车间ESD管理程序.docx
版本修订历史记录版本号修订内容1.0第一次下发修订时间2023 年 06 月 21 日起草 :日期 :审核 :日期 :批准 :日期 :1.0 目的以防止静电破坏电子组件及产品，保证产品之品质良好，提高产品之寿命及牢靠性为目的。2.0 适用范围适用于本公司内全部产品物料之选购、验收、储存、搬运、加工、包装及生产装配、产品测试等全过程。3.0 名词定义3.1 ESD (Electro Static Discharge) 主要是指两个带有不同静电电位之物体，当它们接近并能够发生电荷传送，由于电荷的传送产生了电流，使器件损坏或造成寿命上的损害，一般称为静电泄放或简称ESD。3.2 SSD (Static Sensitive Device): 凡对静电敏感的电子元器件一般称为静电敏感元器件或简称SSD。4.0 职能分工4.1 ME 指导ESD 设备、设施的主要设置工程做维护、点检。4.2 各制程操作人员每天对工作台面的接地线是否连接良好做点检。4.3 IPQC 负责依据车间ESD 稽核检查表进展ESD 点检稽核。4.4 各职能部门负责按ESD 把握文件要求实施。5.0 参考文件ESD 把握国际标准6.0 程序说明6.1 ESD 保护由设计来源或零件供给商供给组件及产品之防护等级。范围涉及选购、收料、储存、运送、制程、测试及牢靠性试验。ME 汇总 ESD 防护要求，相关环节必需严格按ESD 把握要求标准作业。6.2 选购ESD 把握6.2.1 依据ME 之规定，物料选购按零件成认书对SSD 组件选购时，须在选购单注明ESD 防护要求；其它ESD 防护器材选购时，须按ME 测试工程师制定的标准进展选购。6.2.2 须向经认可的ESD 产品供货商选购，并保持最的ESD 认可供给商清单。6.2.3 要求供货商供给符合规格之包装、标示及正确的发票。6.3 收货部门防ESD 把握6.3.1 依据选购订单，对ESD 零件进展清点验收，检查是否有外包装或(及)发票确认为 ESD 组件。6.3.2 ESD 组件与非SSD 应分区堆放，并做显著标示。6.3.3 检查ESD 组件的包装与标示是否正确。6.3.4 开启ESD 组件包装的区域应配置适当的ESD 防护设备，如防静电桌垫，ESD 手环等。6.3.5 ESD 防护器材收货时除数量正确外，还应对其 ESD 防护等级用专用的仪表进展检测，确定进货静电防护等级与标准是否相符，制止不合格ESD 防护产品进入工厂。6.4 进料检验(IQC)的 ESD 把握6.4.1 IQC 需依零件成认书上之要求进展检验，确认静电防护及标示是否正确。6.4.2 IQC 在做检验时要求在静电防护良好的区域(工作场所)进展，须有 ESD 手环，ESD 工作衣、手套、防静电桌垫，工作桌须接静电地。6.4.3 检验员需对不当标示或不当包装的组件，依不合格品处理程序执行。6.4.4 检验员对防静电气泡袋、静电桌面、静电手套、周转车、料箱、料盒等防静电材料需按要求对其进展静电检测，并照实在防静电材料IQC 检验记录表中记录好检测数据，如检测到不良即依不合格品处理程序执行。6.5 零件材料储存,暂存部门的ESD 把握6.5.1 在仓库存放SSD 须在存放区加以标示清楚。6.5.2 存放架要接地处理。6.5.3 不行在存放区直接拆开组件包装，直接接触组件须在有良好的静电防护下方可接触组件。6.5.4 在存放区搬运SSD 须使用专用工具(防静电车)，并使包装完整。6.5.5 物料周转区须严格按材料存放区ESD 把握标准进展作业。6.5.6 对磁带/磁盘及其它软件或资料储存的媒体，应装在防静电的包装袋内，并存放有明显标志且有良好接地的料架或柜内，取放时应佩戴好接地良好的防静电环。6.6 物料运送ESD 把握:6.6.1 对 SSD 须使用专用防护工具运送。6.6.2 搬运人员须戴防静电手套、防静电脚环，穿防静电衣、鞋等。6.6.3 运送过程中须有正确ESD 包装。6.6.4 依据物料运送标准，不得使SSD 材料相互碰撞、摩擦、堆栈。