精密加工_第二讲__精密超精密加工课件.ppt
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1、精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 超精密加工是指被加工零件的尺寸精度为0.001m,加工表面粗糙度达Ra0.030.0051m数量级的加工技术。随着加工技术的发展,超精密加工的技术指标也在不断变化。 一般加工:精度1m左右,Ra0.20.8m; 精密加工:精度0.10.01m左右,Ra0.1m; 超精密加工:精度0.001m左右,Ra0.01m; 纳米加工:精度高于0.001m,Ra小于0.005m。超精密加工的主要方法有: 1)精密切削(金刚石刀具); 2)精密磨削; 3)纳米级加工; 超精密加工技术超精密加工技术精密与特种加工精密与特种加工HIGH ED
2、UCATION PRESS1.1.金刚石刀具超精密切削金刚石刀具超精密切削 金刚石刀具拥有很高的高温强度和硬度,而且材质细密,经过精细研磨,切削刃可磨得极为锋利,表面粗糙度值很小,因此可进行镜面切削。 金刚石刀具超精密切削主要用于加工铜、铝等有色金属,如高密度硬磁盘的铝合金基片、激光器的反射镜、复印机的硒鼓、光学平面镜,凹凸镜、抛物面镜等。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 2. 2.精密和镜面磨削精密和镜面磨削 磨削时尺寸精度和几何精度主要靠精密磨床保证,可达亚微米级精度(指精度为110-2m)。在某些超精密磨床上可磨出十纳米精度的工件。在精密磨床上使用细粒
3、度磨粒砂轮可磨削出Ra=0.10.05m的表面。使用金属结合剂砂轮的在线电解修整砂轮的镜面磨削技术可得到 Ra0.010.002m的镜面。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS3. 3.精密研磨和抛光精密研磨和抛光 精密研磨和抛光技术意指:使用超细粒度的自由磨料,在研具的作用和带动下加工表面,产生压痕和微裂纹,依次去除表面的微细突出处,加工出Ra0.010.02m的镜面。 超精密加工是以精密元件为加工对象。超精密加工必须具有稳定的加工环境,即必须在恒温、超净、防振等条件下进行。另外,精密测量是超精密加工的必要手段,否则无法判断加工精度。精密与特种加工精密与特种加工
4、HIGH EDUCATION PRESS 纳米(Nanometer),是一个长度单位,简写为nm。1nm=10-3m=10-9m。纳米技术是20世纪80年代末期诞生并在蓬勃发展的一种高新科学技术。纳米不仅是一个空间尺度上的概念,而且是一种新的思维方式,即生产过程越来越细,以至于在纳米尺度上直接由原子、分子的排布制造的具有特定功能的产品。1.纳米技术的含义 纳米技术是指纳米级(0.1100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。它将加工和测量精度从微米级提高到纳米级。2.纳米技术的主要内容 纳米技术是一门多学科交叉的高新技术,从基础研究角度来看,纳米技术包括:纳米生物学、纳米电子学、纳
5、米化学、纳米材料和纳米机械学等新学科。4 4、纳米加工技术、纳米加工技术精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS纳米级加工是指:加工精度高于10-3m,表面粗糙度 Ra小于0.005m,达到纳米级精度。包括纳米级 尺寸精度、纳米级几何形状精度和纳米级表面质量。纳米级加工方法包括:机械加工、化学腐蚀、能量束加 工、复合加工、扫描隧道显微加工等。纳米级机械加工方法包括:单晶金刚石刀具的超精密磨 削;金刚石砂轮和立方氮化硼砂轮的超精密磨削及 镜面磨削;衍磨和砂带抛光等固定磨料工具的加工;衍磨、抛光等自由磨料的加工等。 在达到纳米层次后,决非几何上的在达到纳米层次后,决非几
6、何上的“相似缩小相似缩小”,而出现一系列新现象和规律。量子效应、波动特性、微而出现一系列新现象和规律。量子效应、波动特性、微观涨落等不可忽略,甚至成为主导因素。观涨落等不可忽略,甚至成为主导因素。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS波及工件内层,可获得高精度和好表面质量。机理、特点精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS照像机塑料镜片、树脂隐形眼镜镜片等。镜片及光学元器件为主。镜片及光学元器件为主。应用精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS应用实例棱镜加工棱镜加工光学玻璃加工光学玻璃加工摄像头:要求下表面
