LCD制程工艺知识培训课件(共33张).pptx
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1、LCD工艺流程简介NC -PECY Tang 工艺流程光刻l主要工序投入清洗涂胶曝光显影刻蚀脱膜玻璃投入工序作用: 位于整条生产线的前端,负责整片ITO玻璃基板的投入。 要求ITO玻璃的規格型號符合產品的要求。 发料是最主要的是要记住ITO面朝上(通过大切角判断) 工序作用:l玻璃的清洗与干燥:用清洗剂以及去离子水(DI 水)等洗净ITO 玻璃,并用物理或者化学的方法将ITO 表面的杂质和油污洗净,然后把水除去并干燥,保证下道工艺的加工质量。 清洗 涂胶工序作用:l在ITO 玻璃的导电层面上均匀涂上一层光刻胶,涂过光刻胶的玻璃要在一定的温度下将涂有光刻胶的玻璃烘烤一段时间,以使光刻胶中的溶剂挥
2、发,增加与玻璃表面的粘附性Glass基板ITO感光树脂膜 曝光工序作用:l用紫外光(UV)通过预先制作好的电极图形掩模版照射光刻胶表面,使被照光刻胶层发生反应,在涂有光刻胶的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性曝光Glass基板UV光 显影工序作用:l用显影液处理玻璃表面,将经过UV光照分解的光刻胶层除去,保留未曝光部分的光刻胶层,用化学方法使受UV 光照射部分的光刻胶溶于显影液中,显影后的玻璃要经过一定的温度的坚膜处理使光刻胶更加坚Glass基板現像液 工序作用:l用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO 膜蚀掉,这样就得到了所需要的ITO 电极图形注:ITO 玻璃为氧化铟锡的导电玻
3、璃,易与酸发生反应,而用于蚀刻掉多余的ITO,从而得到相应的拉线电极Glass基板 工序作用: l用高浓度的碱液(NaOH 溶液)作脱膜液,将玻璃上余下的光刻胶剥离掉,从而使ITO 玻璃上形成与光刻掩模版完全一致的ITO 图形Glass基板 工序作用: 对玻璃表面形成的ITO图形用电学原理进行短路测试,同时得到激光修复所需要的数据。 (LASER REPAIR)工序作用: 对所查找到的短路缺陷进行修复。成盒段主要工序成盒段主要工序vPIPI、TOPTOP印刷印刷v摩擦摩擦vSEALSEAL、TRTR印刷印刷v喷洒喷洒v对盒对盒v热压热压lTOP工序:一般的TN 与STN 产品不要求此步骤,TO
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- LCD 工艺 知识 培训 课件 33
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