DB34 4294-2022 半导体行业水污染物排放标准.docx

 ICS 13.060.30CCS Z 6034安徽省地方标准DB34/ 42942022半导体行业水污染物排放标准Discharge standard of water pollutants for semiconductor industry2022 - 10 - 14 发布2023 - 01 - 01 实施安徽省生态环境厅安徽省市场监督管理局发 布DB34/ 42942022目次前言 . II1  范围 . 12  规范性引用文件 . 13  术语和定义 . 24  水污染物排放控制要求 . 35  水污染物监测要求 . 5监测一般要求 . 5监测要求 . 56  达标判定 . 77  实施与监督 . 8IDB34/ 42942022前言本文件按照 GB/T 1.12020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由安徽省生态环境厅提出并归口。本文件起草单位：安徽省生态环境科学研究院、安徽建筑大学、合肥市环境保护科学研究所、合肥工业大学。本文件主要起草人：孙雷、王晓辉、黄健、蒋世友、刘亚风、岳正波、何祥亮、刘慧、张斌、程堃、张华、奚姗姗。本文件由安徽省人民政府 2022年8月22日批准。IIHJ  84水质  无机阴离子(F 、Cl 、NO2 、Br 、NO3 、PO4  、SO3  、SO4  )的测定  离子色谱法DB34/ 42942022半导体行业水污染物排放标准1  范围本文件规定了半导体企业的水污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与监督。本文件适用于半导体企业的水污染物排放管理、排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、建设项目竣工环境保护验收及其投产后的污染控制与管理。2  规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 7466水质 总铬的测定GB/T 7467水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法GB/T 7470水质 铅的测定 双硫腙分光光度法GB/T 7471水质 镉的测定 双硫腙分光光度法GB/T 7475水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法GB/T 7484水质 氟化物的测定 离子选择电极法GB/T 7485水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法GB/T 7494水质 阴离子表面活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法GB/T 11893水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法GB/T 11901水质 悬浮物的测定 重量法GB/T 11907水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法GB/T 11910水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法GB/T 11912水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法HJ/T 60水质 硫化物的测定 碘量法-3-2-2-HJ 91.1污水监测技术规范HJ/T 195水质 氨氮的测定 气相分子吸收光谱法HJ/T 199水质 总氮的测定 气相分子吸收光谱法HJ/T 200水质 硫化物的测定 气相分子吸收光谱法HJ/T 399水质 化学需氧量的测定 快速消解分光光度法HJ 484水质 氰化物的测定 容量法和分光光度法HJ 485水质 铜的测定 二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法HJ 486水质 铜的测定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ 487水质 氟化物的测定 茜素磺酸锆目视比色法HJ 488水质 氟化物的测定 氟试剂分光光度法HJ 489水质 银的测定 3,5-Br2-PADAP分光光度法HJ 490水质 银的测定 镉试剂2B分光光度法HJ 493水质 样品的保存和管理技术规定1DB34/ 42942022HJ 494水质 采样技术指导HJ 495水质 采样方案设计技术指导HJ 501水质 总有机碳的测定 燃烧氧化-非分散红外吸收法HJ 535水质 氨氮的测定 纳氏试剂分光光度法HJ 536水质 氨氮的测定 水杨酸分光光度法HJ 537水质 氨氮的测定 蒸馏-中和滴定法HJ 636水质 总氮的测定 碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法HJ 637水质 石油类和动植物油类的测定 红外分光光度法HJ 659水质 氰化物等的测定 真空检测管-电子比色法HJ 667水质 总氮的测定 连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ 668水质 总氮的测定 流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ 