8月微纳电子技术卷期中国半导体行业协会 .docx

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1、精品名师归纳总结“微纳电子技术 ” 2021年第 11 期专家论坛P621-InP 中的深能级杂质与缺陷 续纳 M 器件与技术P627-GeSi/Si 共振隧穿二极管P635- 小发散角量子阱激光器争论纳 M 材料与结构P639-MOCVD生长高 Al 组分 AlGaN 材料争论P643- 透亮导电薄膜对太阳能平板集热器性能的影响MEMS 器件与技术P647-RF MEMS开关的进呈现状P654-Research Progress of Passive Micromixers显微、测量、微细加工技术与设备P662- 扫描近场光学显微镜中探针样品间距掌握方法P668-CMP 承载器的初步争论微电

2、子器件与技术P672- 高亮度发光二极管封装用透镜胶争论进展P677-RFID 中 EEPROM 时序及掌握电路设计市场Invensense 公司获得 1 900 万美元 C 系列基金Yole 报告 2021 年轻引擎和微微投影仪市场手机 MEMS 产业的机遇美新孙聂枫 1，赵有文 2，孙同年 11. 中国电子科技集团公司第十三争论所专用集成电路国家重点试验室， 石家庄 050051 。 2. 中国科学院半导体争论所，北京100083 ）纳 M 器件与技术P627-GeSi/Si 共振隧穿二极管郭维廉 1,2,31. 天津工业高校信息与通讯学院，天津300160 。 2. 专用集成电路国家重点

3、试验室， 石家庄 050051 。 3. 天津高校电子信息工程学院，天津300072 ）摘要： GeSi/Si 共振隧穿二极管主要包括空穴型GeSi/SiRTD、应力型GeSi/SiRTD 和 GeSi/Si 带间共振隧穿二极管三种结构。着重争论了后两种 GeSi/Si 基 RTD 结构。指出 GeSi/Si 异质结的能带偏差主要发生在二者价带之间 Ec），形成的电子势阱很浅，因此适用于空穴型 RTD 的研制。 n 型带内 RTD 只有通过应力 Si 或应力 GeSi 来实现，这种应力型 RTD 为带内 RTD 的主要结构。而带间 GeSi/SiRITD 就将成为更有应用前景的、性能较好的Ge

4、Si/Si RTD 器件结构。关键词： GeSi/Si 共振隧穿二极管。 GeSi/Si 异质结。 GeSi/Si 带间共振隧穿二极管。能带结构。材料结构P635-小发散角量子阱激光器争论李雅静 1,2，安振峰 2，陈国鹰 1，王晓燕 2 ，赵润 2 ，杜伟华 1,2，王薇 1,21. 河北工业高校信息工程学院，天津300130 。2. 中国电子科技集团公司第十三争论所，石家庄050051 ）摘要： 使用三层平板波导理论分析了半导体量子阱激光器远场分布。针对大功率激光器争论了极窄和模式扩展波导结构方法减小垂直方向远场 发散角，得到了极窄波导结构量子阱激光器远场分布的简化模型，获得 了垂直发散角

5、的理论值，垂直方向远场发散角减小为28.6 。使用传输矩阵方法模拟了模式扩展波导结构量子阱激光器的近场光斑及远场分 布，垂直方向远场发散角减小为16。试验测试了极窄和模式扩展波导结构量子阱激光器的垂直发散角，理论结果与试验测试获得的发散角 基本一样，实现了降低发散角的要求，获得了小发散角量子阱激光器。可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结关键词： 量子阱激光器。极窄波导。模式扩展。波导结构。发散角纳 M 材料与结构P639-MOCVD生长高 Al 组分 AlGaN 材料争论刘波，袁凤坡，尹甲运，刘英斌，冯震，冯志宏专用集成电路国家级重点试验室,石家庄 050051）摘要： 报道了用

