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ENDURA 结构介绍供电系统其它部件的作用 PumpFrame 提供反映所需的真空度 Cryopumpcompressor 提供HE 给Cryopump,保证冷泵正常工作 Heatexchange 提供DIWATER，冷却PVD 腔体以及HeaterMAINFRAME 上腔体构成传输过程真空系统RobotHPRobotHomingRoutineLoadlockDifferentialPumpingPortIndexerBrake PresentthecassettestagefromfallingincaseofpowerfailureORIENT/DEGASORIENT 工作原理 1.OrienterBoard 发出信号通知系统开始找平边过程。2.SystemController 将有关圆片的尺寸型号等信息传递给OrienterBoard。3.软件校准CCDBoard，使得由激光管发出的光信号转换为数字信号。4步进电机带动圆片旋转，达到正常的转速后，则CPU 开始读取CCD 中的信息（步进电机每转动四步读取一次）。5信息储存在RAM 中，直到完成3600的旋转。6软件分析数据，确定圆片的中心。7校正圆片在chuck 上的数据，最终确定原片的平边。8把圆片旋转到预定的角度上。9.系统控制器获得圆片的中心和WaferChuck 的中心后，指导ROBOT 取片。RF SYSTEMPVD chamber工作原理 在靶才上通负的直流电压，Shield 充当接地，电位差使AR 原子电离成AR 离子，被接负电压的靶才吸引而撞击靶才，生成金属原子沉积在Wafer 表面，从而达到Sputtering 的目的。Gas LinesPneumaticOperation W/O Inverter Slitvalvewill“open”butnot“close”Waferliftswillgoto“lift”butnotto“release”LLCdoorswill“open”butnot“close”Cassatteswillrotate“out”butnot“in”Shutterwillmoveto“storage”butnotrotate“in”ControlENDTHANKYOU!