的真空系统,它适合于排出灰尘较多的应用设备上。1.3.3高真空系统o这种系统应用也比较广泛。它的工作压强范围在6.6710-26.6710-5Pa。如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等都采用高真空系统。真空容器储气罐前级泵（预抽泵）维持泵增压泵主泵高真空抽气系统工作流程图高真空抽气系统工作流程图主阀预抽阀几种典型高真空系统o扩散泵串联机械泵应用范围：一般用在工作时放气量较小的应用设备上。优点：结构简单,工作可靠,成本低。缺点：系统起动慢,预抽气时间长。扩散泵油蒸气容易返流到真空室中去。扩散泵串联旋片泵 o扩散泵串联油增压泵,再串联机械泵该系统起动慢，由于有中间油增压泵存在,故预抽气时间短些。o扩散泵串联罗茨泵,再串联机械泵系统起动慢,但预抽气时间短(因为中间有罗茨泵)。o以油增压泵和扩散泵等两套主泵,分别串联罗茨泵+机械泵和滑阀泵1.3.4超高真空系统o由于原子能工业和火箭技术的发展,超高真空技术也得到迅速发展和应用。o几种典型超高真空系统o用扩散泵和钛泵并联为主泵,扩散泵单独串联前级机械泵可以达到极限真空度为1.3310-6Pa。钠灯超高真空封接炉的系统o扩散泵串联扩散泵(中间泵),再串联机械泵该系统的特点是能获得超高真空,并能稳定工作。右图为一个超高真空系统和设备的结构图。主泵是一个水银扩散泵,泵顶有冷却挡板和液氮冷阱,中间泵也是水银扩散泵。在中间泵和前级机械泵之间设有油蒸气捕集器。并设有各种单独的加热器,烘烤真空室和主泵顶部及捕集器。o主泵为分子泵串联机械泵由于机械泵有油存在,需要在机械泵入口管道上设置捕集器冷凝油蒸气。如果分子泵串联分子筛吸附泵(前级泵),则构成了无油超高真空系统,该系统比较清洁。o钛泵或溅射离子泵做为主泵,并联或串联分子筛吸附泵(做为预真空泵)，或用钛泵联接预真空机械泵，在机械泵的入口管道上加油蒸气捕集器。o用低温泵做为主泵,串联或并联分子筛吸附泵(预真空泵),构成无油超高真空系统。同样也可以用机械泵做为预真空泵,在机械泵入口管道上设置油蒸气捕集器。1.4真空系统设计的基本内容o真空系统设计的基本内容:1、根据被抽容器对真空度的要求,选择适当的真空系统设计方案,进行选、配泵计算;2、确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等,进行合理配置；3、最后划出真空系统装配图和零部件图。1.1.真空系统的组成真空系统的组成2.2.真空系统组成元件真空系统组成元件3.3.真空系统的设计计算真空系统的设计计算课程内容课程内容2真空系统元件及连接o2.1真空阀门o2.2捕集器（阱）o2.3除尘器o2.4真空继电器o2.5可拆卸密封连接o2.6运动导入与动密封连接o2.7引入接口2.1真空阀门o2.1.1真空阀的分类与型号o2.1.2真空阀门的工作型式o2.1.3阀门密封结构与密封力计算2.1.1真空阀的分类与型号o真空阀门：在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门的型号编制方法国家专业标准作了规定,可查阅有关标准。真空阀门在真空系统中的作用o开关气路o控制气流大小，调节真空度o定量充气分类方法阀门名称工作压力用 途结构型式驱动方式通道方式低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门截止阀、隔断阀、放气阀、节流阀、换向阀挡板阀、翻板阀、碟阀、隔板阀、插板阀、闸阀、针阀手动阀、电动阀、电磁阀、气动阀、液压驱动阀、手电两用阀角阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀表1真空阀门的分类真空阀门的型号是按如下顺序和内容确定的基本型号 辅助型号 各符号所采用的字母及代表意义见表13-2。