固体激光器基本原理以及应用.ppt
固体激光器基本原理以及应用现在学习的是第1页，共29页n n自第一台红宝石激光器问世，固体激光器就一直占自第一台红宝石激光器问世，固体激光器就一直占据了激光器发展的主导地位，特别是在据了激光器发展的主导地位，特别是在2020世纪世纪8080年代出现的半导体激光器以及在此基础上出现的年代出现的半导体激光器以及在此基础上出现的全固化固体激光器更因为体积小、重量轻、效率全固化固体激光器更因为体积小、重量轻、效率高、性能稳定、可靠性好和寿命长等优点，逐渐高、性能稳定、可靠性好和寿命长等优点，逐渐成为光电行业中最具发展前途的领域。目前世界成为光电行业中最具发展前途的领域。目前世界范围内销售的商品固体激光器已有范围内销售的商品固体激光器已有500500余种，但余种，但从从19981998年开始，固体激光器中的年开始，固体激光器中的Nd:YAGNd:YAG激光器的市激光器的市场占有率和销售额已升为第一位。场占有率和销售额已升为第一位。现在学习的是第2页，共29页n n传统的固体传统的固体YAGYAG激光器，通常由掺钕钇铝石榴石激光器，通常由掺钕钇铝石榴石晶体棒、泵浦灯、聚光腔、光学谐振腔、电源及晶体棒、泵浦灯、聚光腔、光学谐振腔、电源及制冷系统组成，其转换效率为制冷系统组成，其转换效率为2%2%到到3%3%。另一方面。另一方面整个激光器需要庞大的制冷系统，体积很大。泵浦整个激光器需要庞大的制冷系统，体积很大。泵浦灯的寿命约为灯的寿命约为300300到到10001000小时，操作人员需花很多时小时，操作人员需花很多时间频繁的换灯，中断系统工作，使自动化生产线的效间频繁的换灯，中断系统工作，使自动化生产线的效率大大降低率大大降低，间接提高了生产成本。因此技术上间接提高了生产成本。因此技术上没有大的发展空间。现在国际上的激光厂家已经没有大的发展空间。现在国际上的激光厂家已经淘汰了中小功率灯泵浦固体激光器的生产和研发，淘汰了中小功率灯泵浦固体激光器的生产和研发，将来随着大功率的二极管、光纤激光器的研发和将来随着大功率的二极管、光纤激光器的研发和应用，成本的下降，灯泵浦固体激光器将会逐步应用，成本的下降，灯泵浦固体激光器将会逐步淘汰。这是固体激光器的发展方向。淘汰。这是固体激光器的发展方向。现在学习的是第3页，共29页一、三类固体激光器的特性比较一、三类固体激光器的特性比较特性特性特性特性光纤激光器光纤激光器光纤激光器光纤激光器二极管泵浦固体激光器二极管泵浦固体激光器二极管泵浦固体激光器二极管泵浦固体激光器灯泵浦固体激光器灯泵浦固体激光器灯泵浦固体激光器灯泵浦固体激光器工作方式工作方式连续或脉冲连续或脉冲连续或脉冲连续或脉冲连续或脉冲连续或脉冲辐射波长（纳米）辐射波长（纳米）532,1070,1800-2000532,1070,1800-2000532,1060532,106010601060输出功率输出功率/能量能量高达高达2KW/2KW/高达高达1mJ1mJ高达高达2KW/2KW/高达高达60mJ60mJ高达高达5KW/5KW/高高100100J J电光转换效率电光转换效率高达高达20%20%高达高达20%20%低于低于6%6%光束质量光束质量基模基模光斑细光斑细基模或多阶模光斑较细基模或多阶模光斑较细基模或多阶模基模或多阶模光斑粗光斑粗功率功率/能量稳定能量稳定性性 1.5%1.5%3%3%3%3%冷却方式冷却方式风冷风冷风冷或水冷风冷或水冷水冷水冷可靠性可靠性最佳最佳较好较好较差较差维护周期维护周期无需维护无需维护无需维护无需维护300 300 小时小时使用寿命使用寿命大于大于10 10 万小时万小时大于大于1.5 1.5 万小时万小时大于大于3 