镀膜设备的维护与保养(共12页).doc

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1、精选优质文档-倾情为你奉上第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。 1.有完善的制度和设备的使用操作规程。A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详

2、细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。并在培训完后考核合格上岗。（附样本说明书）C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。）现场清理工作。（附作业指导书苑本）D、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那天起就应该记录设备的一些重要参数。（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维

3、修记录）E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表）F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。（附表）可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。 2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。二、设备的维护，要有日常维护和定期维护。1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。发现

4、机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间在维护，可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等。2.定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗？其实每一种设备都有自己使用寿命，比如扩散泵用的硅油使用寿命为2年左右，我就规定1年半就把它换掉，这样做是不是浪费，我觉的不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低，生产效率也提高了。三、设备保养和维修最重要的是讲究“

5、细心”二字，每一个师傅努力要求自己做到“我办事，你放心”，也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑。做好这一点可少走很多弯路，我想在坐每位师傅都深有体会。其次是要善于分析现象,不能盲目地拆卸。说到这里，很多人都遇到过真空部分的漏气的问题，真空部分出了问题比较麻烦，再加上很多公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。真空抽不上去原因可能有以下几点：1.也许是漏率偏高就是我们常说的有漏气;2.也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了；3.也许是真空室内太脏放气;4.真空室有漏水;5.抽空管道有漏气；或者是这几种可能都有。出现问题，首先是要判断，是不是拆装过东西？会不会漏水？阀门打开了吗？根据现象

6、判断原因，然后再去根据判断找问题，可能会收到事半功倍的效果。四，养成良好的卫生习惯。我们时常看到有些厂的设备，是灰尘满面，油渍不堪。也许很多人都是认为，设备只要能做就可以了，搞得再干净也是做表面工作。我可是这样认为的，一个人连表面工作都做不来，那真的还有内在、实在的工作吗？当然设备及设备周边的灰尘，油污对设备的本身影响也是相当之大的。灰尘的能产生静电，损坏电子元件。油污能使电线水管硬化开裂，造成一些意想不到问题出现。特别我们使用的真空设备，真空设备还有他本身的特殊性。真空设备讲究是一个真空洁净度，真空洁净度越差，放气性就越大。这样使我们抽到较高的真空度所需的时间就越长，或者根本没办法抽到。这样

7、一来减少我们产量，二来影响到了我们产品的质量。军队里有一句很时髦的话,要像对待自己眼睛一样爱护武器,我们今天要倡议, 要对待自己武器一样爱护设备。因为设备是我们的生产工具，是我们赚钱的武器。 第二章真空镀膜设备维护与保养一、真空材料的使用和选择。二、真空系统的保养。1、旋片真空泵的原理、结构、使用与维修1.1、旋片真空泵的使用A、使用前，应仔细产品使用说明书，开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气品防护件。按要求安装，接线，试转向。水泠泵接水。 B、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放

8、出。C、判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常是反向。E、如在泵口配装带充气电磁阀，一般应横装，并与泵同时动作。F、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。G、按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换入酯类真空泵油。H、检查泵的极限压力以压缩式水银真空计为准。全压力计应注意做好计与规管的配对校准和备用比对规管。建议在规管与被测泵之间装一球阀。不测时关阀，可延长规管使用时间。1.2、旋片真空泵的维修A、首先要了解泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，

9、确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。B、判断故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。C、排除故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。D、有毒有害，有腐蚀性的泵，应请用户先行清洗，关告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。E、故障分类：建议把故障分为运转故障和性能故障。运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油，气镇性能等不达标或不能满足要求。1.3、故障判断与诊断

10、例举A、泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。a、泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。b、不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多（加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中）；有异物在泵内（进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑）；旋片变形卡住；发生了咬合（铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承）。B、泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使用权泵油的饱和蒸汽压

11、升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨胀使运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入中压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。C、漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀（例如2X-8）等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。D、漏水。可以发生在水

12、管头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。E、最大功率超标。可由长期连续工作入口压力太高、排气压力太高、杂物进入发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。F、极限压力不过标。可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等到可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。外漏较多时、排气口可看白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排气口上感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于

13、新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀等平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。若无效，要检查仪表。若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换油，必要时请

14、洗油箱。有些泵，在级间气道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵液排出。极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。用经校准的热偶真 极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。G、噪声。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。H、喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况，挡油板的设计、安装，排气口部分的减雾器、挡油帽、油气分离器，油位的高低，进油量的大小，

15、都会影响泵的喷油，泵口敞开油大气时，直联泵排气口的气流速度可以高达30M/S，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。1.4、其他，有些泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有消雾器，有入口过滤器（防油蒸汽返流用），有入口灰尘过滤器等部件或附件，也要进行检查。油泵失效将使泵的润滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功率加大，损坏电机，入口过滤失效可使进气阻力增大，抽速下降，抽气效率下降。1.5、清洗。不宜浸洗，以免洗液进入拼接转子内部，不易排出。1.6、拆装。要按照使用说明书推荐和规定有序进行，记好位置，合理摆放，以免错装。 2、油扩散泵的保养与维修2.1

16、、油扩散泵安装时应垂直放置，使泵内泵芯部件处于正常工作状态。各橡胶密封处应密封可靠。2.2、油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通，泵内处于约1帕的真空状态下方可加热。2.3、油扩散泵停止工作时，泵内应避免放入大气，以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量，特别应禁止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气，以免泵油氧化。2.4、油扩散泵长期存放，最好抽成真空，以防止泵油污染和各零件腐蚀，并应吹净冷却水管和水套的余水。2.5、被抽气体应是干燥，无腐蚀，无灰尘的室温状态下的气体。2.6、泵正常工作时性能突然变坏，应检查加热器是否短路。2.7、在长期工作后，泵性能逐渐变坏，应检查油量是否减少或氧化，以便增添油量或清洗后烘

