(5.27)--4.16 霍尔式传感器机械测试技术.ppt

测试测试技术技术霍尔式传感器霍尔式传感器工作原理：工作原理：霍尔元件霍尔元件：一种半导体磁电转换元件。：一种半导体磁电转换元件。一般由锗（一般由锗（Ge）、锑化铟（）、锑化铟（InSb）、砷）、砷化铟（化铟（InAs）等半导体材料制成。）等半导体材料制成。霍尔效应霍尔效应测试测试技术技术霍尔效应霍尔效应：将霍尔元件置于磁场中，如果：将霍尔元件置于磁场中，如果在在a、b端通以电流，在端通以电流，在c、d端就会出现电端就会出现电位差。位差。霍尔效应霍尔效应测试测试技术技术霍尔电动势霍尔电动势：式中：式中：霍尔常数霍尔常数电流与磁场方向的夹角电流与磁场方向的夹角测试测试技术技术霍尔常数霍尔常数取决于材质、温度和元取决于材质、温度和元件尺寸。件尺寸。为了提高霍尔式传感器的灵敏度，为了提高霍尔式传感器的灵敏度，霍尔元件常制成霍尔元件常制成薄片薄片。一般电子迁移率远大于空穴迁移一般电子迁移率远大于空穴迁移率，所以制作霍尔元件常采用率，所以制作霍尔元件常采用N型型半导体材料，如锗半导体材料，如锗(Ge)、锑化、锑化铟铟(InSb)、砷化铟、砷化铟(InAs)等。等。测试测试技术技术霍尔元件由霍尔片、引脚和壳体霍尔元件由霍尔片、引脚和壳体组成。组成。外形外形结构结构符号符号霍尔元件霍尔元件测试测试技术技术结构简单结构简单工艺成熟工艺成熟寿命长寿命长体积小体积小线性度好线性度好频带宽频带宽霍尔传感器的特点霍尔传感器的特点测试测试技术技术应用实例应用实例测试测试技术技术钢丝绳断丝探测仪钢丝绳断丝探测仪测试测试技术技术转速测量转速测量测试测试技术技术1.了了解解霍霍尔尔式式传传感感器器的的工工作原理及特点作原理及特点2.掌掌握握霍霍尔尔式式传传感感器器的的工工程应用程应用教学小结教学小结