主题：ST2000系列电镀铜光剂初步试用报告(共7页).doc

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1、精选优质文档-倾情为你奉上一、背景 因生产需要及改善品质，经公司上层决定在09年5月25日开始导入恒侨公司ST-2000系列电镀铜光剂进行试用评估。二、目的改善电镀品质、降低公司成本及开发新供应商。三、药水简介1、恒侨ST-2000系列电镀铜光剂为代理乐思公司药水，由ST-2000M（开缸剂）、ST2000B（添加剂）、ST2000C（调整剂）组成。2、生产时ST2000B按每千尺耗量添加2L；据每班哈氏片效果补加ST2000C，每天添加量小于0.5ML/L(按槽液体积计算)。3、此药水特点为镀液稳定性好，镀铜分散能力好，适合高电流密度电镀，可提高产能；深镀能力好，电沉积层延展性优秀、热应力低

2、。四、跟进过程及测试结果1、洗缸操作详见附件示2、开缸操作详见下附件示3、试板跟进3.1 试板流程：开料钻孔沉铜板电3.2 试板条件： 8#铜缸药水分析电镀条件备注CuSo4.5H2O：66g/L1、 电流密度：18ASF；2、 电镀时间：75min；3、铜缸温度：251、 试板开料：18 248PNL；底铜1OZ.2、 取飞靶的1,5,8板测试；3、 最小孔径：0.2mm；板厚：1.6mm，TP（厚径比5：1）常规要求85。H2SO4：210g/LCl-：47PPM3.3 测试项目及数据分析：3.3.1均镀能力测试1）测试点位置如下图所示： 1 2 34 5 67 8 9夹板位 2）均镀能力

3、测试结果见下表：（以整飞巴数据为准）项目镀铜厚度（单位：m)123456789MAXMINAVE均匀性A面36.236.634.232.533.73334.632.93439.230.234.686.90%37.336.935.635.53434.234.63233.636.736.635.53534.53631.831.831.334.233.733.83334.334.633.630.730.236.632.833.139.134.934.438.931.931.837.236.533.6353537.532.731.430.939.236.138.636.133.337.936.732.

4、93536.536.336.733.734.833.135.232.731.9B面36.335.735.33534.834.732.432.431.639.430.634.687.20%37.535.238.233.934.13634.532.632.639.438.137.334.23433.532.231.931.63634.533.434.534.734.633.832.231.932.933.434.633.7353632.833.635.936.334.734.333.133.233.932.234.135.638.536.236.637.432.537.23832.835.939.

5、136.937.832.633.730.634.43133.3备注1.试板开料：18 248PNL；电流密度：18ASF；电镀时间：75min；2.每片板用铜厚测试仪测试9个点；3.计算公式：镀铜均匀性=1（MAX-MIN）/2*AVE100；4.接受标准：镀铜均匀性常规要求85，即测试结果合格。3.3.2深镀能力测试1）深度切片测试数据点位置如图所示：备注：A1,A2,A3,A4点的数据为表面电铜的厚度；B1,B2,B3,B4,C1,C2孔内电铜厚度。 A1 A3 B1 B4 C1 C2 B2 B3 A2 A4 2）深镀能力测试结果见下表： 项目孔铜厚测量结果表面铜厚测量结果深镀能力 孔及取

6、板编号 B1 C1 B2 B3 C2 B4最小值 A1 A2 A3 A4平均值0.2mm（1#板）34.0832.7335.2435.7633.5734.632.7335.4736.3135.4735.4735.6891.73%0.2mm（5#板）32.0828.5330.5730.7327.732.5727.732.9633.7932.1232.1232.7484.61%0.2mm（8#板）33.7635.0832.0833.7630.3733.5730.3735.4735.4734.6334.6335.0586.65%0.3mm（1#板）35.6334.7335.2835.3634.083

7、5.8634.0836.3136.3136.3136.3136.3193.86%0.3mm（5#板）34.4130.2134.0832.4431.0533.5730.2136.3132.9636.1533.7934.886.81%0.3mm（8#板）35.2831.8935.2436.9232.7236.9231.8936.1535.4739.6736.1536.8686.52%平均值31.1635.2488.36%备注1.取孔径：0.2、0.3mm；板厚：1.6mm；2.孔口表铜铜厚均值35.24m；3.计算公式：镀铜深镀能力=孔铜最小值/表铜平均值100；4.镀铜深镀能力平均值为88.36

8、%，常规要求85，即测试结果合格。3）取0.2、0.3mm两种最小孔径切片观察深镀能力，如下图：全孔图片局部放大图及测量数据 图一（以上为孔径0.2mm切片数据）全孔图片局部放大图及测量数据图二（以上为孔径0.3mm切片数据) 3.3.3镀铜延展性测试：（延展性要求12%）Sample NameDirectionThickness(mm)Tensile Strength(N/ mm2)Elongation(%)未焗1-1#H0.0439265.4415.35未焗1-2#H0.0461264.0415.90未焗1-3#H0.0488264.0316.64未焗2-1#H0.0391276.1112

9、.49未焗2-2#H0.0456268.6915.87未焗2-3#H0.0477269.9716.57已焗1-1#H0.0470258.6217.96已焗1-2#H0.0436258.3515.35已焗1-3#H0.0476261.1715.90已焗1-4#H0.0426259.8015.92已焗2-1#H0.0445276.0316.50已焗2-2#H0.0489266.4615.75已焗2-3#H0.0382279.6712.18已焗2-4#H0.0482272.2616.35备注镀铜延展性测试结果均在12%以上，测试结果合格。3.3.4热应力测试：结果如下测试条件：浸锡温度288，10S

10、/次，3次，如图所示 热应力切片图：无孔角断裂及孔壁分离现象。 切片图片一 切片图片二3.3.5小结1）均镀能力：以上数据体现8#铜缸均匀性测试平均为87%,均匀性良好。2）深镀能力：以上数据体现8#铜缸深镀能力测试深镀能力最小84.61%,最大93.86%,平均值为88.36%；深镀能力大于85%，深镀能力良好。3）镀铜延展性：以上数据体现8#镀铜缸延展性测试结果均在12%以上，镀铜延展性良好。4）热应力实验：浸锡温度288，10S/次，3次，结果无孔角断裂及孔壁分离现象。五、成本评估需跟进批量生产，确定耗量标准，再进行成本评估。六、环境评估药水可直接排入废水处理池，进行综合处理；废气由专用抽风管道抽至废气塔进行处理。七、技术服务药水供应商恒侨公司设有驻厂工程师，出现品质异常随时可至我司生产现场处理，技术服务达到我司要求。八、结论1.电镀均匀性测试结果为87%，均匀性良好。2.深镀能力测试结果为88.36%，深镀能力良好。3.镀铜延展性测试结果均在12%以上，镀铜延展性良好。4.热应力测试合格。5.试用恒侨电镀铜光剂, 从开缸至今共生产2000021000ft2未出现品质异常；6.可靠性测试及生产品质均能满足我司要求，建议对该药水进行批量试产。专心-专注-专业