CELL厂PICAPMO作业指导书.docx
深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号申请状态版改版总页数文件阶层：一阶适用单位：华星全公司机密等级：一般二阶三阶四阶隐秘工厂： CELL机密其他部门：.FEOL绝密CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书版本：V 1.0部门审批经办审查会签核准FM-QA-00001-Ver.02i版权属于深圳市华星光电技术全部. 制止任何未经授权的使用The copyright belongs to Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd.Any unauthorized use is prohibited.深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般目录 Table of Contents变更履历 History of Documentiii1. 目的 Purpose12. 范围 Scope13. 名词定义 Terms Definition14. 权责 Authority & Responsibility15. 材料 Material Used26. 设备及夹治具 Equipment/Tool Usde87. 留意事项 Notice108. 作业程序 Operation Procedure109. 作业表单 Form1010. 参考文件 Reference Document1011. 附件 Attachment10ii版权属于深圳市华星光电技术全部. 制止任何未经授权的使用The copyright belongs to Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd.Any unauthorized use is prohibited.变更履历History of Document版权属于深圳市华星光电技术全部. 制止任何未经授权的使用The copyright belongs to Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd.Any unauthorized use is prohibited.深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般版本 制订/修改日期 页次V1.02023/3/25修订理由及内容文件增制订/修改者Nomuraiii深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般1. 目的 Purpose：1.1 使直接生产的人员，在正常操作本机台时有所依循，并且能使机台正常运作与确保人员安全。2. 范围 Scope：2.1 标准制造及工程人员从事配向膜固化机(PI Maincure) 作业流程及相关留意项。3. 名词定义 Terms Definition：3.1 PI ：Polyimide， 聚酰亚胺，能使液晶分子取向的一种化合物。3.2 PI Main cure：PI 膜硬化炉，利用 IR 加热板固化 PI 膜。3.3 Hot Plate：加热板。3.4 Cooling：冷却。3.5 Pin：支撑玻璃基板顶针。3.6 Robot:传送玻璃装置。3.7 Ionizer Bar：除静电装置。3.8 Touch panel：触摸屏。4. 权责 Authority & Responsibility：4.1 TA：依 Recipe 设定框胶硬化机，机台定期点检及特别信息记录反映。4.2 PM：负责机台定期保养、初级机台故障修理及生产特别排解等工作。4.3 Engineer：Recipe 设定、机台定期保养、特别处理、作业指导书撰写。4.4 现场主管及 IPQC：作业指导书执行状况之 Audit。4.5 C 级认证：未认证 C 级及 C 级人员需了解的操作指导。4.6 B 级认证：已认证 C 未认证 B 级及 B 级人员需了解的操作指导。4.7 A 级认证：已认证 B 未认证 A 级及 A 级人员需了解的操作指导。5. 材料 Material Used：5.1 NA6. 设备及夹治具 Equipment/Tool Used:6.1 设备厂家、型号厂家：Hanwha型号：FA-2023-FPMO-F016. 2 构成Oven：4unit/line*20 层COOLER：1unit/line *18 层1版权属于深圳市华星光电技术全部. 制止任何未经授权的使用The copyright belongs to Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd.Any unauthorized use is prohibited.深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般搬送 Robot：1unit/line玻璃基板层距：160 mm6.3 处理力量操作時間 Tact time：25 sec/ line加热方法：IR Heater最高使用温度：250一般使用溫度：230± 3 加热时间： 1900 Sec冷却时间： 300 Sec7. 