RG-PED-WI-001制绒作业指导书.docx

文控中心(DCC) 总经理常务副总 治理者代表技术副总 技术研发部生产工艺部品质把握部生产副总 生产部铸切生产部电池片设备部厂务部 安环部 行政副总资材部正0分发总数10高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A00 / 152023 年 11 月 7 日分发部门份数分发部门份数修改日期版本修改内容号本 人力资源部12023/11/071总务部01商务副总01商务部01昆山办事处01财务副总01财务部01董事长01010000A/0首版发行受控印章受控印章为红色有效，请依据受控副本； 未经授权，本文件不得拷贝及外传。编制 / 日期：/审核 / 日期：/批准 / 日期：/高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A01 / 152023 年 11 月 7 日1.0 目的在硅片外表用确定比例硝酸,氢氟酸及水的混合液处理以形成有确定规章的绒面。2.0 范围适用于多晶硅片(硅片型号：RG156*156)。3.0 职责3.1 全部操作人员都必需严格依据本文件进展操作。3.2 在操作过程中遇到问题应准时向相关技术员或设备工程师反响，相关技术、设备工程师准时供给帮助。4.0 作业流程4.1 留意4.1.1 用腐蚀性的化学品工作时需要足够的防护，需使用能抵抗腐蚀性的遮板、衣服、鞋、手套和护目镜。4.1.2 确保自己假设发生事故,能找到适当的紧急冲洗设施。决不单独进入机器内工作，正在作业的机器不允许翻开、除去盖板，由于内部气体有特别危急的碱或酸化学品。4.2 生产预备4.2.1 穿上工作服，戴上PVC 乳胶手套；清洗操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。4.2.2 确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两侧，戴好手套后，在插片过程中制止手套正面接触皮肤等污染物体，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。4.2.3 确认配套各动力工程是否正常4.2.3.1 压缩空气：压缩空气压力要求 46bar 的气压。当 Air Knifes 不使用时，压力必需大于 4bar。4.2.3.2 化学品供给：查看供给化学品的手阀是否处于开启状态。4.2.4 装片前，结合实际生产状况记录产品相关信息。例如：记录硅片材料的箱体号、多晶号及流程单等信息。4.2.5 动力要求见下表编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A02 / 152023 年 11 月 7 日工艺名称治理内容治理规格纯水压力3.5-4bar制绒工艺自来水压力压缩空气>1.2bar46bar冷却水压差2bar冷却系统温度 64.3 生产操作过程4.3.1 开机的操作过程4.3.1.1 确认设备总电源已开启并且电脑已进入到软件操作界面.4.3.1.2 假设没有则需先翻开总电源开关,如以以下图一所示；翻开 ups 电源开关,如以以下图二所示； 翻开电脑显示器，按下屏幕下方绿色按钮on，如图三所示。图一(总电源和照明灯开关)图二(设备 ups 电源开关)图三电脑显示器开关编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A03 / 152023 年 11 月 7 日4.3.1.3 点击桌面上的把握机台运行的系统软件。4.3.1.4 软件翻开后，点击 Login 进入登陆界面，输入用户名及密码由各班工序长及负责该工序工艺的工艺人员操作，点击 ok 进入,点击“ Manual”进入手动模式，当机台完全进入该模式功能后，点击“ Start production”按钮,机台运行，设备进入自动模式，在界面上全部操作单元下方从黄色“Manual”转变成绿色“Auto”。4.3.1.5 界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色in process即设备进入正常生产状态。4.3.1.6 确认监测屏幕上显示各模块都预备运行和设备门窗均关闭。界面各模块无Not Ready“显示。4.3.1.7 确认各模块有无报警信息，假设有任何特别，通知当班工艺工程师和设备工程师。4.3.2 关机的操作过程：4.3.2.1 点击界面下方的“ ScheduledStop”按钮。4.3.2.2 等待机台 10-15 分钟，机台自动会将 Bath 中的反响液排到 Tank 内。4.3.2.3 等待 Bath 排液完成，在Bath 模块上只显示为淡灰色“Filled with chem”。说明液体排完。4.3.2.4 检查各门的位置，正确地调整好它们。4.3.2.5 点击“off”，。点击右上角关闭按键，弹出一个对话框门，并点击“Yes”，将退出操作系统。4.3.2.6 点击关机软件，弹出一个对话框门，并点击“Yes”，电脑将在 20s 后关机；随后点击机台上的白色 OFF 按钮。