表2真空阀门的型号2.1.2真空阀门的工作型式o1隔膜阀o2真空球阀o3真空蝶阀o4插板阀o5挡板阀o6翻板阀o7电磁阀o8针阀o9超高真空阀o10无油玻璃真空阀1隔膜阀o如图,转动手轮可带动阀杆上、下移动,使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。o此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜,适用于前级和预抽管道上及温度为-2580的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜,可用于高真空系统,使用温度范围为-30150。o隔膜式真空阀是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。2真空球阀o图4所示是真空球阀的结构。o该阀中的密封机构是由两个环状弹性体紧压于一个金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔,借助于手柄转动金属球使穿孔改变方向,即可接通或切断气路。金属球轴杆与阀体间的密封采用O形密封圈密封。3真空蝶阀o蝶阀的结构比较简单,如图5所示。o阀板的边缘上嵌有O形密封圈,阀板靠螺栓固定在传动轴阀杆上,使阀杆带动阀板转动,当阀板上的密封圈与阀体紧密接触时即实现了阀门的关闭,从关闭位置、阀板再转动90时,阀门即完全打开,该种阀门的主要优点是体积小,结构简单。4插板阀o图6和图7是插板阀的两种结构型式。弹性体密封圈是嵌在阀体上。转动手柄即可打开或关闭阀门。o图6的插板阀关闭时是靠限位块的斜面压紧阀盖,进而压紧密封圈。o图7的插板阀是靠链板压紧实现阀口密封。手动手动电动电动气动气动5挡板阀o图8是一种挡板阀的结构。该阀通过阀盖的开启和压下来实现管路的接通和截止。6翻板阀o图9、10、11是三种不同结构的真空翻板阀。它们都是用压缩空气为动力源。在阀门打开或关闭的过程中,阀板的运动有一个翻转过程,能翻转一个角度。o图9的结构,阀盖的翻转靠四连杆机构实现,阀盖能实现90翻转。o在图10的结构中,靠滚轮将阀盖挡翻,在这种结构的阀门中,阀盖不能翻转90。o图11的翻板阀是蚌线机构。这种阀门结构简单,总高度低,阀板能翻转90,是我国1971年首创的。在翻板阀中,阀板翻转90时,流导较大。7电磁阀o真空阀门的驱动方式为磁力驱动的即为电磁阀。电磁真空阀的密封机构与挡板阀相同。o平时,电磁阀的阀盖靠弹簧压紧封住管路通道,需要开启时,将电磁线圈接通电流,磁力即吸引衔铁,带动阀盖,将阀门打开。o有的电磁真空阀设计成带充气的,称为电磁真空带充气阀,是专门安装在油封式机械泵入口管路上的专用阀门。o阀门与泵接在同一电源上,泵的启动与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时,阀能自动将真空管路封闭,并将大气通过泵的进气口充入泵腔,避免泵油返流污染真空系统。8针阀o针阀是一种微调阀,其阀塞为针形,主要用作调节气流量。o微调阀要求阀口开启逐渐变大,从关闭到开启最大能连续细微地调节。针形阀塞即能实现这种功能。o针形阀塞一般用经过淬火的钢制长针，也采用金作长针材料,而阀座是用锡、铜等软质材料制成。阀针与阀座间的密封是依靠其锥面紧密配合达到的。o阀针的锥度有150和6锥角两种,锥表面要经过精细研磨。图中的阀杆与阀座间的密封是靠波纹管实现的。