LCDLCM静电防护作业指导书.docx

xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 1 页 共 8 页内 容：1.0目的2.0范围3.0定义4.0职责5.0 名词解释6.0 检测仪器7.0流程架构8.0 作业步骤9.0治理工程10.0 特别处理11.0测试仪器使用方法12.0相关文件13.0相关记录14.0附件编 写审 核批 准日 期日 期日 期会签：*xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 2页共 8页修改历程 ：修改日期版本 更改状态更改内容编写审核批准123456781111111100000000页数修订状况：换页不换页页次版本更改状态1.0 目的xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 3 页 共 8 页1.1 了解静电产生气理与静电的危害，正确使用防护措施来减小或消退静电造成的不良；1.2 了解静电的测量方法；1.3 熟知静电的预防方法。2.0 范围适用于 LCD、LCM 生产作业、物料储存、产品搬运及生产人员的静电检测/把握等工程。3.0 定义：3.1 物质因失去或获得电子称带电现象；3.2 静电现象指相对于观看者而言，所带电荷处于静止或缓慢变化相对稳定现象；3.3 ESD 定义为静电放电ESD，electrostatic discharge。 a.静电一般在两物体磨擦时产生;b.固体接触带电；c.固体分别带电(断裂带电、剥离带电)； d.固体导体感应带电；e.人体带电感应带电、传导带电。4.0 职责：4.1 LCD、LCM 工艺：4.1.1 负责制定有关之静电把握标准,并完善本把握标准。4.1.2 产品设计及制作工装夹具、测试夹具时需符合静电防护标准。4.1.3 负责督导帮助解决静电防护特别工作。4.2 LCD、LCM 生产：4.2.1 各工位作业员负责检查工作台静电区清洁。4.2.2 生产领班每天上班前监视员工静电腕带/鞋的导通测试，假设有特别应准时更换。4.2.3 生产组长对各员工的静电腕带/鞋、使用设备和环境等进展点检，并作特别反响。4.2.4 设备接地状况消灭特别时，应准时订正，假设无法解决，通知设备人员作处理。4.3 质量治理部：4.3.1 负责对机台接地状况、工作台接地状况及作业人员静电腕带/鞋配戴状况进展监视。4.3.2 当觉察特别时，通知相关人员作处理跟进，或依据需要召开特别紧急措施处理睬议，实行必要的对策。4.4 设备部：负责维持设备、治工具、作业台、物料架等接地状况或修理，帮助解决静电防护特别工作。5.0 名词解释ESD：英文 Electrostatic Discharge. 中文为静电放电EPA：英文 Esd Protected Area. 中文为静电放电保护工作区ESDS：英文 electrostatic discharge sensitive. 中文为静电放电敏感器件xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 4 页 共 8 页6.0 检测仪器4.1 静电场测试仪：测试感应静电压4.2 外表电阻仪重锤：测试外表电阻4.3 简易外表电阻仪：测试外表电阻4.4 CPM 测试仪器：测试除静电器平衡电压和耗散时间4.5 万用表：测试接地线电阻7.0 流程架构ESD 代表ESD 负责人ESD 静电专员修理负责人各岗位领班/ 组长8.0 作业步骤8.1 测试工程及方法：序号测试工程测试标准/频次1. 手腕带测试仪绿灯亮“GOOD” 并发出“滋”的声音为合格，测试方法a. 静电腕带一端带在手腕上，导电金属片与皮肤严密接触。测试员相关记录全部指定静电腕带1测试红灯“LOW”亮或橙灯“HIGH” b.另一端金属插头插入静电腕带亮为不合格。测试器的插孔里。佩戴静电腕带的人员均需自静电腕带测试记2. 2 次/天早上进车间一次， c.用裸指不带手指套压在静电 测试并记中午进车间一次，晚班测试测试器的金属开关上，同时用另 录。频次同白班一只手拉扯静电腕带的连接线。a.正确插入仪器右测的工鞋插孔， 1.