4.3.2.7 关掉设备的 ups 电源开关，关闭电源柜电源 (长时间停机,即超过一天停机时需关闭设备总电源)。4.4 槽的清洗及药液更换4.4.1 旧药液槽的处理4.4.1.1 制绒槽Processbatha. 选择菜单双击 Intex HS> Processbath；b. “Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式，如以以下图所示；编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A04 / 152023 年 11 月 7 日c. 点击“Drain”, Bath 和 Tank 内 的化学品将会全部被排掉；d. 等化学品排放过程完成，图中蚀刻槽和储液罐将显示 Empty(黄色)， 此时可以预备下一道程序；e. Bath 和 Tank 内冲洗，按下“Clean” 冲洗(屏幕的右边)，制绒槽以及储液罐将布满水和开头循环清洗程序可设定冲洗次数，在如以下图栏目中；清洗完成之后，系统自动将水排掉，此时蚀刻槽以及储液罐的状态为 Empty黄色。4.4.1.2 碱洗槽 Alkaline batha. 选择菜单至“Intex HS> alkaline bath”；b. “Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式，如以以下图所示编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A05 / 152023 年 11 月 7 日c. 按下“Drain” 碱槽的化学品将被排掉；d. 等待直到图表显示为“Empty”(黄色)；e. 碱槽的冲洗，按下“Clean” 冲洗(屏幕的右边)。碱槽将布满水和开头循环。可通过程序设定冲洗次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽内状态保持空的；f. 用水枪手动冲洗盖子4.4.1.3 酸洗槽 Acidic batha. 选择菜单至“Intex HS > Acidic bath”； b.“Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式； c.按“Drain”排水；d.等待，直到图表显示“empty”(黄色)；编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A06 / 152023 年 11 月 7 日e.开头清洁酸洗槽。按下“Clean” 冲洗(屏幕的右边)。酸洗槽将布满水并开头循环。程序可设定冲洗次数。完成之后，自动将水排掉，直到图表显示“empty”(黄色)。整个过程中用水枪手动冲洗盖子。4.4.2 更换及重配液4.4.2.1 更换 HF/HNO3蚀刻槽的化学品a. 对于制绒槽中有旧的药液的状况：选择菜单双击 Intex HS> Processbath；“Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式；按“change bath” 更换 HF/HNO 。3Bath 和 Tank 将会排干化学品。之后，Bath 和 Tank 将会布满水并开头清洗。清洗完成后水将自动被排干,接着化学品充填开头，填充的数量和比例由相应的程序Recipe打算。 设备首先添加的是 DI water，然后才是化学品。当药液全部参与储液罐之后，点击“Init”蚀刻槽Process bath 将被自动布满， 循环泵开头工作将 Tank 内药液送入蚀刻槽，当制绒槽体布满药液后，切换到自动模式。b. 对于制绒槽已经被清洗完并且空着的状况下：编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A07 / 152023 年 11 月 7 日 在这个局部里，你将找到 HF/HNO3的充填方法指示。机器的状态应当是:蚀刻槽以及储液罐水被排干并且清洁；选择想要的从 Intex HS> ProcessbathRecipe；检查化学品的比例和第一次充填的体积；确认首次配液时各化学品的浓度配比；通知集中供液，特别是药房各化学品的余量，并准时更换；选择“Intex HS”单击”Show” >”Manual”,将槽更改为手动模式；点击按钮“ fill chemistry”. DI water 首先被布满到储液罐，然后是 HF/HNO 。3已经参与的化学制品的数量，可以在屏幕下边的图表“Consumption chemistry first fill”中显示。在添加过程中，工艺槽会自动开头内部循环；编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A08 / 152023 年 11 月 7 日整个配液时间大约是在 120 分钟包括换液和降温，假设化学制品没有在设定时间内添加完成，将有错误 “filling timeout”, 配液会自动中断。 化学制品的剩下数量会在屏幕下边显示“ Remaining Volume”. 