9超高真空阀o通常的高、低真空阀门,密封垫圈的材料为橡胶,不能承受高温烘烤。因而不能使用在超高真空设备上。o能使用在超高真空设备上的超高真空阀门必须满足:n(1)能承受高温(400450)多次烘烤;n(2)放气量小,气密性好;n(3)重复性好;n(4)流导大。o图14是超高真空阀门的一种。o其主要部件是无氧铜阀盖,不锈钢阀体和传动导向机构。阀座刀口型式为直角,挡板起保证阀门重复性的作用,即刀口在阀盖上压出的刀痕每次都能重合。2.2捕集器（阱）o捕集器也称为阱,用来捕集真空系统中的可凝性蒸气。o捕集器的种类很多，根据捕集器捕集蒸气的原理和方法不同，搞集器可分为n挡油帽，n机械捕集器(阱)，n冷凝捕集器(冷阱)，n吸附捕集器(吸附阱)n其它类型的捕集器(如电捕集器，热捕集器，离子捕集器)等。o概述o机械捕集器的设计原则及其典型结构2.2.2机械捕集器（阱）机械捕集器的型式如表4典型的几种机械捕集器的结构如图35至图38所示。2.5可拆卸密封连接o可拆密封是指连接处由于安装结构要求或工艺要求的需要经常拆装的密封。其特点为：经过多次拆装仍能保持密封性能，可以更换已经老化或损坏的密封件（或材料）。o在真空系统需要经常拆卸的地方，应采用可拆卸密封连接，这种连接在真空系统中应用较多。1.1.真空系统的组成真空系统的组成2.2.真空系统组成元件真空系统组成元件3.3.真空系统的设计计算真空系统的设计计算课程内容课程内容3 真空系统的设计计算真空系统的设计计算o3.0预备知识o3.1气体负荷的计算o3.2抽气时间和压力的计算o3.3真空泵的选择与匹配计算o3.4真空系统的结构设计o3.5真空系统的安装调试与操作维护3.0预备知识o1气体流态o2流导 稀薄气体流动状态的判别稀薄气体流动状态的判别 o气体流动的基本状态o气体流动状态的分类o湍流与粘滞流的转变及其判别o粘滞流与分子流的转变及其判别o稀薄气体动力学气体流动的基本状态 o气体在管道中的流动状态不同,管道的流导也不一样,也就是说,管道对气体的流导不仅取决于管道的几何形状和尺寸,还与管道中流动的气体种类和温度有关,在有的流动状态下还取决于管道中气体的平均压力。o所以在计算管道对气体的流导时,首先必须判明管道中的气流是哪一种流动状态.气体流动状态的分类 o在真空状态下,气体通过管道的流动属于稀薄气体流动。在真空系统管路中的气流有五种流动状态:湍流(又称紊流、涡流);湍粘滞流;粘滞流(又称层流、粘性流、泊稷叶流);粘滞分子流;分子流(又称自由分子流、克努森流)。湍粘滞流是湍流和粘滞流之间的过渡状态。粘滞分子流是粘滞流和分子流之间的过渡状态。湍流与粘滞流的转变及其判别 o对于室温20空气、湍流、湍粘滞流、粘滞流之间的判别式是Q2660D为湍流Q1450D为粘滞流1450DQP2时,气体从空间流向空间。试验发现:当P1不变时,随P2下降,通过孔口的流速和流量都增加,但当P下降到某一值时,它们都不再随P2下降而增加。o对于室温空气,面积为Am2的薄壁孔的流导为:式中r为孔口两侧的压强比,r=P2/P1,其中P1P2;A为薄壁孔的面积,m2。o对于室温空气,圆形薄壁孔的流导为:式中,D为圆形薄壁孔的直径,m。o2.1.2不考虑管口影响时，圆管的流导当管道的长度比较长,管口对气流的影响。在工程计算中,通常把管道的轴线长度L与管道直径D的比值L/D20的管道视为“长管”,其实质是可以不考虑管口的影响进行计算。设圆管的轴线长度为Lm,直径为Dm,则其粘滞流条件下对于室温空气的流导为:式中是管道中气体的平均压强,Pa。o2.1.2考虑管口影响时,圆管的流导在粘滞流条件下,气流从大容积进入管口,在管口处受到影响,这种影响破坏了粘滞流的应有秩序,使管道的流导减小,这种影响常称为管口效应。