紫外光处理机-DMS-制程管制标准书(共7页).doc

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1、精选优质文档-倾情为你奉上1. 范围1.1 适用区域：1A Array Etch区。1.2 适用制程：紫外光处理制程。1.3 适用人员：Etch区EUV机台进行作业之Operator & Engineer。1.4 适用机台FabMachine ID.Process1AA1EUV110紫外光处理2. 目的本文件主要目的在订出紫外光处理机（EUV）制程之制程管制项目与规格，用以确保制程的稳定性并规范管制项目异常时的处理方法与步骤，以做为蚀刻工程部人员在建立产品生产条件或管理项目时，有依循之依据，期能快速导入生产条件，使生产管理步入轨道，而能达质量管理之要求。3. 权责此规范适用于EUV机台之设备、

2、制程工程师，保养修护人员，及值班工程师。4. 名词定义4.1 EUV：Excimer Ultraviolet5. 生产条件生产条件是生产机台相当重要的设定项目。为保持机台稳定运行以及产品质量的稳定，经承认后的生产条件是不得任意进行变更。5.1 RECIPE设定 由于生产条件不同需求，本机台具有不同Recipe设定。生产时，将依生产条件需求自动选择合适Recipe进行生产。Recipe内容未经许可，不得随意变更。5.1.1 EUV Recipe设定RECEIPE：1Tact Time：40 secRecipe Items ValueID1COMMENT _1499ASH01TACT TIME(s

3、ec)40CONV SPEED LOW (mm/min)3000CONV SPEED HIGH (mm/min)6000EUV1 ON/OFFONEUV2 ON/OFFONEUV3 ON/OFF.ON5.2 机台参数设定5.2.1 JOB CONDItemsOptionValue1. JOB MODEPROCESS MODE2. USE EUVUSE3. EUV1 LIFE TIME1000hour4. EUV2 LIFE TIME1000hour5. EUV3 LIFE TIME1000hour6. EUV1 LIFE TIME CHECKCHECK7. EUV2 LIFE TIME CHE

4、CKCHECK8. EUV3 LIFE TIME CHECKCHECK9. GLASS SIZE1300mm10. MAX GLASS NO4EA11. C/V TIMEOUT DISTANCE60mm12. UL UNIT C/V STOP DISTANCE30mm13. AGING MODENO CHECK14. INITIALIZE TIME OUT180sec15. IDLE MODE WAIT TIME0min5.3 管制项目与规格 5.3.1 MQC项目与规格MQC即Machine Quality Control，指为保证机台能够正常运转，所做的定期检查项目，属于管制项目之一。EQ

5、 IDItemFrequencySpec(OOC)Spec(OOS)QEUVCTMContact Angle1pcs/1week810QEUVPTMParticle3pcs/1week(S+M+L) 250(S+M+L) 3005.3.2 IPQC项目与规格无5.3.3 管制项目异常处理流程5.3.3.1 机台Recipe设定异常机台Recipe设定与机台参数设定不得自行变更，若发现设定有变更，表示机台发生异常，则应立即通知工程师处理，以免持续影响产品质量。5.3.3.2 机台MQC异常当MQC 异常时，表示机台状况异常。MQC首次出现异常时(OOC或OOS)，Operator要马上通知工程师

6、，并且立即做第二次MQC量测，如果测量结果正常则可继续生产；倘若第二次测量仍然不良，则设备马上停机，待工程师查找异常原因，并且排除异常后，再进行MQC量测，直到MQC测试正常后方可以继续生产。MQC 第一次 NG1. Operator通知工程师2. Operator立即准备进行第二次MQC量测MQC量测规格判定?1.EQ Release生产2.对异常MQC于SPC下注记1.Operator通知工程师2.EQ停机3.向前追朔记录已生产产品批号异常原因排除OKNG5.3.3.3 规格判定A机台开机点检规格请参考文件Q-7-02-0-010【紫外光处理机(DMS)保养指导书】。B MQC检测规格请参考本文5.3.1.1 MQC项目与规格。6. 参考文件IVO G5 SA-EUV OPERATION MANUALQ-7-02-0-010紫外光处理机(DMS)保养指导书Q-7-01-0-010紫外光处理机(DMS)操作指导书7. 使用表单无专心-专注-专业