7、能够很好的反光成像摄像头:要求下表面能够很好的反光成像精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS应用实例后视镜后视镜室外广角镜室外广角镜精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS金刚石刀具精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS金刚石刀具磨损的常见形式为机械磨损和破损。机械磨损机械摩擦、非常微小;破损本身裂纹、冲击和振动。刀具磨损直接影响到加工质量。(具体视加工材料而定)金刚石刀具只能安装在机床主轴转动非常平稳的高精度机床上使用。(不能有振动)。精
8、密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS金刚石车床加工4.5mm陶瓷球图图 金刚石车床及其加工照片金刚石车床及其加工照片精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS金刚石车床主要性能指标数控系统分辩率 /m40020050001000050000. 10.010. 2/1000. 10. 11/1502/100径向1140轴向1020640720最大车削直径和长度 /mm最高转速 r/min最大进给速度mm /min重复精度(2) / m主轴径向圆跳动 / m滑台运动的直线度 / m主轴前静压轴承(100mm)的刚度 /(N/m)主轴后静压轴承
9、(80mm)的刚度 /(N/m)纵横滑台的静压支承刚度 /(N/m)主轴轴向圆跳动 / m横滑台对主轴的垂直度 / m精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS精密切削加工精密切削加工 精密加工:加工精度为0.11um,表面粗糙度为0.020.1um。3、增强互换性、促进自动化装配应用。提高加工精度的好处:1、提高产品的性能与质量、稳定性和可靠性;2、促进产品的小型化;(集成线路、磁盘容量)精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 精密加工技术涉及内容广泛的综合性技术:精密机床设备和工具、稳定的加工环境、运用计算机技术的实时检测和反馈补偿等
10、。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS精密加工的关键技术:1、精密加工机床2、金刚石刀具3、精密切削机理5、误差补偿4、稳定的加工环境6、精密测量技术精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS精密加工机床精密加工机床 研究方向:提高机床主轴的回转精度、工作台的直线运动精度以及刀具的微量进给精度。(主轴轴承和导轨) 超精密级滚动轴承液体静压或空气静压轴承。金刚石刀具金刚石刀具 金刚石晶面选择、金刚石刀具刃口的圆弧半径。 先进国家达到纳米级,我国0.10.3um。精密切削机理精密切削机理 积屑瘤的形成、毛刺的产生、切削参数及加工条件等。需深
11、入研究以掌握其变化规律。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS稳定的加工环境稳定的加工环境 恒温(加工空间和机床本身)、防振、净化(高效过滤器)。误差补偿误差补偿 消除或抵消误差本身的影响。同时防止误差累计。(一直靠提高机床制造精度来提高工件精度会使成本大大增加)精密测量技术精密测量技术 高一个数量级、显微镜和激光干涉仪等。隧道显微镜分辨率达到0.1nm。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 精密切削研究最早从金刚石车削开始金刚石铣削金刚石镗削,来加工型面和内孔。刀具材料从金刚石刀具材料立方氮化硼、复合陶瓷等。精密与特种加工精密与特
12、种加工HIGH EDUCATION PRESS精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS精密加工的经济性: 过去尤其其昂贵的价格、高要求的加工环境在一定程度上限制精密加工的应用范围。 现在由于科学技术发展和生活水平的提高,精密加工深入到各个领域。机械制造业:加工工具、卡具、量具,发达国家已经开始零件的精密加工。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 精密机床是进行精密加工的首要条件。二战后美国首先发展了金刚石刀具精密切削技术。我国起步比较晚,20世纪60年代才开始发展精密机床。上海机床厂、武汉和重庆机床厂、北京机床研究所、航空精密机械研究