6.7 制造过程中的ESD 把握:6.7.1 SSD 加工区域，作业员须穿好防静电衣、防静电鞋，戴好静电帽，戴好防静电手环，并确保防静电手嘉兴华珅电子科技文件编号编写人员QMS-B-ME-008王刚版版本序车间ESD治理程序审核杨建国2023-06-21批准A 000邓文辉编写日期修订日期环牢靠接地，需走动的工位作业员须戴好防静电脚环；未做好静电防护者不能接触 SSD；工作台铺防静电桌垫，静电接地良好，作业中正确使用防静电各种工具。(如 ESD 电烙铁，静电排解装置等)。6.7.2 对 SSD 加工中假设须离开原包装，操作人员须做静电防护，戴好接地良好静电手环并于加工后放回原包装或其它防静电容器内。6.7.3 SSD 在组装中，依据 ME 工艺工程师作业指导书进展特别防护及使用其规定工具，并定期点检其有效性。6.7.4 制程工作人员所使用的静电环和防静电鞋均需每天二次用“人体静电综合测试仪”加以测试，确认功能正常，并作好记录。详见 7.1 人体静电综合测试SOP及 7.2静电环与静电鞋测试记录表。6.7.5 定期对操作员工进展使用ESD 工具、设施及取用SSD 程序的完整训练，并作记录。6.7.6 每个工作台须有ESD 防护料件(如袋、乳棉海绵、箱等)。6.7.7 全部进入车间人员，必需经过ESD 静电鞋测试仪测试人体综合阻值，通过方可进入，否则一律不准进入车间，生产作业人员每天上班测一次防静电鞋，以确定防静电鞋的有效性，并做好记录，详见 7.1人体静电综合测试SOP及 7.2静电环与静电鞋测试记录表。6.7.8 做好每日的日常点检工作,并将点检状况记录在静电插座/卡扣线及静电线末端点检表中。6.8 IPQC 稽核：6.8.1 IPQC 须帮助生产单位检查作业员静电防护措施是否正确及抽测各防静电设施是否正常；6.8.2 IPQC 依车间ESD 稽核检查表进展ESD 点检稽核，并记录好数据;6.8.3 IPQC 每日上班前监视员工进展静电鞋和静电手腕带的测试.6.9 生产测试及测试工程须使用ESD 工作台。6.9.1 去除测试区内静电源。6.9.2 定期检查ESD 设施，保证有效性。6.9.3 SSD 组件传送至下一个工作区时，设有防护袋装。6.9.4 当施加工作电压时，设备接地应良好。6.10 品管部ESD 把握6.10.1 定期审核各部门是否依照ESD 把握程序进展作业，定期进展ESD 点检并做好记录。6.10.2 定期审核供货商是否符合ESD 规定。6.10.3 ESD 工作须经QA 检验确认。6.10.4 定期审核ESD 训练打算，工程图是否有正确的ESD 警告条文或警告。6.12 ME ESD 把握:6.12.1 定期检查及测试ESD 设备设施是否完好、性能及牢靠性,并将检测数据准确填写至车间 ESD 电阻电压点检表中。6.12.2 依据设备保养和治理程序对ESD 设备检验测试、定期测试、校正并作好记录ESD 故障有关的资料须常常维护，问题范围与故障趋势所需调查校正措施须向相关主管报告。6.12.3 ME 须测试SSD 组件，以对它们的ESD 敏感度进展分类。6.12.4 ME 负责全部ESD 测试工程之SOP 及相关记录表单的编写。6.13 ESD 点检6.13.1 点检条件: 全部点检均在生产场地内进展，环境温度20-28， 相对湿度 30%-65%。6.13.2 点检仪器：外表阻抗测量仪。6.13.3 测试技术指标见 6.15。6.13.4 点检工程&周期:6.13.4.1 防静电地板外表电阻(次/月)6.13.4.2 防静鞋与人体综合阻值(次/天)第 3页 共 5页6.13.4.3ESD 工作台(台垫)静电电阻(次/月)6.13.4.4防静电母线接地电阻(次/月)6.13.4.5货架静电电阻(次/月)6.13.4.6料车台面对车轮电阻(次/月)6.13.4.7周转箱，零件料盒外表电阻(次/月)6.13.4.8工作服(工作帽，手套)外表电阻(次/月，抽查)6.13.4.9流水线传送带外表电阻(次/月)6.13.4.10 防静电手环连接电阻(次/天)抽查工程抽查结果高于 30%不合格，连续抽查10 个点，不合格率高于0%提出不良改善方案，且抽查结果高于30%不合格，连续抽查 20 个点，不合格率高于 0%提出不良改善方案，抽查结果须做好记录，填写相应表单。