670水质 磷酸盐和总磷的测定 连续流动-钼酸铵分光光度法HJ 671水质 总磷的测定 流动注射-钼酸铵分光光度法HJ 694水质 汞、砷、硒、铋和锑的测定 原子荧光法HJ 700水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 776水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 828水质 化学需氧量的测定 重铬酸盐法HJ 908水质 六价铬的测定 流动注射-二苯碳酰二肼光度法HJ 970水质 石油类的测定 紫外分光光度法（试行）HJ 1069水质 急性毒性的测定 斑马鱼卵法HJ 1147水质 pH值的测定 电极法HJ 1226水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法污染源自动监控管理办法（2005年9月19日 国家环境保护总局令 第28号）环境监测管理办法（2007年7月25日 国家环境保护总局令 第39号）3  术语和定义下列术语和定义适用于本文件。半导体企业semiconductor industry从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。现有企业existing facility本文件实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业。新建企业new facility本文件实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。直接排放direct discharge排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。间接排放indirect discharge排污单位向污水集中处理设施排放水污染物的行为。2序号污染物项目排放限值特别排放限值污染物排放监控位置1总镉（按Cd计）0.050.01车间或生产设施废水排放口2总铬（按Cr计）0.50.536+六价铬（按Cr 计）0.10.14总砷（按As计）0.20.15总铅（按Pb计）0.20.1车间或生产设施废水排放口6总镍（按Ni计）0.50.17总银（按Ag计）0.30.1DB34/ 42942022特别排放限值special discharge limit values根据生态环境保护工作的要求，在国土开发密度已经较高、环境承载能力开始减弱，或环境容量较小、生态环境脆弱，容易发生严重环境污染问题而需要采取特别保护措施的地区，为严格控制企业的污染物排放行为而制定的水污染物排放限值。污水集中处理设施concentrated wastewater treatment facilities为两家及两家以上排污单位提供污水处理服务的污水处理设施，包括各种规模和类型的城镇污水集中处理设施、工业集聚区（经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类工业园区）污水集中处理设施，以及其他由两家及两家以上排污单位共用的污水处理设施。排水量effluent volume企业或生产设施排放到企业法定边界外的废水量，包括与生产有直接或间接关系的各种外排废水（含厂区生活污水、冷却废水、锅炉和电站废水等）。单位产品基准排水量benchmark effluent volume per unit product用于核定水污染物排放浓度而规定的生产单位产品的污水排放量上限值。稀释倍数dilution level原水样占稀释后水样总体积分数的倒数，一般用 D 来表示。例如，水样未稀释，则稀释倍数 D=1；取 250 ml 水样稀释至 1000 ml（即体积分数为 25），则稀释倍数 D=4。最低无效应稀释倍数lowest ineffective dilution测试中不产生测试效应的最低稀释倍数，本文件指不少于 90的斑马鱼卵存活时水样的最低稀释倍数，用 LID 表示。4  水污染物排放控制要求水污染物排放限值见表 1 和表 2。表1  第一类水污染物排放限值单位：mg/L3序号污染物项目直接排放限值特别排放限值间接排放限值污染物排放监控位置1氟化物（按F计）10820企业废水总排放口2总铜（按Cu计）0.40.41.03总锌1.01.01.54硫化物（按S计）1.01.01.05-总氰化物（按CN 计）0.20.20.26pH（无量纲）6.09.06.09.06.09.07悬浮物（SS）60304008化学需氧量（COD）60505009氨氮1084510总氮15107011总磷1.00.58.012石油类3.01.01513阴离子表面活性剂（LAS）1.00.52014总有机碳（TOC）2015150序号适用企业产品规格单位单位产品基准排水量污染物排放监控位置1集成电路 6英寸芯片生产3m /片3.2排水量计量位置与污染物排放监控位置一致28英寸芯片生产3m /片6.0312英寸芯片生产掩膜层数35层及以下3m /片11掩膜层数35层以上204封装测试封装产品传统封装产品3m /千块产品2.0圆片级封装产品3m /片115分立器件分立器件3m /万块产品3.5注：本表中规定的单位产品基准排水量值应按满产情况进行测算。DB34/ 42942022表2  第二类水污染物排放限值单位：mg/L（pH  值除外）企业向污水集中处理设施排放废水时，其第二类水污染物排放应达到表 2 中间接排放限值；向具备处理此类废水能力的集中式工业废水处理厂排放废水的企业，其第二类水污染物排放可与集中式工业废水处理厂商定间接排放限值，并签订协议报当地生态环境主管部门备案。