静电鞋测试仪绿色“PASS”确保测量选择开关处于翻开状LED灯亮，表示鞋子合格；如态，并且在反面的模式选择单脚录表静电鞋2测试果红色“FAIL HI”或者“FAIL测试。LO”LED灯亮并有报警声响b.将一只脚踏到脚踏板上面，用手起，则说明鞋子不合格。指按下检测仪的“TEST”金属2. 2次/天早上进车间一次， 按中午进车间一次，晚班测试员工及外围人员均需自测试并记录。防静电鞋测试记录表防静电胶3皮频次同白班1. 静电胶皮的接地扣接触完好；2. 用DI 水清洁静电胶皮，过脏局部可以使用少量酒精擦 拭；钮，另一只脚要抬起，不行以踩在地板上面。目视操作员工/xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 5 页 共 8 页3. 每天上班检查一次。8.2 不合格处理：8.2.1 假设静电鞋不合格，要马上更换鞋子，直到测量合格为止方可进入工序内作业。留意： 检测合格后要在防静电鞋测试记录表的“检测不合格后的处理措施以及重测记录”中作好记录。静电腕带测试不合格时需要马上更换的静电腕带，合格前方可进入工序内作业。8.2.2 静电腕带另可使用万用表对其内阻进展检测(静电腕带内阻为 0.8-1.2M)确认是否良好, 如确认为静电腕带为不良时需准时更换。9.0 治理工程检测工程检验方法1. 离子风机的风量开到最大，风标准检验周期检验仪器测试员离子风机相关记录向对着操作台面,旋转(两次清洁毛刷，直接清洁离子放射针尖目视无灰尘1 次/1 周目视检查/ 使用者离子风机测试2. 用静电测试仪测量静电平衡电压时间3. 用静电测试仪测量静电消退时间吸塑盘放在阻值1×1011绝缘材料上，将重锤放在吸塑盘的一电压：±50V1kV 降至0.1kV的时间<10s1 次/1 季度1 次/1 季度1 次/1 季CPMCPM外表电阻计量技术员计量技术员计量技术离子风机测试记录表吸塑盘吸塑盘面，测试对角线两个点，每次至少抽测 30 个，假设大于 2 个不合格， 则全部测试，不合格做报废处理。a. 使用万用表电阻档测量ESD 地共同接地线与 AC 地线之间的电阻；点测试b. 每个工序各抽测三个点测试。a. 使用万用表电阻档测量设备金设备接地属部份与AC 地线之间的电阻；b. 每个设备抽测一个点测试。1×1011阻值小于<1.0 为合格；阻值小于<1.0 为合格；度1 次/1 季度1 次/1 季度仪万用表万用表员设备技术员设备技术员ESD 测试记录表共同接地点检测记录表ESD 接地、设备 AC 接地检测记录表特别发生检查内容措施备注xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 6 页 共 8 页吸塑盘检测不合格静电监控仪使检测超出标准范围1. 报警装置失效在要求的温室度范围内再次检测是否合格。假设不合格则通知工艺员报废处理。不合格记录在防静电不合格处理记录表监控仪在没有修好的状况下，需在用不合格10.0 特别处理2. 指示灯故障或静电-通知修理处理设施不合格。手腕带测试仪上进展测试，并做记录，不合格手腕带报组长更换。11.0测试仪器使用方法内容外表电阻仪大锤接线测试方法留意事项-温度：25±5 湿度： 40%-60%RH外表电阻测试仪大锤按连接线颜色与测量仪上相应颜色的接口连接翻开测量仪开关,连接被测物体与所用探头,选择测试电压。不同的测试电压和探头对应的测量范围如下:-当测量仪开关翻开时，不行以用手接触探头底部，由于底部可产生100V 的电压。测量电压10V两点探头10 10 ohms310-当使用10V 的测试电压时，测量电流低于13mA，当使用100V100V10 10 ohms513的测量电压时，测量电流低于将探头置于被测物体的外表然后读取LCD 屏上的数据。屏测试上的数据包括有效数字局部A 和指数局部B， 测量数据的表达式A×10BLCD 屏上的读数1.7mA。-假设开机后10 分钟内不进展任何操作，外表电阻仪将自动关闭内容不同温湿度外表测试方法1、上图读数2.12×10 ohms。有时会显示“R T10留意事项测量仪在清洁时用布蘸水擦拭xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 7 页 共 8 页电阻仪误差范围.OF RANGE：L”或者“R OUT OF RANGE：H”，具体情形按下表来处理。