界面里显示。当外围的供液系统更换了的化学制品以后，可以连续添加药液，按.“fill chemistry”剩下数量的药液将被连续添加；在预备过程中的蚀刻液的温度由于酸和 DI 水混合时放热，可能会上升至 40 度以上；等待直到药液添加完毕；点击按钮 Init ， 药液将从储液罐被送入蚀刻槽，直到蚀刻槽显示为“full chem.”；等待到达指定的化学溶液温度范围。蚀刻槽的状态在图表里将转向“ Ready ” ( 绿色) ； 返回自动模式在按按钮“Start production”。4.4.2.2 碱槽a. 选择菜单“Intex HS> alkaline bath”； b.点击“Manual.”，转换至手动模式；c. 确认碱槽的状态显示为 Empty, 开头添加药液，点击“fill chemistry”, DI-water将被首先添加，随后 KOH 将被添加；d. 点击按钮 Init ， 药液将从储液罐被送入蚀刻槽，直到蚀刻槽显示为“full chem.” (绿色)；e. 等待碱槽的液位到达相应液位感应器，切换至自动模式“Start production”。4.4.2.3 漂洗槽 1、漂洗槽 2 和漂洗槽 3a. 选择菜单“Intex HS > rinse1”“Intex HS > rinse2”或者“Intex HS > rinse3”； b.点击“Manual.”，转换至手动模式；c.添加纯水，按键“fill DI”；d.等待 bath 的水位到达相应感应器和图表读值为“full DI.” (绿色)； e.切换至自动模式“Start production”。4.4.2.4 酸洗槽 Acidic batha. 选择菜单“Intex HS > Acidic bath”；编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A09 / 152023 年 11 月 7 日b. 点“Manual.”，转换至手动模式；c. 确 认 酸 洗 槽 的 状 态 显 示 为 Empty ， 然 后 开 始 添 加 药 液 。 点 击 “ fill chemistry”,DI-water 将被首先添加，然后是 HF/HCL；d. 等待酸洗槽的液位到达相应液位感应器和状态栏显示为“full chem.” (绿色)； e.切换至自动模式“Start production”。4.5 酸制绒一般工艺设置参数4.5.1 制绒槽参数设置RENA:总体积：450L，HNO3：278L，HF：36.7L。表中 HNO 和 HF 的添加量参数由工艺人员设定，此表只做参考。34.5.2 设备滚轴速度和风刀参数设置编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A010 / 152023 年 11 月 7 日滚轮速度：0.5-2 m/min4.5.3 碱洗槽的参数设置碱槽使用时间：200 小时；温度：20±2 度。4.5.4 酸洗槽的参数设置酸槽使用时间：200 小时。酸槽使用时间：200 小时。编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A011 / 152023 年 11 月 7 日4.5.5 生产过程中的参数修改,用来调整产品工艺,保证质量符合规定的范围.(仅工艺人员修改)4.5.5.1 参数表中的滚轴速度:0.5-2 m/min。4.5.5.2 刻蚀槽温度：6-10 。4.5.5.3 刻蚀槽流量:120-180 L/ min。4.5.5.4 刻蚀槽中 HNO3和 HF 的浓度更改，通过在以以下图中各自添加相应的量来增加浓度：在左侧相应方框内填写需添加的量然后点击“Start HF”，“Start HNO ” 或“Start DI”3既可。同样，Rep Alkaline 和 Rep Acidic 槽添加药液需要按所设定比例来补加，操作类似上面。4.5.5.5 软件界面上的中的温度和带速经培训过的工段长和工艺人员均可以修改，工段长更改前需通知技术员。4.5.5.6 对于前几项在修改完参数后还需要将修改值写进 PLC 里面才算到达真正的修改，具体操作则是点击所修改数值，在弹出框中修改后，点击“Yes”，后点击“Write to PLC”。编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A012 / 152023 年 11 月 7 日4.5.5.7 酸制绒 SPC 记录表中数据的记录：如以以下图所示操作人员需填写的参数为“制绒前的重量”，“制绒后的重量”和“反射率”三项内容。最正确减重为 0.400-0.415g,最正确反射率为 19.6%-21.2%。当减薄量及反射率不符合范围时通知当班技术人员进展参数修改。另在工艺工程师不在状况下可由经过培训合格的工段长临时修改带速和温度更改相关参数来到达最正确减薄量，更改参数前须通知当班工艺工程师，相关工艺工程师尽快在“Recipe”中进展实际参数的修改。操作人员须每 400Pcs 测一次，每次2 片，记录下时间及减薄量大小及反射率大小，如有特别准时通知工艺工程师调整。