执行特别排放限值的区域执行表 1 和表 2 中相应限值要求。注：执行水污染物特别排放限值的地域范围、时间，由省级生态环境主管部门或设区市人民政府规定。半导体生产企业不同产品规格的单位产品基准排水量执行表 3 规定。表3  单位产品基准排水量半导体行业新建和现有企业废水处理设施自 2025 年 1 月 1 日起，按表 4 监测废水的综合毒性，每年监测不少于一次，并将监测结果报送当地生态环境主管部门。该项目为指导性指标，运营单位根据监测结果采取相应的控制措施。4序号控制项目名称排放水平参考值监测位置1斑马鱼卵急性毒性a6企业废水总排放口a 以最低无效应稀释倍数来表征，在 26±1的条件下培养 48 h，不少于 90的斑马鱼卵存活时水样的最低稀释倍数。DB34/ 42942022表4  综合毒性控制项目水污染物排放限值适用于单位产品实际排水量不高于单位产品基准排水量的情况。若单位产品实际排水量超过单位产品基准排水量，应按公式（1）将实测水污染物浓度换算为水污染物基准水量排放浓度，并以水污染物基准水量排放浓度作为判定排放是否达标的依据。产品产量和排水量统计周期为一个工作日。在企业的生产设施同时生产两种以上产品，可适用不同排放控制要求或不同行业污染物排放标准时，且生产设施产生的污水混合处理排放的情况下，应执行排放标准中规定的最严格的浓度限值，并按公式（1）换算水污染物基准水量排放浓度：    基  𝐶实 ···································································· (1)𝐶基总Q总排水总量，单位为立方米（m ）；式中：C基水污染物基准排水量排放浓度，单位为毫克每升（mg/L）；3Yi某种产品产量，产品单位见表3；Qi基某种产品的单位产品基准排水量，产品单位见表3；C实实测水污染物排放浓度，单位为毫克每升（mg/L）。若 Q 总与Yi×Qi 基的比值小于 1，则以水污染物实测浓度作为判定排放是否达标的依据。5  水污染物监测要求监测一般要求5.1.1  企业应按照环境监测管理办法的规定，建立企业监测制度，制定监测方案，对水污染物排放状况开展自行监测，保存原始监测记录，公布监测结果。5.1.2  企业安装污染物排放自动监控设备的要求，按有关法律和污染源自动监控管理办法的规定执行。5.1.3  企业应按环境监测管理规定和技术规范的要求，设计、建设、维护排污口标志。5.1.4  对企业排放的废水采样，应根据监测污染物的种类，在规定的污染物排放监控位置进行。5.1.5  建设项目环境保护设施竣工验收监测应在主体工程调试工况稳定、环境保护设施运行正常情况下进行，并记录监测时的实际工况。监测要求5.2.1  水污染物的监测采样应按 HJ 91.1、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的规定执行。5.2.2  企业排放水污染物浓度的测定采用表 5 所列的方法标准。5.2.3  本文件实施后，表 5 所列污染物如有新发布的环境监测分析方法标准，其方法适用范围和条件相同的，也适用于本文件对应污染物的测定。5序号污染物项目标准名称标准编号1总镉水质 镉的测定 双硫腙分光光度法GB/T 7471水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法GB/T 7475水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 7002总铬水质 总铬的测定GB/T 7466水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 7003六价铬水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法GB/T 7467水质 六价铬的测定 流动注射-二苯碳酰二肼分光光度法HJ 9084总砷水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法GB/T 7485水质 汞、砷、硒、铋和锑的测定 原子荧光法HJ 694水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 7005总铅水质 铅的测定 双硫腙分光光度法GB/T 7470水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法GB/T 7475水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 7006总镍水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法GB/T 11912水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法GB/T 11910水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 7007总银水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法GB/T 11907-水质 银的测定 3,5-Br2 PADAP分光光度法HJ 489水质 银的测定 镉试剂2B分光光度法HJ 