制绒作业指导书.docx

制绒作业指导书A1 作业任务去除硅片外表的损伤层，在硅片的外表制作出均匀全都的金字塔形绒面, 增加光的吸取。工程设定标准把握范围备注温度74±3时间18min±5minNaOH 浓度2%±0.5%IPA 浓度6%±0.5%体积比制绒添加剂X0.7%±0.25%体积比Na2SiO30.1%±0.05%2 工艺把握标准初始参数3 作业流程开机配液联动/单独投片转酸洗3.1 开机3.1.1 确认各空开都处于断开状态，没有物体阻碍机械臂正常运行，操作面板上“手动单独联动”选择开关处于手动位置。确认高压空气、纯水、氮气等管道上的手动阀门均已翻开；且压力正常，空压0.5-0.6MPa， N2 0.5-0.6MPa，纯水0.2-0.25MPa。3.1.2 依次闭合把握底板上的空气开关 QFO-14。3.1.3 将操作面板下方电源开关旋至“”位，系统处于手动状态开头自检。3.2 配液3.2.1 在手动状态下，点击触摸屏，将相应的槽体盖子翻开，点击注水，将全部工艺槽内注满水(注水停顿为限)。3.2.2 预备好所需化学试剂，带上防护面具和长筒乳胶手套，将 NaOH、Na2SiO3 按量倒入相应槽内 (由于 Na2SiO3 是块状， NaOH 是细小颗粒状，配液时应先添加 Na2SiO3，再加NaOH；另外在配液时，撒倒试剂时要缓慢、均匀，防止大量 NaOH， Na2SiO3 倒入，致使溶液飞溅，对人造成损害)。由于 IPA 在高温下具有很强的挥发性沸点 82.5，可在设备自动运10行、载有硅片的片篮进 QDR 槽、制绒槽盖子翻开时，加进制绒槽。3.2.3 调整温控器将温度设定成工艺值，点击触摸屏上的加热按钮，给溶液加热。3.3 将设备运行状态启动成“联动”或“单独”状态。3.3.1 当各温控器上的实际值达设定值时室温升至 80大约需要 30 分钟，点击“设备状态区”查看设备是否满足“单独”或“联动”运行条件。3.3.2 当“设备状态区”条件满足时，点击“工艺选择区”，选择所需设定的工艺号；点击“工艺号”键。利用弹出的键盘输入工艺号。点击“工艺参数修改”键，进入恳求密码屏，密码输入正确后进入更改工艺参数修改屏，点击各槽键设定相应槽的工艺参数，完毕后点击“确定” 键然后再点击“返回”键，工艺设定完毕。3.3.3 将操作面板上的“手动单独联动”选择开关打至“单独”或“联动”位置实现制绒机单独或联动运行。接着按压操作面板上的“启 动”按钮，设备开头自动运行。3.3.4 将装有硅片的片篮放入上料台；按设备上料台的“投入确认”按钮。片篮将按程序设定由机械臂抓取从前一个槽移至后槽三个制绒槽是并列的，即片篮只以经过一个制绒槽，当片篮到 QPR 槽时，制绒槽盖子翻开，可将 IPA 加到制绒槽内。3.3.5 设备处于“单独”状态时，制绒完毕，片篮从下料台传出后，系统会发出声光报警。此时须人工将片篮移至下道工序。联动时，片篮经传送台自动移至下道工序。4 作业标准硅片从制绒机出来后，每一片盒中非连续抽取 2 片，对其外观检查：要求外表呈深灰色，颜色均匀，无白斑和亮斑，外表没有手指印和划痕；每一批中抽取非连续的 2 片，枯燥后在金相显微镜下观看，要求：金字塔形绒面大小均匀，宽度在 1.52.5mm 范围内；失重按指令单要求把握。备注： 补液NaOH 和 IPA 在制绒过程中被消耗掉或挥发，为保持浓液中 NaOH、制绒添加剂和 IPA 的稳定性，每批硅片2 片篮，150 片制绒NaOH 补加 60±10g， 制绒添加剂补加 0.03±0.01L，IPA 补加 0.2±0. 1L。 硅酸钠由于 Na2SiO3 是反响生成物，在溶液中以 Na-O-SiO2-n-Na 胶体形态存在， 它的量对硅片外表质量有较大影响，原则上 Na2SiO3 浓度把握在 0.4%-3%以内。 换液溶液每 70100 篮更换一次。5 定期作业5.1 定期一般为一个月用纤维纸擦拭全部光电开关的滤光片留意不行移动光电开关的位置；保持机台清洁，常常清洗台面；对于无法冲洗干净的死角，应定期清理。每个月认真检查提手全部的塑料螺钉是否有松动，检测各提手动作是否灵敏；5.2 每三个月认真检查 X、Y 方向限位开关及原点感应开关、感应片是否松动移位；检查各感应开关和感应片是否因腐蚀或其他缘由而失效；检查全部传动件、连接件国定螺钉是否松动；检查全部传动皮带是否松弛； 机械传动系统的 LM 导轨出厂时已加注了润滑脂，寻常不用再加注，一般三个月加一次润滑脂，用量不宜过多，以免沾污干净室内环境。