6、MOCVD 在蓝宝石衬底上生长日盲型AlGaN 基紫外探测器用的高质量 AlN、AlGaN 材料。通过优化 AlN、AlGaN生长的工艺条件，如生长温度、生长压力及/比等，得到了器件级高质量的AlN 、AlGaN 外延材料。 AlN 外延膜 X 射线双晶衍射 002 ）面扫描曲线半高宽为 97 ，102 ）面扫描曲线半高宽为 870 ， Al0.6Ga0.4N 外延膜双晶衍射 002 ）面扫描曲线半高宽为240 。使用原子力显微镜AFM ）对两种样品 5 m5 m 区域的表面平整度进行了表征， AlN 外延膜的粗糙度 摘要： 在介绍透亮导电薄膜光学性质的基础上，分别争论了不怜悯形下，太阳能平板

7、集热器盖板采纳镀有透亮导电薄膜的玻璃对集热器的光热转换效率和保温性能的影响。结果说明，当集热器吸热板表面没有掩盖挑选性吸取涂层 ,在盖板玻璃下表面镀有透亮导电薄膜可以在肯定温度范畴内提高集热器的转换效率和保温性能，而当吸热板已掩盖有挑选性吸取涂层时，盖板玻璃再镀透亮导电薄膜，集热器辐射热损就削减很少，甚至不足以补偿由于玻璃透过率降低而增加的光反射缺失，在这种情形下，盖板不宜再采纳镀有透亮导电薄膜的玻璃。关键词： 透亮导电薄膜。挑选性涂层。光学特性。平板集热器。热效率可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结MEMS 器件与技术P647-RF MEMS开关的进呈现状严春早，许高斌，叶刘晓A

8、bstract： Ageneralreviewismadeonresearchofpassive micromixers,includingtypicalmixingelementprinciples,mixer configurations,microfabricationsandnumericalsimulations.Somemain passivemicromixingprinciples,suchasthemulti-laminating,chaotic advection,split-recombining， fluidtwistingandflattening,andthe ci

9、rculationflowarestudied,respectively.Emphasesare put on the micromixers using combined mixing principle to achieve high mixingefficiencyin low Re regime.Thesemixers generallyimprovethe mixing efficiencyby othersimpleoutside effects,suchas using the centrifugal force,geometry constriction and three-i

10、nlet structure,multi-inlet structure to increaseflows periodically.Asthe requestof low Re and high viscosity growing,moreand more attentionis paid on the design and researchof combined SAR micromixers,in which the split-recombining elements cancauserotationof fluid and the geometryconstrictionstruct

11、ureadopted can cut down the diffusion distance at the same time.These dramatically improvethe mixingefficiency,howevermakethe microfabricationmore可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结difficult.Key words ： passive micromixer 。mixing principles 。high mixing efficiency 。multi-lamination 。chaotic advection 。split-re

12、combining.显微、测量、微细加工技术与设备P662- 扫描近场光学显微镜中探针样品间距掌握方法王昭，吴世法大连理工高校近场光学与纳M技术争论所，辽宁大连116024）摘要： 在动态原子力与近场光学扫描显微镜中，探针与样品的间距关系到辨论率以及扫描速度这两个最重要参数的性能。在对几种主要的动态 原子力 /扫描近场光学组合显微镜的探针/样品间距掌握模式分析的基础上，认为提高探针 Q 值是提高扫描显微镜辨论率的有效方法。但是， 对采纳检测掌握探针振幅模式，期望在提高辨论率的同时加快扫描成像 速度是不行实现的，因而限制了其进展的空间。而在检测掌握探针频率 模式下，提高探针 Q 值，可有效提高扫

13、描探针显微镜的辨论率，且不会制约扫描成像速度的提高。该结论为将来的纳M 操作和纳 M 超高密度光储备的有用化供应了可能，对大连理工高校近场光学与纳 M 技术争论所研制的原子力与光子扫描隧道组合显微镜 AF/PSTM ）的改进和产业化具有积极意义。关键词： 动态原子力显微镜。近场扫描光学显微镜。间距掌握。掌握模式。扫描速度。辨论率P668-CMP 承载器的初步争论周国安 , 柳滨, 王学军 , 种宝春 , 詹阳中国电子科技集团公司第四十五争论所，北京101601）摘要： 在 CMP 中，由于抛光垫在与其接触的晶圆边缘产生反常压力点，以及转台和承载器旋转的线速度之差在边缘处较其他点大得多，从 而导