490水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 7008pH值水质 pH值的测定 电极法HJ 11479悬浮物（SS）水质 悬浮物的测定 重量法GB/T 1190110化学需氧量（COD）水质 化学需氧量的测定 重铬酸盐法HJ 828水质 化学需氧量的测定 快速消解分光光度法HJ/T 39911总有机碳（TOC）水质 总有机碳的测定 燃烧氧化-非分散红外吸收法HJ 50112总氰化物水质 氰化物的测定 容量法和分光光度法HJ 484水质 氰化物等的测定 真空检测管-电子比色法HJ 65913石油类水质 石油类和动植物油类的测定 红外光度法HJ 637水质 石油类的测定 紫外分光光度法（试行）HJ 970DB34/ 42942022表5  水污染物浓度测定方法标准6序号污染物项目标准名称标准编号14氨氮水质 氨氮的测定 气相分子吸收光谱法HJ/T 195水质 氨氮的测定 纳氏试剂分光光度法HJ 535水质 氨氮的测定 水杨酸分光光度法HJ 536水质 氨氮的测定 蒸馏-中和滴定法HJ 537水质 氨氮的测定 连续流动-水杨酸分光光度法HJ 665水质 氨氮的测定 流动注射-水杨酸分光光度法HJ 66615总氮水质 总氮的测定 气相分子吸收光谱法HJ/T 199水质 总氮的测定 碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法HJ 636水质 总氮的测定 连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ 667水质 总氮的测定 流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法HJ 66816总磷水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法GB/T 11893水质 磷酸盐和总磷的测定 连续流动-钼酸铵分光光度法HJ 670水质 总磷的测定 流动注射-钼酸铵分光光度法HJ 67117硫化物水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法HJ1226水质 硫化物的测定 碘量法HJ/T 60水质 硫化物的测定 气相分子吸收光谱法HJ/T 20018氟化物水质 氟化物的测定 离子选择电极法GB/T 7484水质 氟化物的测定 茜素磺酸锆目视比色法HJ 487水质 氟化物的测定 氟试剂分光光度法HJ 488-                -                2-                -                       -                  3-                  2-                  2-水质 无机阴离子（F 、Cl 、NO 、Br 、 NO3 、PO4 、SO3 、SO4 ）的测定 离子色谱法HJ 8419阴离子表面活性剂（LAS）水质 阴离子表面活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法GB/T 749420总铜水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法GB/T 7475水质 铜的测定 二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法HJ 485水质 铜的测定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ 486水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 70021总锌水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法GB/T 7475水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法HJ 776水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法HJ 70022斑马鱼卵急性毒性水质 急性毒性的测定 斑马鱼卵法HJ 1069DB34/ 42942022表 5（续）6  达标判定采用手工监测时，按相关监测技术规范要求获取的监测结果超过本文件排放浓度限值时，判定为排放超标。各级生态环境主管部门在对企业进行监督性检查时，可以现场即时采样或监测的结果，作为判定排污行为是否符合排放标准以及实施相关环境保护管理措施的依据。7DB34/ 42942022企业按照法律法规及标准规范要求与生态环境部门联网的自动监测有效数据，水污染物以日均值作为达标考核的依据。国家和省对达标判定另有要求的，从其规定。7  实施与监督新建企业自 2023 年 1 月 1 日起，现有企业自 2025 年 1 月 1 日起执行本文件。本文件由生态环境主管部门负责监督实施。本文件实施后，国家新颁发或修订的相关标准中排放限值要求严于本文件的，执行相应标准限值要求。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本文件时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。企业是实施排放标准的责任主体，应采取必要措施，达到本文件规定的污染物排放控制要求，保证污染防治设施正常运行。8