在工程计算中,一般认为管道的长径比L/D20时，管口效应的影响在进行计算中不能忽略，这就是所说的“短管”.对于室温空气,考虑管口影响时,管道的流导用下式计算:式中L和D分别为管道的长度和直径,m;是管道中气流的平均压强,Pa;Q是管道中的气流量。2.2分子流时流导的计算 o2.2.1薄壁孔分子流时,对于室温空气,面积为Am2的薄壁孔的流导用下式计算:对于直径为Dm的圆孔:o2.2.2不考虑管口影响时，圆管的流导不考虑管口影响时,在分子流条件下,任意截面形状管道的流道计算式可由克努森流导积分公式导出式中,是气体分子热运动平均速率;B为管道横截面周长;A为管道横截面面积;L为管道长度;K为管道断面形状修正系数,K值的大小由实验确定。由式(15)导出的圆管的流导为式中L和D分别为圆管的长度和直径,m。o2.2.3不考虑管口影响时,圆锥形管的流导对于图5所示的截圆锥形管道,其分子流流导的计算式为式中D1为锥管大端直径,m;D2为小端直径,m;L为锥管轴线长度,m。o2.2.4考虑管口影响时,圆管的流导设圆管的长度为L,半径为R,直径为D=2R。在分子流条件下,考虑管口影响时,圆管的流导几率pr如下:因此,当考虑管口影响时,圆管对于室温空气的流导计算式为:o2.2.5真空阀门的分子流流导对于真空阀门的分子流流导计算可用下式:式中Cfk阀门入口孔的分子流流导,m3/s;pr是阀门的流导几率。2.3粘滞分子流时,圆管对于室温空气的流导计算 o粘滞分子流时,圆管对于室温空气的流导计算式是 在式(21)和(22)中,D是管道直径,m;L是管道长度,m;是管道中气体平均压强,Pa;函数J=f(D)的数值见表1。2.4管路元件串、并联时,流导的计算 o2.4.1串联管路的流导图6所示的一段管路,是导管、阀门、捕集器三个元件串联。若C1、C2、C3分别是这三个元件的流导,则它们串联之后的整段管路的流导为 on个管道元件串联后整个管路的流导为式中Ci是第i个元件的流导。可见管路元件串联之后,整个管路的流导等于各元件流导的倒数的代数和的倒数。o5.2.4.2并并联管路的流导图7所示的整段管路是三条导管的并联,若C1、C2、C3分别是这三条导管的流导,则并联后组成的整段管路的流导C为 o如果有n条管路并联组成一段管路,则并联之后整段管路的流导为式中Ci是第i个管道的流导。可见并联管路的流导等于各并联元件流导的代数和。3 真空系统的设计计算真空系统的设计计算o3.1气体负荷的计算o3.2抽气时间和压力的计算o3.3真空泵的选择与匹配计算o3.4真空系统的结构设计o3.5真空系统的安装调试与操作维护3.1气体负荷的计算式中nQl真空室中的漏气流量；nQf真空室中各种材料表面解吸放气流量；nQs真空室外大气通过器壁材料渗透到真空室内的气体流量；nQg工艺过程中真空室内产生的气体流量；nQa真空室内存在的大气量。o在真空室中，总的气体负荷为漏气流量Qlo大气通过各种真空密封的连接处和各种漏隙通道泄漏进入真空室的漏气流量Ql，对于确定的真空装置，漏气流量Ql是个常数。装 置 名 称 允许漏量/Pa.L.S-1简单减压装置、真空过滤装置、真空成型装置减压干燥装置、真空浸渍装置、真空输送装置减压蒸馏装置、真空脱气装置、真空浓缩装置真空蒸馏装置高真空蒸馏装置、冷冻干燥装置分子蒸馏装置带有真空泵的水银整流器真空镀膜装置真空冶炼装置回旋加速器高真空排气装置真空绝热装置、宇宙空间模拟装置封离、切断真空装置小型超高真空装置电子管、电子束管1.331041.331031.331021.331011.331.331011.331021.331031.331041.331051.331061.331071.331081.33（108109）1.33109表1真空装置允许漏量放气流量Qf的计算o被抽容器内被抽空后，各种构件材料的表面放气量（包括原来在大气压下所吸收和吸附的气体），单位时间内的放气流量可以用Qf表示；o真空室中材料表面放气流量Qf与材料性能、处理工艺、材料表面状态有关。