3百百小时小时系统体积系统体积小巧紧凑小巧紧凑较小较小较大较大光纤传输光纤传输单模光纤单模光纤多模光纤多模光纤多模光纤多模光纤设备成本设备成本较高较高较高较高较低较低运行成本运行成本较低较低一般一般较高较高技术技术最新最新新新旧旧现在学习的是第4页，共29页n n与传统灯泵浦固体激光器比较，全固化固体激光与传统灯泵浦固体激光器比较，全固化固体激光器具有以下优点：器具有以下优点：n n1)1)转换效率高：由于半导体激光的发射波长与固体激转换效率高：由于半导体激光的发射波长与固体激光工作物质的吸收峰相吻合，加之泵浦光模式可以很光工作物质的吸收峰相吻合，加之泵浦光模式可以很好地与激光振荡模式相匹配，从而光光转换效率很高，好地与激光振荡模式相匹配，从而光光转换效率很高，已达已达5050以上以上,光纤达光纤达80%80%，整机效率也可以与二氧，整机效率也可以与二氧化碳激光器相当，比灯泵固体激光器高出一个量级，化碳激光器相当，比灯泵固体激光器高出一个量级，因而全固化固体激光器可省去笨重的水冷系统，体积因而全固化固体激光器可省去笨重的水冷系统，体积小，重量轻，结构紧凑，易于系统集成，性能价格比小，重量轻，结构紧凑，易于系统集成，性能价格比高。高。现在学习的是第5页，共29页n n2)2)性能可靠、寿命长：激光二极管的寿命大大长性能可靠、寿命长：激光二极管的寿命大大长于闪光灯，达于闪光灯，达1500015000小时以上，而闪光灯的寿命只小时以上，而闪光灯的寿命只有有300-1000 300-1000 小时。激光二极管的泵浦能量稳定性好，小时。激光二极管的泵浦能量稳定性好，比闪光灯泵浦优一个数量级，性能可靠，可制成全固比闪光灯泵浦优一个数量级，性能可靠，可制成全固化器件。运行寿命长，成为至今为止唯一无需维护的化器件。运行寿命长，成为至今为止唯一无需维护的激光器，尤其适用于大规模生产线。激光器，尤其适用于大规模生产线。n n3)3)输出光束质量好：由于二极管泵浦激光的高转输出光束质量好：由于二极管泵浦激光的高转换效率，减少了激光工作物质的热透镜效应，大换效率，减少了激光工作物质的热透镜效应，大大改善了激光器的输出光束质量，激光光束质量大改善了激光器的输出光束质量，激光光束质量已接近理论极限已接近理论极限M2=1M2=1。现在学习的是第6页，共29页二、全固化固体激光器结构及特点二、全固化固体激光器结构及特点n n全固化固体激光器可分为两类：二极管泵浦固体激光器和光纤激光器。现将其结构和特点分别叙述如下。现在学习的是第7页，共29页1.二极管泵浦固体激光器n n激光二极管泵浦固体激光器的种类很多，可以是激光二极管泵浦固体激光器的种类很多，可以是连续的、脉冲的、调连续的、脉冲的、调Q Q 的，以及加倍频混频等非的，以及加倍频混频等非线性转换的。工作物质的形状有圆柱和板条状的。线性转换的。工作物质的形状有圆柱和板条状的。而泵浦的耦合方式又分为直接端面泵浦、光纤耦而泵浦的耦合方式又分为直接端面泵浦、光纤耦合端面泵浦和侧面泵浦三种结构。泵浦所用的激合端面泵浦和侧面泵浦三种结构。泵浦所用的激光二极管或激光二极管阵列出射的泵浦光，经由光二极管或激光二极管阵列出射的泵浦光，经由会聚光学系统将泵浦光耦合到晶体棒上，在晶体会聚光学系统将泵浦光耦合到晶体棒上，在晶体棒的泵浦耦合面上为减少耦合损失而镀有对激光棒的泵浦耦合面上为减少耦合损失而镀有对激光二极管波长的增透膜。同时，该端面也是固体激二极管波长的增透膜。同时，该端面也是固体激光器的谐振腔的全反端，因而端面的膜也是输出光器的谐振腔的全反端，因而端面的膜也是输出激光的谐振腔，起振后产生的激光束由输出镜耦激光的谐振腔，起振后产生的激光束由输出镜耦合输出。合输出。现在学习的是第8页，共29页二极管直接和光纤耦合端面泵浦固体激光器n n与灯泵浦和侧面泵浦两种泵浦方式相对比，端面泵浦与灯泵浦和侧面泵浦两种泵浦方式相对比，端面泵浦的效率最高。