17、干换新油。2.8、一次装卸后，如性能上不去，可检查是否密封可靠或装配不当。2.9、操作过程中，应注意扩散泵的前级机械泵的工作是否正常，一般机械泵的极限压力应比泵前级压力低于一个数量级，当机械泵性能变坏后直接影响油扩散泵的正常工作。2.10、对用泵芯采用拉申旋压形成的中小型泵，第一级喷嘴帽轻轻旋紧，应防泵芯受重压变形。3、真空室内部件的保养与维修1 维护部分 1.1、机械真空泵的维护和保养： （1） 泵及其四周环境应经常保持清洁。 （2） 泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。 （3） 不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。 （4） 泵在使用中温升不能超过70。 （5） 新泵在使用10

18、0 h左右应换12次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期限。 （6） 新泵和修理后的泵应现作运转试验46 h，检查泵是否符合使用要求。 （7） 泵使用较长时间以后（23年不等），极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。 （8） 泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管道（关低真空阀或夹真空夹），防止喷油，污染工作场地。 （9） 泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。 （10）泵不用时，应用橡皮塞（帽）把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落

19、入泵内。 以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。 1.2、整套设备的日常维护： （1） 操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。 （2） 冷却水水压应保持0.180.2 Mpa之间，出水温度45。 （3） 压缩空气压力在0.50.7Mpa之间。 （4） 每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。 （5） 开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。 （6） 经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。 （7） 设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。 （8） 机械泵、

20、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。 （9） 扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。 （10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。 （11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。 （12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。 （13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。 （14）设备的整机电压要保证在350420 V范围内。三相要平衡。 （15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之

21、间形成一层油膜，防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。 （16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。 （17）设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。 （18） 设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在1040。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。 （19） 设备在工作时，操作人员不4、处理真空度抽不高和抽速太慢不稳的方法常见问题与解答问题原因解决方法真空管路或系统内返油1.油蒸汽返流至真空管路或系统中2.油蒸汽压不对 3.停泵时，油返流4.截流阀板上的密封件损坏5.抽气管路底部密封件腐蚀或损坏1

22、.清洗泵后换符合要求的油2.清洗泵后换符合要求的油3.检查并更换截流阀4.更换截流阀板5.更换抽气管路，修理密封件系统工作时温度过高1.缺油2.抽气口与排气口错误连接3.供油管线堵塞4.油泵出现问题5.油泵中外来物堵塞6.环境温度达到或超过油蒸汽压7.油蒸汽压低于指标8.工作气体温度过高1.加油2.抽气管线与抽气口连接3.断开泵连接，清洗并更换符合要求的油4.修理或更换油泵5.清理油泵6.降低环境温度并注意空气流通7.更换符合要求的泵油8.更改工艺或加冷却系统排出废气在泵附近泄漏1.排气口O型密封圈损坏2.油箱表面密封垫损坏3.泵体表面密封垫损坏1.更换新型密封圈2.更换油箱表面密封垫3.更换

23、泵体表面密封垫烟尘或油雾过重1.油量过多2.气镇阀开启3.滤油网损坏1.减少油量2.关闭气镇阀3.更换滤油网油颜色变深或浑浊1.油在肮脏工艺过程中受到污染2.油不合适3.油不足4.真空漏率过大5.惰性保护气体不足1.更换泵油或清洗2.清洗后用规定的泵油3.加注足量泵油4.修理泄漏处，或更换泵油5.工艺过程中含有腐蚀性、危险性或放射性气体时必须加足量保护气体停泵时系统中出现空气 1.系统泄漏 2.密封阀损坏 1.修理部件 2.修理密封阀异常噪音1.连接件损坏2.缺油3.油泵磨损或损坏4.叶片损坏5.排气阀板上无滤网6.电机轴承出现问题1.更换连接件2.加油3.修理或更换油泵4.拆下油泵，更换叶片

24、5.加滤网6.修理电机泵油消耗过多1.出油口密封圈磨损2.油封损坏或安装错误3.油套损坏或腐蚀4.进油口或出油口泄漏5.泵体与油封间垫片泄漏 1.更换密封圈2.更换新油封，检查进油管线3.更换油套4.更换新O型圈5.更换垫片泵不能启动 1.泵粘死2.泵油粘度过高3.油泵磨损或外来物集聚4.电机电压不符5.连线错误6.电机出错1.拆泵修理2.保持室温高于12或换油3.更换损坏件或清理4.更换电机5.检查并修理线路6.更换电机泵达不到极限真空度1.气镇阀开启2.抽气管太细3.排气管直径小于排气口直径4.真空系统有泄漏处5.系统主阀问题6.油不合适7.油被污染或油量太少8.供油管堵塞9.轴上油封损坏

25、10.挡板安装错误11.排气阀破损12.真空计损坏1.关闭气镇阀2.更换合适直径的抽气管3.更换合适直径的排气管4.修理系统漏点5.修理主阀6.使用符合规定的油7.换油或加油8.拆开泵体维修9.更换油封10.拆下正确安装11.更换排气阀12.修理真空计排气速度太低1.抽气与排气管直径太小或管长度太长2.油被污染3.主阀破损4.进气口滤网被堵塞5.泵油不对6.真空系统泄漏7.泵指标低于系统要求1.更换成符合要求管线2.更换泵油3.更换主阀4.清洗滤网5.更换成要求泵油6.修理泄漏处7.更换成满足要求泵 三、电控系统的的保养与维修。1、控制的检修，与保养2、靶电源的使用与保养要求3、流量计的校对四、真空测量系统的维修。五、溅射系统的正确使用及注意事项：专心-专注-专业