已知材料的出气率后（可查有关数据），用下式计算放气流量o式中nqi真空室中第i种材料单位表面积的放气速率，一般用抽气1小时后的放气速率数据。有些材料的放气率实验数据无处可查，则可采用与其类似材料的放气率数据近似替代；nAi第i种材料暴露在真空室中的表面积，m2。o对于某些真空应用设备（如真空炉）的真空室内要求加热到很高的温度，真空室内必须使用如碳毡、碳布、硅酸铝纤维等保温材料，此时该部分材料的放气量按下式计算o真空室中材料总的放气量为渗透气体流量Qs的计算o大气通过容器壁结构材料向真空室内渗透的气体流量，以Qs表示。o真空系统器壁渗透的气体流量Qs对于一般金属系统可以不考虑，而玻璃真空系统或薄壁金属系统需要考虑此值。o单位时间，通过A面积的气体渗透流量Qs为o只要知道气体对器壁材料的渗透系数K，就可以根据该材料的壁厚、壁的面积A，求得气体通过真空系统器壁渗透的气体流量o气体对器壁材料的渗透率K与材料种类、厚度、温度及气体种类、器壁内外气体压差有关，可用下式计算，也可简化为右式：工艺产生的气体流量Qgo气体负荷Qg包括在工艺过程中被处理的材料放出的气体流量和在工艺过程中引入真空室中的气体流量。oQg中还包含了真空室中液体或固体蒸发的气体流量Qz。o对于不同的工艺过程和不同的被处理材料来说，Qg的计算是不同的。Qg的计算一般是建立在试验数据的基础上。o对于真空熔炼工艺来说，当给出被熔炼材料单位质量含气量在标准状态下的体积时，可采用下式近似计算Qgo当给出材料在熔炼处理前后化学成分的变化时可采用下式近似计算Qg大气压下真空室的气体量Qao被抽容器内原有的空间大气。若容器的容积为V，抽气初始压强为Pa，则被抽容器内原有的大气负荷量为VPa。o在真空室内存在的大气压下的气体量Qa，是抽气初期（粗真空和低真空阶段）机组的主要气体负荷，但很快被真空机组抽走，所以不会影响真空室的极限压力。3.2抽气时间和压力的计算o3.2.1真空系统的抽气方程与有效抽速o3.2.2抽气时间的计算o3.2.3真空室压力计算3.2.1真空系统的抽气方程与有效抽速o真空抽气系统的任务就是抽除被抽容器中的各种气体。o真空系统的最主要性能参数p极限真空度p有效抽速o真空系统的极限真空度指在没有外加负荷的情况下,经过足够长时间的抽气后,系统所能达到的最低压力。o真空系统对容器的有效抽速指在容器出口处的压力下,单位时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决于真空泵的抽速,也取决于真空系统管路对气体的导通性能,即所说的流导。o作为真空系统管路元件,不管是导管、还是阀门、捕集器、除尘器等,都希望它的流导值尽可能大一些,使气流能顺利地通过。o流导是真空系统管路元件的一个重要参数。在真空系统设计计算中,需要计算管路元件以及某段真空系统管路的流导。真空系统的抽气方程o当真空系统对被抽容器抽气时，真空系统对容器的有效抽速若以Se表示，容器中的压力以P表示，则单位时间内系统所排出的气体流量即是SeP。o容器中的压强变化率为dP/dt，容器内的气体减少量即是VdP/dt。根据动态平衡关系，可以列出如下方程：真空系统的抽气方程o对于一个设计、加工制造良好的真空系统，抽气方程中的放气Qf、渗气Qs、蒸气Qz和漏气Ql的气流量都是微小的。