其原因为：在泵浦激光模式不太差的情的效率最高。其原因为：在泵浦激光模式不太差的情况下，泵浦光都能由会聚光学系统耦合到工作物质中，况下，泵浦光都能由会聚光学系统耦合到工作物质中，耦合损失较少；另一方面，泵浦光的模式也比较好，耦合损失较少；另一方面，泵浦光的模式也比较好，而产生的振荡光的模式与泵浦光模式有密切关系，匹而产生的振荡光的模式与泵浦光模式有密切关系，匹配的效果好，因此，工作物质用泵浦光的利用率也相配的效果好，因此，工作物质用泵浦光的利用率也相对高一些。对高一些。现在学习的是第9页，共29页直接端面泵浦激光器现在学习的是第10页，共29页n n然而，端面泵浦虽然效率高，但固体激光的输出然而，端面泵浦虽然效率高，但固体激光的输出功率受端面限制，因为端面较小时只能采用单元功率受端面限制，因为端面较小时只能采用单元的激光二极管，这就限制了泵浦光的最大功率。的激光二极管，这就限制了泵浦光的最大功率。如果采用功率较大的激光二极管阵列作泵浦源，如果采用功率较大的激光二极管阵列作泵浦源，则由于阵列型二极管输出的泵浦光模式不好，因则由于阵列型二极管输出的泵浦光模式不好，因而不易将泵浦光有效地耦合到工作物质中，实际而不易将泵浦光有效地耦合到工作物质中，实际上降低了效率。而且由于泵浦光的模式较为复杂，上降低了效率。而且由于泵浦光的模式较为复杂，泵浦后输出的泵浦后输出的1.061.06m m 激光的光束质量也不易保证。激光的光束质量也不易保证。现在学习的是第11页，共29页n n针对这一弱点，人们又进一步发展了光纤耦合的针对这一弱点，人们又进一步发展了光纤耦合的端面泵浦和侧面泵浦方式。端面泵浦激光器由激端面泵浦和侧面泵浦方式。端面泵浦激光器由激光二极管、两个聚焦系统、耦合光纤、工作物质光二极管、两个聚焦系统、耦合光纤、工作物质和输出反射镜组成。与直接端面泵浦不同，这种和输出反射镜组成。与直接端面泵浦不同，这种结构首先把激光二极管发射的光束质量很差的激结构首先把激光二极管发射的光束质量很差的激光耦合到光纤中，经过一段光纤传输后，从光纤光耦合到光纤中，经过一段光纤传输后，从光纤中出射的光束变成发散角较小的、圆对称的、中中出射的光束变成发散角较小的、圆对称的、中间部分光强最大的泵浦光束。用这一输出的泵浦间部分光强最大的泵浦光束。用这一输出的泵浦光去泵浦工作物质，由于它和振荡激光在空间上光去泵浦工作物质，由于它和振荡激光在空间上匹配得很好，因此泵浦效率很高。由于激光二极匹配得很好，因此泵浦效率很高。由于激光二极管或二极管阵列与光纤间的耦合较与工作物质的管或二极管阵列与光纤间的耦合较与工作物质的耦合容易，从而降低了对器件调整的要求。而且耦合容易，从而降低了对器件调整的要求。而且最重要的是这种耦合方式能使固体激光器输出模最重要的是这种耦合方式能使固体激光器输出模式好、效率高。式好、效率高。现在学习的是第12页，共29页光纤耦合端面泵浦激光器现在学习的是第13页，共29页n n侧面泵浦板条固体激光器要得到更大功率的激光输出，就侧面泵浦板条固体激光器要得到更大功率的激光输出，就必然要采用泵浦功率较大的阵列型激光二极管，由于阵列必然要采用泵浦功率较大的阵列型激光二极管，由于阵列二极管的发光面较大，不可能利用端面泵浦，因此，大多二极管的发光面较大，不可能利用端面泵浦，因此，大多采用侧泵浦方式。这种结构的特点是，在工作板条的一侧采用侧泵浦方式。这种结构的特点是，在工作板条的一侧用激光二极管阵列，另一侧是全反器，使泵浦光尽量集中用激光二极管阵列，另一侧是全反器，使泵浦光尽量集中到工作物质中。板条状激光器结构的特点是，激光通过工到工作物质中。板条状激光器结构的特点是，激光通过工作物质介质全内反射传输，这样，激光经过工作物质的长作物质介质全内反射传输，这样，激光经过工作物质的长度就大于工作物质的外形长度，即提供了更长的有效长度。