全球热处理设备行业发展现状分析.docx

全球热处理设备行业发展现状分析一、热处理设备分类热处理主要包括氧化、扩散和退火工艺。氧化是一种添加工艺，是将硅片放入高温炉中， 加入氧气与之反应，在晶圆表面形成二氧化硅。扩散是通过分子热运动使物质由高浓度区移向低浓度区，利用扩散工艺可以在硅衬底中掺杂特定的掺杂物，从而改变半导体的导电率， 但与离子注入相比扩散掺杂不能独立控制掺杂物浓度和结深，因此现在应用越来越少。退火是一种加热过程，通过加热使晶圆产生特定的物理和化学变化，并在晶圆表面增加或移除少量物质。若设备形态划分，炉管设备可分为卧式炉、立式炉和快速热处理炉三类。热处理设备分类资料来源：华经产业研究院整理二、热处理设备行业市场规模半导体热处理热备包括快速热处理、氧化/扩散炉和栅栏堆叠设备。根据数据显示，2020 年全球热处理设备市场规模 15.37 亿美元，其中快速热处理市场 7.19 亿美元，氧化/扩散设备市场 5.52 亿美元，栅极堆叠设备市场 2.66 亿美元。随着半导体国产化进程的加快，预计到 2025 年全球热处理设备市场规模将达到 19.91 亿美元，其中快速热处理市场 9.37 亿美元，氧化/扩散设备市场 7.1 亿美元，栅极堆叠设备市场 3.44 亿美元。2019-2025 年全球半导体热处理设备分类市场规模三、热处理设备竞争格局全球热处理设备整体市场呈现出寡头垄断的格局，其中美国的应用材料，日本的东京电 子和日立国际电气（Kokusai）三家分别占据全球热处理设备市场 46%、21%和 15%的市场份额，此外我国的屹唐股份占比 5%，北方华创占比 0.2%。全球热处理设备市场格局资料来源：公开资料整理单看快速热处理 RTP 设备，根据数据显示，应用材料仍然是全球第一大快速热处理 RTP 设备供应商，占据了 69.7%的市场份额，而我国的屹唐股份也占据 11.5%的市场份额，仅次于排名第一的应用材料。全球快速热处理 RTP 设备市场格局资料来源：公开资料整理四、北方华创长江存储设备中标分析2020 年以来，国内芯片供应链受美国出口管制的影响，进一步加速导入国产化设备。以长江存储设备招中标情况为例，截至 2021 年 6 月 30 日，刻蚀机、薄膜沉积和氧化/扩散/热处理累计招标数分别达 379 台、675 台和 241 台，国产化率约 16%，相较 2020 年 10% 的国产化率进一步提升，其中 ICP 等离子体刻蚀机累计 195 台，国产化率达 19%，北方华创 ICP 刻蚀设备在长江存储所占份额达 12%。北方华创中标长江存储设备情况从长江存储的招标情况来看，热处理设备还是以国外厂商设备为主，国内厂商北方华创 市占率逐年上升，截至今年 10 月，从设备数量来看，北方华创热处理设备在长江存储的占比已经超过了 30%，屹唐半导体占比 1%。长江存储热处理设备中标比例