o因此抽气初期(粗真空和低真空阶段)真空系统的气体负荷主要是容器内原有的空间大气；o随着容器中压强的降低，原有的大气迅速减少，当抽空至l10-lPa时，容器中残存的气体主要是漏放气，而且主要的气体成分是水蒸汽；o如果用油封式机械泵抽气，则试验表明，在几十几帕时，还将出现泵油大量返流的现象。2真空室出口的有效抽速o泵或机组对容器的抽气作用受两个因素影响：n（1）泵或机组本身的抽气能力，该影响可由真空泵的抽气特性曲线表现出来；n（2）管道对气流的阻碍作用，可由抽气管道流导对抽速的影响体现出来。真空室内的气体负荷通过流导为C的管道被真空机组或真空泵抽走。oPj和Se分别是真空容器出口的压力和真空机组对该口的有效抽速。oP1和Sp分别是真空泵或机组入口的压力和抽速。o当管道中气体为稳定流动时，单位时间内流过管道任意截面的气流量都是相等的，可以推导出右式2.3真空技术基本方程o如果用Se来表示真空系统对容器的有效抽速，用Sp表示真空泵的抽速，C表示真空容器出口到真空泵入口之间管路的流导，则有a、b、c本质上是同一个方程,真空系统设计中一个非常重要的方程，如果知道泵的抽速Sp和管路的流导C，就可以计算出系统对容器有效抽速，这个方程被称为真空技术基本方程。它表明：（1）SSp，SeC，即真空泵或机组对真空室的有效抽速永远小于机组自身的抽速或管道的流导；（2）若CSp时，则SSp，即当管道的流导很大时，真空室出口处的有效抽速只受真空机组本身抽速的限制，（3）若SpC，则SeC，在此情况下，真空室的有效抽速受到抽气管道流导的限制。真空技术基本方程的意义 o如果管路的流导C远大于泵的抽速Sp，则Sp/C的值远小于1，此时有效抽速SeSp。说明为了充分发挥泵抽气作用,在设计管路时，应使管路的流导尽可能大一些。因此真空管路应该粗而短粗而短，切不可细而长。这是设计连接管道时的一条重要原则。相反，如果管路的流导C远小于泵的抽速Sp，则C/Sp的值远小于1，从方程(2c)可以看出，此时真空系统对容器的有效抽速SeC,说明在这种情况下，选择多大的泵都没有用，都不能提高泵对容器的有效抽速。由此可见，为了充分发挥真空机组对真空室的抽气作用，必须使管道的流导尽可能增大，因此在真空系统设计时，在可能的情况下，应将真空管道设计的短而粗，使管道的流导尽可能的大。尤其是高真空系统的抽气管道更应如此。在一般情况下，对于高真空抽气管道，真空泵的抽速损失不应大于4060，而对于低真空管道，其损失允许值为510。3.2.2抽气时间的计算o1低真空抽气时间的计算o2高真空抽气时间的计算1低真空抽气时间的计算低真空阶段抽气可分为近似常抽速和变抽速两种情况来分别考虑。o1.1近似常抽速时,抽气时间的计算油封机械泵在大气压到102Pa范围内抽速近似为常抽速。抽气方程为o(1)不考虑管道影响和漏放气时抽气时间的计算假定真空泵的入口直接连到容器出口上进行抽空,如图8所示,则可以不考虑管道影响和漏放气。o则可得抽气时间计算的最基本的公式V是容器的容积,m3;Sp是真空泵的抽速,m3/s;P0是抽气开始时容器内的压强,Pa;P是抽气终了时容器内的压强,Pa;t是将容器内的压强从P0降低到P的抽空时间,s。o(2)不考虑管道影响而考虑漏放气时抽气时间的计算式中Pu是真空系统所能达到的极限真空度,Pa;其余符号的意义同前。o(3)考虑管道影响和漏放气时,抽气时间的计算式中Se是真空泵对容器的有效抽速,m3/s;其余符号的意义同前。o1.2变抽速时抽气时间的计算大多数真空泵的抽速都随其入口压强的变化而变化,尤其是机械真空泵,当其入口压强低于10Pa时,泵的抽速随其入口压强的变化更为显著。图9是某些真空泵的抽速特性曲线示意图。