度就大于工作物质的外形长度，即提供了更长的有效长度。在有效长度内，工作物质皆可直接吸收到由激光二极管发在有效长度内，工作物质皆可直接吸收到由激光二极管发射的泵浦光，从而较易获得大功率输出，研究开发的重点射的泵浦光，从而较易获得大功率输出，研究开发的重点就在于发展大功率的端面泵浦固体激光器，从激光二极管就在于发展大功率的端面泵浦固体激光器，从激光二极管发出的光束经光学耦合从侧面泵浦激光晶体，从而获得单发出的光束经光学耦合从侧面泵浦激光晶体，从而获得单级输出的激光；并可以根据所要得到的输出功率要求而改级输出的激光；并可以根据所要得到的输出功率要求而改变激光工作物质的长度而改变激光二极管泵浦的效率和功变激光工作物质的长度而改变激光二极管泵浦的效率和功率。率。现在学习的是第14页，共29页二极管侧面泵浦固体激光器n n半导体激光二极管的基本结构为：垂直于PN结面的一对平行平面构成法布里珀罗谐振腔，它们可以是半导体晶体的解理面，也可以是经过抛光的平面。其余两侧面则相对粗糙，用以消除主方向外其它方向的激光作用。现在学习的是第15页，共29页半导体激光二极管的基本结构现在学习的是第16页，共29页现在学习的是第17页，共29页我公司生产二极管激光器原理现在学习的是第18页，共29页2.光纤激光器现在学习的是第19页，共29页n n以稀土元素为例，将其离子掺杂于以以稀土元素为例，将其离子掺杂于以SiO2SiO2为基质的光纤芯子为基质的光纤芯子中，光纤就被中，光纤就被“激活激活”，变成有源介质，称有源光纤，变成有源介质，称有源光纤(Activefiber)Activefiber)。当以适当的波长泵浦时，就会在确定的波长上产当以适当的波长泵浦时，就会在确定的波长上产生激光和激光放大。例如，许多稀土离子，如元素生激光和激光放大。例如，许多稀土离子，如元素ErEr，NdNd，SmSm，HoHo，TmTm和和YbYb等都可作为掺杂物制成光纤，并做成掺杂等都可作为掺杂物制成光纤，并做成掺杂光纤放大器光纤放大器(XDFA)XDFA)和光纤激光器和光纤激光器(XDFL)XDFL)，它们能工作在它们能工作在从可见到中红外的波长范围。其中以掺从可见到中红外的波长范围。其中以掺ErEr石英光纤最有意义，石英光纤最有意义，因为它的激光波长恰好处于光纤通信最佳因为它的激光波长恰好处于光纤通信最佳“窗口窗口”。这种。这种EDFAEDFA和和EDFLEDFL在促进现代光纤通信等高技术的迅速发展中在促进现代光纤通信等高技术的迅速发展中发挥了重大的作用。一种低掺发挥了重大的作用。一种低掺ErEr、因而也是低增益光纤，因而也是低增益光纤，特别是低掺特别是低掺ErEr的的DDFDDF是用于孤子传输、压缩和光参量技术是用于孤子传输、压缩和光参量技术的理想波导，因为它既具有较大的非线性又有可能恰当的理想波导，因为它既具有较大的非线性又有可能恰当地匹配损耗和色散，有人称之为透明光纤。一种借元素地匹配损耗和色散，有人称之为透明光纤。一种借元素YbYb起敏化作用的起敏化作用的ErEr、YbYb双掺光纤可以把泵浦波长下移到双掺光纤可以把泵浦波长下移到80080010601060nmnm。近年来，人们还选择不同的掺杂质与掺杂量以及近年来，人们还选择不同的掺杂质与掺杂量以及不同的基质材料，以获得更大范围应用和更高功率输出的激光，不同的基质材料，以获得更大范围应用和更高功率输出的激光，并且已经获得了一系列可喜的进展。并且已经获得了一系列可喜的进展。现在学习的是第20页，共29页n n光纤激光器属光波导激光器,以掺稀土元素（Nd，Yb或Er）的光纤为工作物质，并用二极管激光作为泵浦源。