留意事项 Notice：7.1 机台安全事项7.1.1 机台运行中请勿将头和四肢伸入机台内部，以免发生危急7.1.2 进入机台前，先确认机台为 Power OFF7.1.3 操作机台，请勿碰撞 SENSOR 以及进入其感应范围以免造成机台 alarm 或特别停顿7.1.4 装置运转中，装置的门等可开关部确定不行翻开7.1.5 降温后才能开启 Chamber 以及高温时不行用化学品进展擦拭7.1.6 发生 Alarm 时不行任意推断，应由工程师确认发生缘由与排解7.1.7 装置运转中，应格外留意可动部位的动作，避开意外大事之发生7.1.8 操作机台一切依 SOP 作业标准7.1.9 开机前肯定要先确认机台内部有无人员，有无杂物7.27.1.10 未通过设备考核人员请勿操作机台以免发生危急停电处理步骤7.2.27.2.37.2.1请保持冷静勿慌张将电源主开关关闭将 N2、PV、CDA 阀门关闭7.3复电处理步骤7.3 确定电源已供给稳定7.3.2 将 N2、PV、CDA 阀门翻开。7.3.3 将电源主开关翻开。7.3.4 将机台之电源翻开。7.3.5 进展机台原点复归。8. 作业程序 Operation Procedure:8.1 作业前检查：步骤描述1机台日点检工程通过2确认机台显示的画面是否正常，机台进展复位动作4确认 Robot 在复位状态5确认 EMO 全部为正常状态6确认机台内部没有杂物及人员8.27确认机台内部没有玻璃基板机台操作流程：步骤(1)(2)(3)8.3 作业预备流程图机台点检 / 确认机况Recipe set up开头生产使用工具/附注说明1 依照设备点检表进展，点检Utility 供给是否正常2.1 选择Auto Recipe Change Mode2.2 依照Recipe Table，确认Recipe 内容是否正确3.1 开头投片生产3.2 生产时，依照PI line 制程管制标准书执行 IPQC8.3.1 动力阀门及电力投入确认深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般8.3.1.18.3.1.28.3.1.3为 EMO Reset 按钮确认启动掌握电源Power on表单点检 N2、PV、CDA、PCW 流量值(具体点检工程请参照CAPMO 设备点检表) 为 Oven Power 按钮，为“Start”和”Cycle Stop“按钮，深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般8.4 自动运转开头作业8.4.1 主菜单操作8.4.1.1 启动触摸屏上 Up Inline Mode和DN Inline Mode按钮8.4.1.2 选择 T/P 上自动按钮,选择自动模式8.4.1.3 启动 T/P 上EQ Initial按钮,设备进展全原点8.4.1.4 启用 T/P 下方绿色Start按钮,设备进入自动运转状态8.5自动运转停顿作业8.5.1 主菜单操作8.5.1.1按下T/P下方Cycle Stop按 钮，设备处于自动停顿状态8.5.1.2按触摸屏手动按钮，设备自动模式停顿8.6 开线制程条件确认8.6.1 确认各项制程条件是否与产品要求相,点符检填入表单. 具体点检工程请参照CELL 厂 PI CAPMO 设备点检表8.7 机台工程防呆8.7.1 整座炉制程被 By Pass8.7.1.1 设定操作者权限深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般8.7.1.2 执行By Pass功能且有基板在籍时发出Warning,及警示画面显示8.7.2 加热炉的 Slot 数被关闭8.7.2.1 设定操作者权限8.7.3 加热炉体 Slot heater 被关闭或过温8.7.3.1 设定操作者权限8.7.3.2 Slot 均温性未到达设定温度时,机台无法 Start8.7.3.3 Slot 装有高温Sensor,当炉内温度超过设定温度时,机台Warning 并逐步Alarm8.7.4 加热时间及温度值被误置8.7.4.18.7.4.28.7.4.3设定操作者权限机台有设计输入温度的/上下限值基板进入机台前,会比对 Parameter 中的温度&加热时间,如内容不符,机台Alarm8.8 制程管控8.8.1 制程温度管控8.8.1.1开线点检制程温度设定值8.8.2 制程烘烤时间管控8.8.2.1开线点检制程参数设定中烘烤时间设定值8.8.3 PI 幻化率确认8.8.3.1确认烘烤后 PI 幻化率，频率：1 年/次，索取委外测试报告8.9特别处理(操作过程特别之回报与简洁的处理)特别工程机械操作危急处理程序马上按下EMO，并通知当班工程师 1.2.3.品质与安全留意事项操作机台时请先确认人员位置及安全在设备内保养或清洁时，需在明显处挂上警告标语，且须有另外一人以上才可进展修理区内有大量管路，在维修及行走时需特别留意破片处理通知当班工程师，表单点检机台特别断电通知当班工程师，表单点检当站工程师或相关工程师经判断假设认定为人员疏失时应于相关窗体字段勾选MO 报告工程， 要求当事者填写MO 报告停电发生时当电源还未复电 前，需先将机台的电源全部关闭以防续电时的强大瞬间电流5版权属于深圳市华星光电技术全部. 制止任何未经授权的使用The copyright belongs to Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd.Any unauthorized use is prohibited.机台报警通知当班工程师处理特别而导致机台受损RUN 货时，严禁开启各门窗9. 作业表单 Form: 撰写导引：文件当中所产生的作业表单或以参考相关部门的作业表单表单名称CELL 厂 PI CAPMO 设备点检表委外测试报告表单编号保存年限深圳市华星光电技术Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd文件编号版本V1.0文件名称CELL 厂 PI CAPMO 作业指导书制订部门制订者CELL/FEOL赵建君机密等级一般10. 参考文件 Reference Document: 撰写导引：需依据文件当中所参考的外部文件填写，需注明参考文件之名称及文件编号11. 附件 Attachment: 撰写导引：用以关心文件内容