(1)分段计算法在一般情况下,计算变抽速时的抽气时间需要首先知道泵的抽速与其入口压强的关系。如图10所示。假定需要求容器内的压力由P0降低到P的抽气时间,则可以将P0到P这个压强区段分成n段。段数愈多,计算的抽气时间愈接近变抽速的实际。设相应每段的抽气时间为t1,t2,titn,取每段的平均抽速为S1,S2Si,Sn,用相应的公式进行各个压力区段的抽气时间计算,然后求其代数和即得总的抽气时间t。(2)经验系数计算法油封机械真空泵的实际抽速S随其入口压强的降低而降低。研究其抽速特性曲线发现,其实际抽速S与其名义抽速Sp的近似关系是:式中系数K在不同压力区间的取值如表2。因此抽气时间的计算可用下式高真空抽气时间的计算1）高真空抽气的气体负荷o高真空抽气是指压强在0.510-5Pa范围内的抽气。这段抽气通常要经过机械真空泵预抽之后来进行。这时容器中空间的气体已经大大减少了，而其他气源愈来愈成为主要的气体负荷。其中有：(1)微漏。(2)渗透。(3)蒸发。(4)表面放气。o总的表面放气流量Qout为2）高真空的抽气时间解析法近似计算o若不考虑真空室中空间气体负荷对抽气的影响，则可以认为泵或机组对真空室的排气量仅与放气和漏气处于动平衡状态。于是高真空抽气时间可通过求解下列方程求得3.3真空泵的选择与匹配计算o3.3.1主泵的选择与计算o3.3.2前级真空泵的选择与计算o3.3.3预抽泵的选配o3.3.4维持泵和储气罐3.3.1主泵的选择与计算选主泵要考虑两个方面：一是选择主泵的类型；二是确定主泵抽速的大小。真空区域的划分真空区域划分标准o粗低真空:105102Pao中真空:10210-1Pao高真空:10-110-5Pao超高真空:10-510-9Pao极高真空:10-910-14Pa真空区域的划分真空区域的划分原则-真空获得技术o低真空:旋片泵,水环泵,滑阀泵o中真空:罗茨泵,油增压泵o高真空:扩散泵,分子泵o超高真空:离子泵,升华泵各种真空泵的工作压强范围1主泵的类型确定主泵类型的依据:o1）根据真空室所需要建立的极限压力确定主泵的类型。o2）根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。真空室内的工作压力一定要在主泵的最佳抽速压力范围之内。o3）根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。o4）正确地组合真空泵。确定主泵类型的依据:o5）若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。o6）选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安装辅助设备。1主泵的类型确定主泵类型的依据:7）根据整套真空系统的初次投资和日常维护费用等经济指标选择主泵。当两种类型以上的泵都适合选用时,则要根据经济指标来确定主泵。在比较经济指标时,要从整套真空系统来考虑。1主泵的类型 1主泵的类型如图12是油扩散泵、油增压泵、罗茨泵系统单位抽气速率(L/s)的价格与入口压强间的关系曲线。图13是单位抽气速率(L/s)的输入功率与入口压强的关系曲线。o由两个图中的曲线可见,在1.3310113.3Pa的压强范围内,以油增压泵为主泵的真空系统比较经济,所需要的功率小。o在压强低于1.33101Pa的范围内,油扩散泵抽气系统比较经济。在压强高于13.3Pa的范围内,罗茨泵抽气系统比较经济。所以在选泵过程中应立足于即适用又经济。1主泵的类型2 主泵抽速大小的确定 主泵抽速大小的确定主要根据被抽容器的工作真空度和其最大排气流量,以及被抽容器的容积和所要求的抽气时间。