5.3 认真检查各处泄漏状况，紧固松动的螺钉包括接线端子处和管接头； 检查各调整局部的灵敏性；检查指示仪表的正确性；检查电磁阀切换动 作的牢靠性；检查气动阀、快排阀的牢靠性；检查是否存在气管、水管 裂开等现象；气动元件的过滤器和排气干净器，应定期排水从观看窗 能观看液面时，应翻开排水阀放水，用差压计测定过滤器两端压降，当压降大于 0.1Mpa 时，应更换过滤元件。5.4 每六个月进展线路的全面维护并对程序重备份。6 故障及排解6.1 提蓝/放篮失败缘由可能是：a) 槽底片架限位发生确定，或固定螺丝松动。b) 机械手的钩手位置发生变化，未在同一位置。c) 工艺槽底不平，有异物如晶片碎片消灭，导致提蓝/放蓝失败，应去除槽内异物后。d) 进料装置定位板易位，进料定位不准确，导致提蓝失败，应重调整定位板。e) 放蓝处的检测开关易位或损坏，检测不到片蓝，可以通过调整或更换检测开关此步需切断设备总电源，方可以操作，非专业人员请勿操作。6.2 进出料装置工作不正常。缘由可能是a) 传送链条错位，不在支撑条中心，导致传送失败，应调整链条的支撑条。b) 检测开关损坏，检测不到片蓝，应更换检测开关。6.3 喷淋槽/水槽/阶梯溢流槽不能正常工作a) 现象一是喷淋效果不抱负，缘由有可能是：i) 水压太低。ii) 总的流量不够。b) 现象二是快排阀打不开或注水阀打不开，缘由可能是：i) 压缩空气压力低，可以通过调整压缩空气减压阀。ii) 先导电磁阀发生故障或气路系统漏气，同时应检查相应电磁阀及气路。7 安全生产7.1 由于腐蚀液中有腐蚀性溶液，因此操作及修理时必需严格依据操作规程进展以免发生人身伤亡事故。7.2 由于本机长期处在潮湿环境中，因此要常常检查设备本体是否接地牢靠；7.3 假设设备发生故障应排解后再进展工艺操作，严禁带故障操作。7.4 在进出料装置中，严禁放置任何影响物体。7.5 排风系统的风门不行完全关闭，防止腐蚀液挥发，腐蚀传动系统器件或其他零部件。7.6 保护机械臂氮气不行关闭，必需长期开启，流量应设定在40LPM，否则会影响机械臂的使用寿命和牢靠性！7.7 保护电器系统的氮气不行关闭，必需长期开启，流量应设定在20LPM， 否则会影响电器系统的使用寿命和牢靠性！7.8 在进展自开工艺时，操作侧的透亮 PVC 门和设备下面的修理门制止翻开， 以防止消灭危急！7.9 在进展自开工艺时，严禁将前方机械臂的修理门翻开，以防止消灭危急！7.10 设备修理或维护前，应切断设备总电源，并应在设备醒目处，挂上“设备修理”字样的修理牌，以防止消灭危急！7.11 切换提手125×125mm 和 156×156mm 提手的切换的留意事项(1) 切换提手前，应切断设备总电源，并应在设备醒目处，挂上“设备修理”字样的修理牌，以防止消灭人身伤亡事故；(2) 松卸螺钉时应留意不行将提手的基板转动或移动；紧固螺钉时应留意不行将提手的基板转动或移动，同时，留意不行过度用力，防止因过度用力将螺钉拧滑牙或拧断建议工具用一字螺丝刀；(3) 待提手切换好后，通电，用空片蓝手动试车一次，无误后；再用空片蓝按自开工艺流程试车两次后，无误后，方可投入生产使用。8 附表QR/TB7.5-22制绒配补液记录表制绒作业指导书 B1 作业任务去除硅片外表的损伤层，在硅片的外表制作出均匀全都的金字塔形绒面, 增加光的吸取。2 工艺把握标准初始参数工程设定标准把握范围备注温度74±3时间18min±5minNaOH 浓度2%±0.5%IPA 浓度6%±0.5%体积比制绒添加剂X0.7%±0.25%体积比Na SiO230.1%±0.05%3 作业流程开机配液投片取片转酸洗3.1 开机启动前预备3.1.1 先检查清洗槽、漂洗槽及其储液槽液位清洗槽和漂洗槽严禁缺液强制启动加热、超声！；3.1.2 检查清洗槽、漂洗槽及各储液槽的液体是否符合洗涤要求，以防止硅片外观清洗达不到要求；3.1.3 检查热风循环风机和各加热器运行是否正常；3.1.4 检查摇摆传动系统各个环节是否正常。完成启动前预备后，生产线按以下步骤进展；3.1.5 翻开总电源开关，预备启动生产线；3.1.6 先将清洗槽、清洗贮存槽电加热工作；3.1.7 翻开超声清洗槽和加热器等待温度到达设定温度等待时将待洗工件预备好；3.1.8 生产线运行后，操作者随时查看清洗槽、漂洗槽，并调整使温度在各自规定的范围内。