编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A013 / 152023 年 11 月 7 日4.5.6 药房药液柜内液体的更换当药液柜中相应的药液缺乏于进展配液，添加等操作时会发生报警。依据报警内容进展相关药液的更换。具体步骤如下4.5.6.1 戴好防酸手套，防酸面具并穿好防护衣服翻开相应药液柜门；4.5.6.2 拧开连接输液管的盖子；4.5.6.3 取出空桶并更换相应的药液桶，插入输液管并对准后拧紧。留意有红点对应；4.5.6.4 关上药液柜门；4.5.6.5 在设备操作面板上连续换液前的操作，设备会自动从更换好的药液中补加剩余局部4.6 留意事项4.6.1 每班生产前应先将刻蚀槽盖板上的水珠清理掉，用无尘布擦拭上、下料台滚轮再进展生产； 在正常生产过程中，不允许消灭超过30 分钟的停产。 假设消灭停产 30 分钟以上状况，必需将刻蚀槽溶液排至 Tank，以保证溶液浓度稳定。假设消灭停产 30 分钟以上状况，恢复生产前清洗操作人员带好防护用品，翻开 KOH 槽的上盖用水枪冲洗 KOH 槽喷淋管，冲洗完毕后，盖上盖子进入正常生产。4.6.2 在整个生产过程中，实行自动运转。全部槽的状态栏应显示“In Process”, 假设消灭任何其他特别，马上通知工艺工程师和设备工程师。假设状态栏显示为其他状态有可能导致自动补液消灭特别。4.6.3 无论设备是否在生产过程中，应尽量保证滚轮处于运行状态；如停产时间超过一小时，须将滚轮速度设为 0.2m/min。4.6.4 当硅片从设备中产出时，检查腐蚀后硅片质量，包括绒面外观质量。外观要求为外表无明显斑迹、药液残留、反光及黑丝，否则准时通知技术员进展工艺调整。制绒后硅片要准时送集中，制绒后至集中前超过 4 小时的片子必需返工处理，返工流程参照电池片返工片处理流程。4.6.5 假设生产操作人员觉察有除工艺人员、设备人员和生产指定人员以外，有人操作设备必需马上制止4.6.6 设备发生叠片时，片间可能是化学溶液，要先带好防护用品，再拿到水枪处反复冲洗，再用气枪吹干。4.6.7 正常的操作以硅片被蚀刻的重量或者透过化学的分析来把握蚀刻比率。最正确的减重范围是 0.400g-0.415g；wafer 在蚀刻前后必需采样测减重，使其符合范围， 班次、时间、批次要记录在 SPC 档案中。每 400Pcs 测一次，每次 2 片。编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A014 / 152023 年 11 月 7 日4.6.8 new bath 或者 old bath，药液必需通过蚀刻过程被活化。当蚀刻液变得更活泼，蚀刻比率将变高并且建议增加运输速度。这过程大约 1000-2023 片 wafers 被蚀刻。4.6.9 仪器/工具/材料 仪器：金相显微镜、电子天平、D8、PH 试纸。工具：防护用品耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩、PVC/乳胶手套。4.6.10 在装片之前应抽样检查外表质量片子色差，清洗不干净，裂纹等。4.6.11 上方的报警灯，自动运行时显示绿色，手动操作时显示黄色，当有问题时显示红色，并有蜂鸣声报警，按 F1 和 F2 键可以消退报警声音，但问题未解决，需通知当班工艺人员解决报警后灯才会转为正常的绿色。4.6.12 下料台操作人员觉察有规章的连续碎片时，应准时通知相关人员进展故障排查，如参数设置，或机台设备故障或设备内有碎片导致等。4.6.13 机台报警，请准时通知相关人员处理，尤其是在连续生产时。4.6.14 如手动上卸片，必需每三批换一次手套。全部接触硅片人员必需戴 PVC 手套。任何员工都有权制止不戴手套行为。4.6.15 操作人员每两小时观看各槽喷淋是否正常，假设消灭特别准时通知设备及技术人员处理。4.6.16 因碱槽不喷或者其他故障造成的不合格片需通知技术员处理。4.6.17 假设压缩空气压力缺乏，硅片在下料台可能没被吹干，须通知设备及技术人员处理，未吹干的硅片可用干净的滤纸将残留的液体吸干。4.6.18 Rinse1、Rinse2、Rinse3 需每班换液保证碱槽不堵塞。4.6.19 各个槽换液时需要通知设备工程师维护，维护完成后经工艺工程师确认方可配液。5.0 附件编制审核批准高平市融高太阳能开发制绒作业指导书文件编号版本版次页 码发行日期RG-PED-WI-001 A015 / 152023 年 11 月 7 日附件 1：生产所用设备、物料设备、仪器防护用品名称RENA 酸制绒机电子显微镜电子天平笔记本电脑D8 积分反射仪规 格 或 代 号名称防酸碱靴子防护眼罩 防酸碱手套防护衣服 六氟磷物料编号HFEL49%HNO3EL69-71%KOHEL45%HCLEL37%材料名 称前处理后的硅片氮气去离子水规格156×156mm18.1M动力电源：3N-380V-50HZ真空：600mmHg冷却水：<20温度：21±2 湿度：30±10工艺卫生等级压缩空气预 防 措 施10 万级冷却水穿戴超浄工作服、鞋、帽 操作时戴一次性手套、口罩编制审核批准