(1)真空室内排气流量的计算式中Q真空室中产生的总的气流量；Qg工艺过程中被熔炼或被处理的材料放出的气流量，Pam/s；Q真空室内所用耐火保温材料的出气流量，Pam/s；2 主泵抽速大小的确定Qf暴露于真空条件下的真空室内壁和所有构件表面解析出来的气流量，Pam/s;Ql真空室外大气通过各密封连接处泄漏到真空室内的气流量，Pam/s。以上各量在不同的真空应用设备中不一定都存在，这要根据不同情况具体考虑。(2)被抽容器所要求的有效抽速的计算设被抽容器内的最大排气流量为QPam3/s；所要求的工作真空度为PgPa；则被抽容器所要求的有效抽速Sey为如果是低真空系统，则泵的有效抽速(3)粗算主泵的抽速S由于在选定主泵之前,真空室出口到主泵入口之间的管路没有确定,因而这段管路的流导C是未知数。根据上式无法计算主泵的抽速S。通常按经验公式粗算主泵的抽速式中Ks在真空室出口主泵的抽速损失系数,当主泵入口到真空室出口之间的管路中不采用捕集器时,取Ks=1.31.4;当采用捕集器时,取Ks=22.5。主泵抽速S粗算出来后,按S值在真空泵的产品系列中选出符合粗算值S的主泵,设粗选出的主泵抽速为Sp。o（4）主泵抽速的验算和确定o主泵抽速S粗算求出之后，按S值粗选出合适规格的主泵。o根据粗选主泵的入口尺寸，选择确定连接管路及其它元件尺寸，再由流导公式求出管路的流导C，再按下式精算主泵抽速o由此算得的Sp如果同粗算的抽速相差很小，就可把粗选的泵作为主泵，否则应重新选用。3.3.2前级真空泵的选择与计算o主泵选定之后,重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。通常前级泵直接影响主泵的抽气性能,影响真空系统的抽气时间和经济效益。o配前级泵时应遵循如下几点规定:n前级泵在主泵出口处造成的压力应低于主泵的最大排气压力。n前级泵应保证始终及时排出主泵所排出的气体流量。n兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间及预抽真空度的要求。所配前级泵确定之后,即可按前级泵的入口尺寸选择前级管道阀和预抽管道阀,确定各部分连接管道的尺寸。根据以上的确定,可绘制出真空系统设计图。o几种典型主泵的配泵(1)油蒸气流泵作为主泵当选用油蒸气流泵作为主泵时,配前级泵的方法可以按经验标准所推荐的前级泵的大小来确定,见表4。(2)分子泵作为主泵分子泵作为主泵时,其抽气能力与前级泵的抽气能力有密切关系。分子泵的前级侧需要保持分子流状态,它才能稳定工作。为了保证分子泵前级侧处于分子流状态,通常按下式选取前级泵的抽速式中S1分子泵的抽速,m3/s;S2前级泵的抽速,m3/s。(3)罗茨泵作为主泵罗茨泵作为主泵时,通常可用油封机械泵或水环泵作为罗茨泵的前级泵,前级泵的抽速可根据经验公式选取。式中S1罗茨泵的抽速;S2油封机械泵作为前级泵的抽速;Ssh水环泵作前级泵的抽速。3.3.3预抽泵的选配o预抽泵用于真空系统的预抽。要求预抽泵所达到的压力小于主泵的启动压力。o选机械泵做预抽泵时，预抽泵的抽速大小由预抽时间决定。将真空室在t时间所要求的预真空度所需要的泵抽速即为所选泵的抽速。o考虑预抽管道对预抽泵抽速的降低作用，所选的预抽泵抽速为3.3.4维持泵和储气罐(1)作用：在前级泵停止工作时，能保证主泵处于正常工作状态。(2)使用场合：a.储气罐:储气罐不能作得很大,它只能用在以扩散泵为主泵的小型系统上，或是某些较小应用设备,在其工艺过程中不允许有振动,即在工艺进行时必须停止前级泵的工作。b.维持泵:维持泵可用在大型主泵的系统上。罗茨泵旋片泵维持泵 储气罐的应用