13、所为我国精密机床发展做出了相当的贡献。 我国由于起步晚、且从国外购进的精密机床受到保密技术的制约,与外国的差距较大。精密机床精密机床精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 普通机床主轴径向跳动通常为0.01mm,导轨平直度为0.02mm/1000mm; 精密机床主轴径向跳动通常为0.0030.005mm,导轨平直度为0.01mm/1000mm;精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 通常,加工设备的精度必须高于零件精度,通常高一个数量级。所以高精度工件的精度保证,取决于加工机床的精度。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCAT
14、ION PRESS 精密主轴部件是精密和超精密机床的关键部件之一,它的性能直接影响精密和超精密加工质量。 对主轴的要求:回转精度、转动平稳、无振动,其关键在于使用精密轴承。 液体静压轴承和空气静压轴承。液体静压轴承回转精度可达0.1m,且转动平稳,无振动。 主轴驱动方式直接影响精密和超精密机床的主轴回转精度。电动机通过带传动驱动、电动机通过柔性联轴器驱动机床主轴等。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 床身和导轨:具有尺寸稳定性好、热膨胀系数小、振动衰减能力强、耐磨性和加工工艺性好等。通常用优质耐磨铸铁(抗腐蚀能力不强,易生锈)、花岗岩(吸湿性、加工性不好)、人
15、造花岗岩等。 进给驱动系统:精密机床必须具有精密的进给驱动精度。 精密和超精密加工的精度由检测精度来保证的,为了消除误差,必须使用误差补偿技术。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS “蜕化”原则或“母性”原则:机床精度高于工件精度。(普通加工) “进化”原则或“创造性”原则:利用误差补偿技术(精密加工)。 现在国外生产的超精密机床,都装有双频激光随机检测系统,检测机床运动部件两个坐标方向的位移位置,和精密数控系统组成反馈控制系统,以保证加工的尺寸精度。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 刀架在横滑板5上,主轴箱在纵滑板6上。激光
16、测量系统的分辨率为0.01um,绝对测量精度小于0.1um。 精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 切削加工本质:切削加工本质:材料在刀具作用下产生剪切断裂、摩擦挤压和滑移变形等过程。 精密切削机理:精密切削机理:采用微量切削方法,对普通切削影响不显著的因素将成为影响精密切削的主要因素。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 超精密切削加工发展:20世纪60年代发展起来的新技术,在国防和尖端技术领域具有重要地位。 服从金属切削的普遍规律,但由于切削层极薄,所以又具有一定的特殊性。 (1)切削用的金刚石刀具的刀刃极为锋利,切削温度低,
17、切削速度对金刚石刀具的磨损影响甚微。 (2)积屑瘤方面,在普通切削时使刀具实际切削前角增大,切削力下降。超精密切削中积屑瘤使金刚石刀具的刃口半径显著增加,实际切削厚度增大,工件、切屑、刀具间的摩擦加剧,从而切削力明显增大,加工表面质量严重恶化。超精密切削超精密切削精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS(3)切削力方面,在普通切削时主切削力大于径向切削力;而超精密切削则相反。(4)工件材料对超精密切削有重要影响。如:工件表面的不纯物(形成空穴和划伤)、结晶的晶界出现阶梯、工件有残留变形和残留应力、对金刚石刀具的亲和性,产生粘结现象等。精密与特种加工精密与特种加工HI
