一种光纤用高纯四氯化硅的集中分配系统.docx
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文档word格式，可根据实际情况编辑修改一种光纤用高纯四氯化硅的集中分配系统（19）中华人民共和国国家知识产权局（12）实用新型专利（10）申请公布号CN1U（43）申请公布日（21）申请号（22）申请日（71）申请人武汉新硅科技潜江有限公司地址433100湖北省潜江市经济开发区盐化一路西37号（72）发明人罗全安;何寿林（74）专利代理机构代理人（51）权利要求说明书说明书幅图（54）发明名称一种光纤用高纯四氯化硅的集中分配系统（57）摘要本实用新型涉及一种光纤用高纯四氯化硅的集中分配系统，包括第一主管道、第二主管道以及三通阀V1V10；所述第一主管道的顶端安装有一三通阀V1，底端通过一二通阀V6和第二主管道对接；所述第一主管道上还连接有三通阀V2、三通阀V3、三通阀V4和三通阀V5；所述第二主管道上连接有三通阀V7、三通阀V8和三通阀V9；所述三通阀V1V10上分别连接有两根管道。本实用新型方便地实现了吹扫、检测、吹净2精选文档
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