常常查看清洗槽、各个储液槽的液位保证槽内液体上液位在160L200L，准时补充液体；准时增加或更换液体，确保洗涤效果。3.2 配液3.2.1 将相应的槽体盖子翻开，点击注水，将需要的工艺槽内注满水(注水高度到标志线为准)。3.2.2 预备好所需化学试剂，带上防护面具和长筒乳胶手套，将 NaOH、Na2SiO3 按量倒入相应槽内 (由于 Na2SiO3 是块状， NaOH 是细小颗粒状，配液时应先添加 Na2SiO3，再加NaOH；另外在配液时，撒倒试剂时要缓慢、均匀，防止大量 NaOH， Na2SiO3 倒入，致使溶液飞溅，对人造成损害)。由于 IPA 在高温下具有很强的挥发性沸点 82.5，可在最终加进制绒槽，搅拌均匀后参与制绒添加剂由于制绒添加剂遇到醇类会生成络合物，形成沉淀。3.2.3 调整温控器将温度设定成工艺值，点击把握面板上的加热按钮，给溶液加热。3.2.4 将装有硅片的大花篮放入制绒槽；3.2.5 制绒完毕硅片制绒合格标准参照作业标准后将大花篮取出，投入到旁边的溢流槽进展溢流，待溢流 5-10 分钟后将硅片取出投入到下一道工序。3.3 生产完毕时，顺次关闭电加热器、超声波；驱动电机；最终切断该设备电源。4 作业标准硅片从制绒槽出来后，每一片盒中非连续抽取 2 片，对其外观检查：要求外表呈深灰色，颜色均匀，无白斑和亮斑，外表没有手指印和划痕；每一批中抽取非连续的 2 片，枯燥后在金相显微镜下观看，要求：金字塔形绒面大小均匀，宽度在 1.53.5um 范围内；失重按指令单要求把握。备注： 补液NaOH、制绒添加剂和 IPA 在制绒过程中被消耗掉或挥发，为保持浓液中NaOH、制绒添加剂和 IPA 的稳定性，每批硅片300 片制绒 NaOH 补加130±20g，制绒添加剂补加 0.06±0.01L，IPA 补加 0.4±0. 1L。 换液溶液每 70100 篮更换一次。5 定期作业5.1 保持机台清洁，常常清洗台面；对于无法冲洗干净的死角，应定期清理。每个月认真检查提手螺钉是否有松动；5.2 每个月检查摇摆系统各部件的螺钉是否松动，定期给摇摆系统加润滑油；5.3 认真检查各处泄漏状况，尤其是各接口处是否密封；紧固松动的螺钉包括接线端子处和管接头；检查各调整局部的灵敏性；检查指示仪表的正确性；检查电磁阀切换动作的牢靠性；检查气动阀、快排阀的牢靠性；检查是否存在气管、水管裂开等现象；气动元件的过滤器和排气干净器，应定期排水从观看窗能观看液面时，应翻开排水阀放水，用差压计测定过滤器两端压降，当压降大于 0.1Mpa 时，应更换过滤元件。5.4 每六个月进展线路的全面维护并对程序重备份。6 故障及排解6.1 超声清洗机翻开电源开关，指示灯不亮。a.电源开关损坏，没有电源输入；b.保险丝 ACFU 熔断6.2 超声清洗机翻开电源开关后，指示灯亮，但没有超声输出。a.换能器与超声波功率板的连接插头松脱；b. 保险丝 DCFU 熔断c.超声功率发生器故障； d.换能器故障6.3 超声波清洗机直流保险丝 DCFU 熔断a.整流桥堆或功率管烧毁；b.换能器故障6.4 超声清洗机翻开电源开关后机器有超声波输出，但清洗效果不抱负。a.清洗槽内清洗液液位不当；b.超声波频率协调没有调好； c.清洗槽内液体温度过高； d.清洗液选用不当。7 安全生产7.1 由于腐蚀液中有腐蚀性溶液，因此操作及修理时必需严格依据操作规程进展以免发生人身伤亡事故。7.2 由于本机长期处在潮湿环境中，因此要常常检查设备本体是否接地牢靠；7.3 假设设备发生故障应排解后再进展工艺操作，严禁带故障操作。排风系统的风门不行完全关闭，防止腐蚀液挥发，腐蚀传动系统器件或其他零部件。7.4 保护电器系统的氮气不行关闭，必需长期开启，流量应设定在20LPM， 否则会影响电器系统的使用寿命和牢靠性！7.5 设备修理或维护前，应切断设备总电源，并应在设备醒目处，挂上“设备修理”字样的修理牌，以防止消灭危急！7.6 松卸螺钉时应留意不行将提手的基板转动或移动；紧固螺钉时应留意不行将提手的基板转动或移动，同时，留意不行过度用力，防止因过度用力将螺钉拧滑牙或拧断建议工具用一字螺丝刀；8 附表QR/TB7.5-22制绒配补液记录表