18、GH EDUCATION PRESS美国:加工材料从铜铝扩展到难切削材料和非金属硬脆材料的研究、加工方式从切削扩展到开发带有检测反馈的超精密技术及最终表面涂层处理技术的综合研究。日本:高密度高能量的粒子束加工的研究和开发、以三维曲面加工为主的高性能超精密加工技术及三维超精密检测技术和加工环境的控制技术。发展方向:1、基本理论和工艺;2、设备的精度、动态性及热稳定性;3、精度检测和误差补偿;4、环境控制技术;5、加工材料。发展展望发展展望精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS要求:1 0.01 实现方法:大、小恒温间+局部恒温(恒温罩,恒温油喷淋)要求:相对湿度35
19、%45%,波动10% 1% 实现方法:采用空气调节系统 要求:10000100级(100级系指每立方英尺空气中所含大于0.5m尘埃个数不超过100) 实现方法:采用空气过滤器,送入洁净空气要求:消除内部、隔绝外部振动干扰 实现方法:隔振地基,隔振垫层,空气弹簧隔振器 q 精密与超精密加工环境精密与超精密加工环境精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS精密磨削加工 磨削是一种常用的半精加工和精加工方法,砂轮是磨削的主要工具。特点:1、可加工一般结构材料:铸铁、碳钢、合金钢;难以切削高硬度材料:淬火钢、硬质合金、陶瓷、玻璃等。2、精度高、表面粗糙度小:IT5及以上,Ra
20、为1.250.01um精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS3、径向作用力大且作用在工艺系统刚性?较差的方向上。(细长轴)(细长轴)4、磨削的温度高,磨削产生的切削热多:80%90%传入工件(10%15%传入砂轮,1%10%由磨屑带走)。在磨削区形成瞬时高温,易造成工件表面烧伤和微裂纹。故应大量采用切削液来降低磨削温度。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS6、磨削加工的工艺范围广:外圆面、内圆面、平面等。各种刀具的刃磨。7、磨削在切削加工中的应用比例增大:发达国家占到30%40%。5、砂轮有自锐作用:磨粒破碎,形成新的菱角;磨粒脱落
21、露出新的磨粒。区别于其它切削刀具。砂轮磨削一段时间后需修整(磨粒脱落的不均匀性、磨屑和破磨粒脱落的不均匀性、磨屑和破碎的磨粒造成堵塞碎的磨粒造成堵塞)。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 精密磨削加工:细粒度的磨粒或微粉、高精度小表面粗糙度值。是利用微小的多刃刀具去除细微切屑的一种加工方法。一般指砂轮磨削和砂带磨削。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS分类:研磨、超精加工、珩磨、抛光等等。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 精密砂轮磨削是利用精细修整粒度为60# 80#的砂轮进行磨削,其加工精度
22、可达0.11 m、表面粗糙度值Ra可达0.20.025 m。超精密砂轮磨削是利用经过精细修整的粒度为W40W50 的砂轮进行磨削,可以获得加工精度为0.1 m ,表面粗糙度Ra为0.0250.008 m的加工表面。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS1、磨粒是不规则的菱形,在砂轮表面随机分布。一般只有10%的磨粒参与切屑。磨粒的微刃性和等高性好,获得的表面粗糙度值小。磨削加工机理磨削加工机理磨粒承受压力不同呈现四种切削形态磨粒承受压力不同呈现四种切削形态精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 2、磨粒具有较好的微刃性微刃性(即磨粒产
23、生微细的破碎,而且形成细而多的切削刃)。这种砂轮磨削时,同时参加切削的刃口增多,深度减小,微刃的微切削作用形成了小粗糙度值的表面。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS 微刃是由砂轮的精细修整形成的,分布在砂轮表层的同一深度上的微刃数量多,等高性好等高性好(即细而多的切削刃具有平坦的表面),如图3.6 所示。由于加工表面的残留高度极小,因而形成了小的表面粗糙度值。精密与特种加工精密与特种加工HIGH EDUCATION PRESS3、磨削力 单个磨粒切除的材料虽然很少,但一个砂轮表面层有大量磨粒同时工作,而且磨粒的工作角度很不合理,绝大多数为负前角切削,因此总的磨
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