半导体物理学ppt-刘恩科-课件(PPT演示).ppt
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2、科,微电子学简介:,半导体概要,微电子学研究领域,半导体器件物理集成电路工艺集成电路设计和测试,微电子学发展的特点,向高集成度、低功耗、高性能高可靠性电路方向发展与其它学科互相渗透,形成新的学科领域: 光电集成、MEMS、生物芯片,半导体概要,固体材料分成:超导体、导体、半导体、绝缘体,什么是半导体?,半导体及其基本特性,半导体中的电子状态半导体中杂质和缺陷能级半导体中载流子的统计分布半导体的导电性非平衡载流子pn结金属和半导体的接触半导体表面与MIS结构,半导体物理学,半导体的纯度和结构,纯度极高,杂质0, Qs0, Qs2 F, Strong inversion,MIS结构的基本公式,MOS结构的基本公式-1,总电势差:,平带,Flat Band Voltage,MIS电容,MIS电容,电容的定义:,MIS电容-2,积累态:耗尽态:,MIS电容-3,反型,实验结果,深耗尽,从耗尽扫描到反型时, 需要少子,
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