2、完毕电源和探头拆下，将测量现场复原。外表即可，不行以使用酒精、丙酮等有机溶剂，但是探头的底部可使用酒精来温湿度范围探头25±5 50%20%RH25±10 50%30%RH两点探头清洁.净化厂房内测试条件： 温度：25±5工程电阻范围误差范围电阻范围误差范围数值10 10312±2.5%10 10±5%1013±5%1013±8%湿度： 40%±60%RH312CPM测试图示-温度：25±5 湿度： 80%RH-仪器使用一个7.2V 的充电电池组，当电耗光的时候要重充电，不要使用其他电池，以免着火或者是发生爆炸。CHARGEDPLATE MONITOR把握面板，前方为显示与操作面板，前方为构成监视器各种接口充电平板规格：15.3cm×15.3cm 电容：20±2pF1、将充电平板与监视器上的“ION COLLECTING PLATE”端 -保证电源开关处于关闭状态， 口连接；不然有发生触电事故的危急；2、用接地线将监视器反面的“GROUNDING”端口与地连接. -翻开电源，按TEST/RESET”操作步骤3、翻开电源开关， 使用模式选择开关选择对应的模式， 见下表：DECAY：测量正衰减时间电压由正初始衰减到正终止所用的时间。FLOAT：平衡电压。DECAY：测量负衰减时间电压由负初始衰减到负终止所用的时键，“直到“PLATE VOLTAGE”显示器上消灭“S”或者“E” 为止；-松开“TEST/RESET”键，“DECAYTIME”显示器上面将显示出当前设置的初始或者终止电压；间。内容测试方法留意事项1、在“DECAY”模式下，按下TEST/RESET 开关，这时平台 - 假设将模式选择开关置于-将被充电到稍高于1000V，然后在放开开关，平台上的保养电压开头下降，当到达预先设置的初始电压时，监视器以0.1 秒为单位开头计时，当到达预先设置的终止电压“ DECAY”位置，电压将以一伏为单位连续上升，假设置于“DECAY”位置，电压将以一xxxxxxxxx 电子xxxxxxxxMicro-Electronics Co.,Ltd.三级文件：版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第 8 页 共 8 页时计时停顿，此时“DECAYTIME”所显示的时间即为衰减时间；2、在“FLOAT”模式下，按下TEST/RESET 开关，这时平台电压将被置为0V，放开开关后，平台将在四周环境的影响下电压发生变化，等到“PLATE VOLTAGE”的读数稳定后，上面所显示的电压即为平衡电压；3、测量完毕后，关闭仪器电源，使模式选择开关处于“FLOAT”位置；将平板与监视器的连接线以及接地线撤除，将全部物品放回原处，恢复测量现场。4、将电池布满电后翻开仪器电源开关，放置12 小时以上， 此时电池的电量几乎耗尽，然后再次进展充电至满。这样做可以减轻电池长时间充电所形成的“记忆效应”。仪器布满电以后至少可以使用8 小时，大约在停顿工作前30min“电量低”指示灯会亮。伏为单位连续降低，当到达所需要的电压时，将模式选择开关置于“FLOAT”位置；-向下按住“TEST/RESET”键不放，直到“PLATE VOLTAGE”显示器上消灭“P”为止；-当仪器正在工作的时候，不要接触充电平台或者接口部位， 以免发生电击；不要在户外或者潮湿的环境下使用此仪器； 不要在可能发生爆炸的环境中使用此仪器。-每月进展一次布满电后彻底放净的保养；清洁仪器外表时， 使用湿布即可，不要使用有机溶剂或者其他溶液。“OUTPUT MONITOR”端口输出电压为平台电压的1/200，通过特定的输出设备监测此端口的电压可以间接地监测充电平板的电压。此端口输出的信号还可以作为闭环系统的反响信号。12.0 相关文件无13.0 相关记录13.1 静电腕带测试记录表13.2 防静电鞋测试记录表13.3 离子风机测试记录表13.4 吸塑盘 ESD 测试记录表13.5 共同接地点检测记录表13.6 防静电不合格处理记录表13.7 ESD 接地、设备 AC 接地检测记录表14.0 附件无