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    国内ITO靶材性能表.docx

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    国内ITO靶材性能表.docx

    国内ITO靶材性能表生产厂家纯度 /%相对密度/%电阻率/Qcm失氧 率/%线膨胀系数/K/规格/mm威海宝丽佳电 子>99.99>9950.3x10-3<102-9x10-6圆靶:直径 200方靶:380x200筒靶:-中色(宁夏)东 方集团有限公 司>99,99热压靶材: 98-99 烧结靶材: 热压靶材:0.2x10-3烧结靶材:一一热压靶材: 250x200 烧结靶材: 300x540柳州华锡锢材 料有限责任公 司99.99>990.25X10-3<25x10-6300x300湖南博云新材 料股份有限公 司光电材料事 业部>99.99>990.12x10-3一8.2x10-6一株洲冶炼集团 股份>99.9999<8350x320广西晶联光电 材料有限责任 公司99.99>99.30.18X103<0.5圆靶:- 方靶: 400x200 筒靶:-

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