可脉冲和连续运转，其性能已明显优于二极管泵浦固体激光器，不仅在光纤通讯领域得到广泛应用，而且由于大功率光纤激光器的成功开发，正向激光打标、焊接、切割等工业激光应用领域迅速发展。现在学习的是第21页，共29页谐振腔n n制备合适的光学谐振腔是高功率光纤激光器实用化的又一项关键技术。采用光纤光栅做谐振腔，光纤光栅是透过紫外诱导在光纤纤芯形成折射率周期性变化的低损耗器件,具有非常好的波长选择特性。光纤光栅的采用，简化了激光器的结构窄化了线宽，同时提高了激光器的信噪比和可靠性，进而提高了光束质量。现在学习的是第22页，共29页n n光纤激光器基本结构和固体激光器的结构基本相同，由泵浦源（激光二极管和必要的光学耦合系统）、增益介质（掺稀土元素的增益光纤）、谐振腔（可为反射镜、光纤光栅或光纤环）等组成。按泵浦光的入射方式，光纤激光器可分为：端面泵浦光纤激光器、双包层光纤激光器和任意形状光纤激光器。现在学习的是第23页，共29页1)端面泵浦光纤激光器n n端面泵浦光纤激光器中的光纤与普通光纤十分相似，端面泵浦光纤激光器中的光纤与普通光纤十分相似，仅在纤芯掺以激光工作物质。与二极管端面泵浦固体仅在纤芯掺以激光工作物质。与二极管端面泵浦固体激光器的泵浦方式相似，采用光学耦合系统将泵浦光激光器的泵浦方式相似，采用光学耦合系统将泵浦光直接耦合到光纤的纤芯端面上。通常情况下，两端面直接耦合到光纤的纤芯端面上。通常情况下，两端面也是激光谐振腔的全反镜和输出镜。可以看出，这种也是激光谐振腔的全反镜和输出镜。可以看出，这种结构简单，但其泵浦端面因面积很小，可以注入的泵结构简单，但其泵浦端面因面积很小，可以注入的泵浦光能量有限，故该类激光器属小功率光纤激光器，浦光能量有限，故该类激光器属小功率光纤激光器，它们大多应用于光通讯中。它们大多应用于光通讯中。现在学习的是第24页，共29页端面泵浦光纤激光器现在学习的是第25页，共29页2)双包层光纤激光器n n为了克服端面泵浦光纤激光器注入功率小的问题，为了克服端面泵浦光纤激光器注入功率小的问题，人们发明了双包层光纤激光器。它主要由纤芯、人们发明了双包层光纤激光器。它主要由纤芯、内包层、外包层和保护层组成。纤芯采用了稀土内包层、外包层和保护层组成。纤芯采用了稀土掺杂技术，为激光增益介质，稀土离子吸收泵浦掺杂技术，为激光增益介质，稀土离子吸收泵浦光并辐射单模激光，外包层采用低折射率材料。光并辐射单模激光，外包层采用低折射率材料。通常情况下，泵浦光采用斜入射方式，使泵浦光通常情况下，泵浦光采用斜入射方式，使泵浦光在内外包层界面形成全反射，这样，泵浦光在多在内外包层界面形成全反射，这样，泵浦光在多次反射后，多次穿过内包层和纤芯，使纤芯吸收次反射后，多次穿过内包层和纤芯，使纤芯吸收率大大增加，可达率大大增加，可达90%90%以上。这种泵浦方式与二以上。这种泵浦方式与二极管泵浦固体激光器的侧面泵浦方式很相似，注极管泵浦固体激光器的侧面泵浦方式很相似，注入功率可以大大增加，又提高了泵浦光的利用率。入功率可以大大增加，又提高了泵浦光的利用率。这类光纤激光器的输出功率在百瓦量级。这类光纤激光器的输出功率在百瓦量级。现在学习的是第26页，共29页双包层光纤激光器 图图3-23-2d d DD形内图包层双包层光纤横剖面形内图包层双包层光纤横剖面纤芯纤芯纤芯纤芯内包层内包层内包层内包层外包层外包层外包层外包层保护层保护层保护层保护层纤芯纤芯内包层内包层外包层外包层现在学习的是第27页，共29页现在学习的是第28页，共29页外界入射短波光作用纤芯，形成永久性折射率光栅，如同窄带滤光器或反射镜，起到选频.反馈和输出的作用。LDLDLDLDLDLDLDLDLDLDLDLD掺稀土离子光纤掺稀土离子光纤LDLDLDLDLDLDLDLDLDLDLDLD光光栅栅1 1光光栅栅2 2激激光光输输出出现在学习的是第29页，共29页