6.13.5 点检方法6.13.5.1 外表电阻测试时，对每车间静电地板不得少于五点，接地电阻、传送带不得少于三点，周转箱不少于三只，静电鞋不少于三双，静电衣不少于10 件，工作台不少于三张。6.13.5.2 点检周期: 见 6.13.4。6.13.5.3 该点检方法依据中华人民共和国电子行业标准(SJ/T10694-1996)电子产品制造防静电系统测试方法所制定。6.14 ESD 外表电阻测试&接地电阻测试6.14.1 测试条件:全部测试均在场地内进展，环境温度20 - 28，相对湿度 30% -65%。6.14.2 测试仪器:承受外表阻抗测量仪，型号:QUICK4996.14.3 测试技术指标见 6.156.14.4 测试工程6.14.4.1 防静电地板 (次/月)6.14.4.1.1 在铺设地面上随机选定测试点。6.14.4.1.2 测试地面对地级母线电阻。6.14.4.1.3 测试地面外表电阻。6.14.4.1.4 测试步骤:测试时，将电极和被测物外表清洁，在电极下面加 一层湿滤纸垫，将正极接于被测物，负极接地，按下按钮，读出并记录测量值。6.14.4.2 工作台 (次/月) 随机选定测试点，不少于三张工作台。6.14.4.2.1 测试工作台面外表电阻。6.14.4.2.2 测试工作台面对手环插孔电阻。6.14.4.2.3 测试工作台对地系统电阻。6.14.4.3 综合工程6.14.4.3.1 测试鞋底体积电阻。6.14.4.3.2 测试工位器具及物流传递器具6.14.4.3.3 测试容器外表电阻。6.14.4.3.4 测试手环。6.14.4.3.5 测试手环连接电缆系统电阻。6.14.4.3.6 测试防静电鞋和人体综合电阻。6.14.4.4 具体操作参照相关ESD 操作 SOP。做相应的记录，填写 7.3工作服(工作帽，手套)外表电阻点检表和 7.4车间ESD 外表电阻电压点检表。6.14.5 本测试标准依据中华人民共和国电子工业部SJ/T 10533、SJ/T 10630 及 SJ/T 10694标准，以及 An AmericanNational Standard Approved August 4 1999-ANSI/ESD S20.20-1999 标准制定。6.15 ESD 相关测试技术指标6.15.1 流水线防静电输送皮带、工作台垫外表电阻:106-1096.15.2 流水线防静电输送皮带，工作台垫上任意仪一点对地电阻：106-1096.15.3 防静电线任意一点对地电阻 <106.15.4 有绳防静电手环至地的电阻:1M±10%嘉兴华珅电子科技文件编号编写人员QMS-B-ME-008王刚版版本序车间ESD治理程序审核杨建国2023-06-21批准A 000邓文辉编写日期修订日期表A:测试技术指针工程外表电阻电阻值摩擦电压V防静电母线接地电阻<10防静电地板105109<100地板对地极母线电阻5*104109工作台面台垫106109<100流水线皮带外表电阻106109<100工作台面对腕带插孔电阻105108工作台面对地系统电阻106108工作服工作帽106109<300防静电鞋鞋套1051080.5*105108<100周转箱、零件盒和物流器具103108<100包装袋<100腕带内外表对电缆扣电阻<20k腕带连接电缆电阻1M±10%工作椅面对椅脚电阻106108物流车台面对地电阻106109人体综合电阻穿防静电鞋106108注:以上数据为中华人民共和国电子行业最版SJ/T10694-1996,以及美国最版ANSI/ESD S20.20-1999 之标准。7.0 附件7.1 人体综合静电测试标准作业指导书7.2 静电环与静电鞋测试记录表7.3 工作服(工作帽，手套)外表电阻点检表7.4 车间ESD 电阻电压点检表7.5 车间ESD 稽核检查表7.6 静电插座/卡扣线及静电线末端点检表7.7 防静电材料IQC 检验记录表8.0 流程图无第 5页 共 5页