14、致了晶圆边缘效应的产生。阐述了承载器在CMP 中的作用，具体分析了边缘效应产生的缘由和克服的方法。在承载器上采纳与晶圆保持 适当间隙的保持环结构，对保持环施加适当的压力，使保持环和晶圆位 于同一抛光平面上。针对旋转式CMP 设备固有的线速度之差导致片内非匀称性增大的问题， 对 200 mm 晶圆划分两区域进行微压力补偿， 同时具体说明白压力补偿气路的设计和实现的功能，指出今后多区域微可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结压力补偿将采纳矩阵掌握技术。关键词： 化学机械平整化。边缘效应。多区域掌握。承载器。保持环微电子器件与技术P672- 高亮度发光二极管封装用透镜胶争论进展张文飞 ,

15、贺英，谌小斑上海高校材料科学与工程学院高分子材料系, 上海 202100）摘要： 大功率 LED 的发光强度大，产生的热量多，其产生的短波光辐射也比小功率发光二极管大，对LED 封装材料提出了新的要求。综述了发光二极管封装用透镜胶的争论现状，依据发光二极管对高分子封装 材料研发的要求，着重介绍了国内外为提高有机硅封装材料的导热性、 耐热性、透光性以及耐紫外线辐射和关于材料折射率的调剂方法等方面 所做的最新争论成果和现状。对透镜胶研发过程中的重点和难点进行了 分析，认为找到合适的填料和合适的方法把填料填入有机硅基体，或者 在有机硅聚合物链上引入某些基团来改善封装材料的性能是研发的关键。关键词：

16、发光二极管。封装胶。有机硅。导热性。透亮性。折光率P677-RFID 中 EEPROM 时序及掌握电路设计程兆贤，戴宇杰，张小兴，吕英杰，樊勃南开高校微电子所，天津300457）摘要： RFID 系统对电子标签中的储备器有着不同于传统储备器的要求。依据这一特点进一步简化了EEPROM 的时序掌握，提出了一种适用于 RFID 系统中 EEPROM 电路的时序，并在此基础上设计了用于电子标签完成读卡器要执行的命令和对处理数据储备的掌握电路，使操作变得更加便利。该电路设计基于0.35 m CMOS 工艺, 电源电压为 3.3 V，仿真结果显示 ,3.3 V 电源供电时，擦写编程电流为 45 A，读数

17、据工作电流为 3 A，读数据周期为 300 ns，具有低功耗、高速度的特性。关键词： 射频识别卡。电可擦可编程只读储备器。时序。掌握电路。模拟仿真市场可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结Invensense 公司获得 1 900 万美元 C 系列基金消费应用的移动传感解决方案供应商Invensense有限公司宣布获得 1 900 万美元C 系列风险投资资金。这轮募集活动由新投资商SierraVentures领头， 参加者包括 AetimanVentures 、 Partech International及 QualcommVentures 等公司。一些战略投资商也参加了 C 系列投

18、资，包括 Foxconn 和 InventecAppliancesCorp 、Skylake Ventures、 NTTDoCoMo、 DoCoMoCapital及 VentureTech Alliance 。Sierra Ventures公司的总监 Ben Yu 将加入 Invensense 董事会。这轮募集将使目前 Invensense 的总资金达到 3 800 万美元。投资资金的最新注入将加快公司下一阶段的成长，以促进公司业务的开展和产品战略的形成。 Invensense将扩展其销售业务来支持新消费者，并将开发出一系列世界一流的基于多轴嵌入式智能陀螺仪和加速度计的集成移动传感解决新方案。

19、这些产品将致力于满意便携式消费者电子产品市场快速增长的需求，在下一代应用中增加很多技术创新点，如3D 嬉戏和触摸屏移动手机。Yole 报告 2021 年轻引擎和微微投影仪市场Yole Dveloppement公司和 Chipworks公司联合发表了一系列关于轻引擎和微微投影仪市场、德州仪器公司新DLP 器件技术的报告。其次个来自 Chipworks公司的报告分析了从前一代和当前一代DLP 器件之间的不同之处，并强调了TI 在晶圆级封装和像素大小上所取得的进展。到目前为止，德州仪器公司始终主导着基于MEMS 技术的显示器市场，估量其销售额已超过800 亿美元。 TI 的销售额主要由投影仪市场驱动

