磷铝吸杂在多晶硅太阳电池中的应用.pdf
第6 Y卷!第6期6 H H 年6月!半!导!体!学!报(:4 D!D MSJ W?*#*1,J*&E:C/#-9*1+1U-C A%#C,&+1*,+%-1,-&#%*3&*#+&!+,#-*&1/%)&#&%*#+,A+%,E!-&#D 1*#9 C?&*#+&,&1/!-&#(*,X a a R G!6 _ _(O)!?&).-$/cK+T&%I?$*#(E K$W X%-A 9*#+1 9*.*%+T*A1*,+1T&#+-$,U-C%#C,&+1*,+%-1E!-&#D 1*#9 C?&*#+&,&1/!-&#(*,X a a _O Y!X 6 G()!7+&8$,)&1()*18+N-1 97+&1 9.$*&E W 1&C,+,.-#3*%)A&1+,3-.,-./&3&9*9*#+1 9 E J*,*&#%)&1/K#-9*#*,-.!-+/A!&*D *%#-1+%,6 H H H6 H!6 6 G&+1()+1*,*(夏玉山 陈一 宗祥福 等E软损伤吸杂作用机构的分析E固体电子学研究GOG半!导!体!学!报第6 Y卷与进展!6 H H H!6 H6 6 G#$Y#!+1 +1!*&E D.*%-.%&#B-1&1/1+#-9*1&-3,-C 9*1 U#*%+U+&+-1E()+1*,*-$#1&-.!*3+%-1/$%-#,!X a a a!6 H%6&X H _%+1()+1*,*&$刘培东!朱爱平!张锦心!等E碳和氮原子在氧沉淀中的作用E半导体学报!X a a a!6 H%6&X H _#$_#!c$1+%P+N0!+/+B*!?-#*E W$3+1$3 A I!2U#-.+*#*&A+*/B C/+.$,+-1+3 U&1&+-1&1/)*#3&1 1*&+1 9 E X O )D$A#-U*&1K)-T-&+%!-&#D 1*#9 C(-1.*#*1%*!X a a _ D D 9 H;MC 9P;A A;=H G I8 GC 8 9 E=B A?9 9 H G;1 8 9?=/;9 9 BN)&-:$+X!6!7$N)*1 9X!+7$/-1 96!+:&+1 96!7$8+1 96!N)&-8$F*16!&1/Q&1 9Q*1=+1 96%XP 9 K&K K#/Z I K#6#=K M&=7#=1 6 (?!A#&2&(4&.K (R&Q#M 9&K?!A#&2&(!X H H H O O!0 1&.&%6P 9 K&K K#/)6.MW#M(?!A#&2&(!X H H H R G!0 1&.&1$&#C6 H H O!#*T+,*/3&1$,%#+U#*%*+T*/6 OW U#+6 H H O$6 H H()+1*,*4 1,+$*-.D *%#-1+%,OOG