20、，而用于RPTV 背投电视）的器件正在努力实现LCD 和 PDP 技术。Chipworks技术情报事业部领导者、公司副总裁Gary Tomkins 讲到， 他们通过拒用陶瓷封装实现了封装成本的降低，并且通过缩小微镜的物理尺寸削减了晶圆的利用。 TI 的研发部门始终在努力保持其竞争力， TIDLP 技术具有制造一个全新的微微投影仪市场空间的潜力。为了达到这一目标，技术必需朝进一步降低成本和实现更小的晶圆级封装的方向迈进。依据 Yole Dveloppement的逆向成本分析， TI 的新 WLP 方法将可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结使 成 本 降 低 50% 从 400美 元

21、降 到 200美 元 ） 。 YoleD veloppement ，Micronews 主编 Eric Mounier 博士说：“这并不会挫伤进入该市场的新投资者的积极性！这些解决方案将有望实现成本更低、体积更小的器件进入微微投影仪市场。”新 Yole 报告“轻引擎和微微投影仪市场”对每个应用都需要综合采纳 MEMS 和固态照明技术）从市场和产业链角度进行了描述，涉及的应用包括RPTV 、微微投影仪、 HUDs 、HMDs 、条码读取器和微光谱仪。报告也叙述了目前用于混合固态照明和MOEMS的策略，解决了一些公开的技术问题，争论了一些如封装、热治理、性价比、绿色激 光器寿命和市场切入点等问题。

22、手机 MEMS 产业的机遇手机产业：目前手机产业被视为将来5 年内 MEMS 器件进展的最大机遇。现在尚未找到关于MEMS 传感器和执行器合适的工程以渗透到整个无绳电话市场，但是其他10 多种器件已经处于蓬勃进展的阶段，如 2003 年上市的硅麦克风和 FBAR/BAW滤波器上涨趋势强劲， 已经进入进展成熟阶段。 MEMS加速仪估量会沿袭同样的进展路线， 其他五种 MEMS 产品如微自动对焦、微变焦、陀螺仪和压控变容器现在都处于起始阶段。搂氏声学公司 KnowlesAcoustics ）的 MEMS 麦克风自 2003 年上 市 起 一 直 保 持 着 良 好 的 增 长 势 头 ， 安 华

23、高 科 技 Avago Technologies ）的 FBAR 双工器技术在 WCDMA前端组件中的快速应 用，都不失为 MEMS器件成为功能性替代产品的胜利典范。Yole D veloppement公司对每种新型潜力产品都做了具体的分析，勘察了MEMS 领衔企业如何定位，从而在活跃的无绳手机市场猎取最大利润。 结果显示， Siimple 公司致力于微自动对焦， 德国爱普科斯EPCOS ）和 Wispry 专心于压控变容器，德国斯迪姆 STM ）、美国模 拟 器 件公 司 ADI ） 、 德 国博 世 Bosch ） 、 美 国 Kionix 和InvenSense 就看好惯性集成。MEMS

24、 面临着复杂的无绳手机产业挑战。一方面 MEMS 制造商都关注价格、功率和规格的恰当定位以便更好的进入手机产品市场。同时也面临着庞大的挑战，即如何做好产品规划以确保有效的将其 MEMS 器件应用到无绳手机中。此外，无绳手机制造商目前面临的 MEMS 产品研发周期与 IC 产品极为不同，迫切期望找到可以信任的 MEMS 合作可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结伙伴从而实现他们的 MEMS 手机产品蓝图。Yole Dveloppement公司猜测手机市场MEMS 组件 CAGR 增长率约为 40% 。2007 年仅硅麦克风、 FBAR/BAW滤波器和加速仪三种MEMS 器件在手机市场中

25、的销售收益总额就已达4.4 亿美元，到 2021年市场销售收益额有望超过 25 亿美元。销售收益额的增长点主要在于新开发的替代产品和新增功能。估量MEMS 器件将成为手机产业研发新产品的主要动力。估量到2021 年， 新产品将占 MEMS 市场总份额的 60% 。2021 年 7 月 Yole Dveloppement公司发布了用于无绳手机的 MEMS 器件专项报告。该报告主要关注MEMS 器件在手机产品应用中的扩展情形以及搂氏声学公司KnowlesAcoustics ）和安华高科技AvagoTechnologies ）等领衔企业如何使其销售额由100 万美元跃为5 000 万美元。加速仪市场

26、：据 Yole Dveloppement公司分析自 2003 年内置多轴加速仪的日本三菱手机 Mitsubishi ）首次上市以来，业绩平平，直到2007 年市场才有了活力。现在 MEMS 加速仪手机应用市场增长最快，2006 2021 年 CAGR 增长率将超过 150% ，到 2021 年将占 MEMS 加速仪市场总销售份额的55% 。随着技术的进展手机增加了很多其他功能，如步程计、图像转换功能、嬉戏和硬盘爱护系统。过去的一年半中发生了两件重大大事：手机和嬉戏产业极大推动了动态传感器件的发 展，任天堂 Nintendo ）凭借 Wii 和其新型动态传感无线手柄为该产业的进展铺平了道路。手机

27、和嬉戏手柄开头采纳动态传感器融合技术：日 本索尼 Sony ） PS3 嬉戏手柄融合了三维加速仪和陀螺仪，日本夏普Sharp ）手机内置了 3D 磁力计。几乎全部的动态传感产品都要用到三维加速仪，因此消费加速仪市场目前处于进展初期。期望值较大的制造商如 ADI 估量在将来 5 年内手机装配率增长将超过 50% 。设计师把加速仪安装到一个高端的移动装置上，改善了用户的界面性能。不过，加速仪作为主要的驱动仪器安装到低端手机听筒 上功能就完全不同了，比如可构成智能电源治理系统。日本与其他国家的手机技术具有很大差异，他们的三维加速仪配置速率也不同。日本的技术应用范畴相对较广，但仍没有成为行业标准。 苹

28、果凭借其产品文雅的外观设计和良好的工作性能，胜利的抓住了顾客，以上两点也是当今手机MEMS 加速仪的流行趋势。苹果手机刚刚上市一周年， iPhone能否为真正的特洛伊木马搭起平台，在将来几个可编辑资料 - - - 欢迎下载精品名师归纳总结月内加速其他无绳手机的转型，人们将拭目以待。手机加速仪正处于蓬勃的进展时期，其将来如何将取决于手机制造商和通信运营商能否利用它取得较好的业绩。其他6 种 MEMS 器件在不久的将来也将面临同样的挑战。近期Yole Dveloppement公司始终关注这个复杂而又布满活力的产业，并在七月发布了最新的题为“ 2021 年手机 MEMS ”市场调查报告。美新MEMS

29、IC ）公布 2021 年第一季度财政总况美新MEMSIC ）第 1 季度收益为 630 万美元，与 2007 年相比同期增长了 45% 。GAAP 第一季度净收益为 150 万美元，与 2007 年相比同期增长了 97% 。MEMS 器件供应商美新公司是第一家采纳标准COMS 工艺流程把微机械系统和混合信号处理电路结合到一块芯片上的公司。2021 年 3 月31 日公司公布了第一季度的财政总况，第一季度收益为630 万美元， 与 2007 年相比同期增长了 45% 。 GAAP 第一季度净收益为 150 万美元， 2007 年第一季度的净收益为 77.9 万美元。不以 GAAP 为准，即不包括约 33.9 万美元的股份鼓励费用，净收益为190 万美元。 2007 年第一季度不以 GAAP为准，即不包括5.7 万美元的股份鼓励费用，净收益为 83.6 万美元。 2021 年其次季度，美新估量收益在700 730 万美元，其中不包括奥运火炬工程相关的收益，追加的订单收益包括在第三季度内。可编辑资料 - - - 欢迎下载