模块三 力敏传感器及其应用ppt课件.pptx
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1、模块三 力敏传感器及其应用传感器技术及应用刘映群 曾海峰 主编 ISBN:978-7-113-21869-0中国铁道出版社2016-10模块三模块三 力敏传感器及其应用力敏传感器及其应用 本模块主要介绍电阻应变式传感器、电感式传感器、压电式传感器的特性,并练习使用这些传感器。 应变效应、压电效应及力敏传感器的分类; 电阻应变片、电感、压电等力敏传感器的结构、工作原理及特点; 力敏传感器实用电路的工作原理; 简易电子秤电路的工作原理; 简易压电式传感器电路的工作原理;知识点: 湿度传感器的选用、调试; 简易电子秤电路的安装、调试; 简易压电式传感器电路的安装、调试;技能点: 本模块主要采用实训为
2、主,讲授为辅的教学方式完成课程任务。教师主要是将项目的基本知识及关键步骤跟学生讲明即可,学生大部分时间自主学习,并进行实训。在实训过程中,教师进行辅导及在项目完成后进行总结。教学法:项目说明项目说明电子秤是将重量转换成电信号的称重传感器。电子台秤不仅能快速、准确地称出物品的重量,用数码显示出来,而且具有计算的功能,使用也很方便。本项目利用电阻应变式传感器制作一个简易电子秤。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计一、认识电阻应变片1电阻应变片及其用途电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转化为电阻变化,并通过测量电路转化为电信号输出的敏感器件。电阻应变片是压阻式应变传感器的主要组成
3、部分,金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上的应变电阻随机械形变会产生阻值变化,这种现象俗称为电阻应变效应。一根金属电阻丝、在其未受力时,原始电阻值可表示为 式(3-1)中 金属导体的电阻率(m);S导体的截面积(m2);L导体的长度(m)。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计当金属丝受外力作用时,其长度和截面积都会发生变化,其电阻值即会发生改变。如金属丝受外力作用而伸长,其长度增加,而截面积减小,电阻值便会增大;如金属丝受外力作用而压缩,其长度减小而截面增加,电阻值则会减小。只要测出电阻相关的电量变化(通常是测量电阻两端的电压),即可获得应变金属丝的应变情况。通常将应变
4、片通过特殊的粘合剂紧密的粘合在产生力学应变的基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,应变片的阻值跟着发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小,所以一般都组成应变电桥,并通过后续的仪表放大器进行放大,再传输给处理电路(通常是A-D转换电路和CPU)、显示或执行机构。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计2电阻应变片的结构电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片按结构形式不同可分为丝状应变片、金属箔状应变片和薄膜式应变片三种。1)金属电阻应变片的结构金属电阻应变片由敏感栅(应变丝)、基体(基
5、底)、保护层(覆盖层或盖片)和引线组成,其结构如图3-1所示。敏感栅做成栅状,对沿着栅条纵轴方向的应力变化最敏感,粘接在胶质膜基底上,上面粘有盖片,基底和盖片起着保护敏感栅和传递弹性体表面应变和电气绝缘的作用。金属应变片不能直接测力,需要用聚丙烯酸酯等有机粘合剂或者耐高温的磷酸盐等粘贴在弹性元件受力表面,用来传感元件表面应力的变化。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计敏感栅有两种制作方式:一种是如图3-1(a)所示的由直径为0.020.05mm的康铜或镍铬等金属丝绕成栅状,其电阻片被称为丝状应变片;一种是如图3-1(b)所
6、示的用0.0030.01mm厚的康铜或镍铬箔片利用光刻技术腐蚀成栅状,其电阻片被称为箔状(箔式)应变片。丝状应变片多采用纸基体和纸覆盖层,且这种敏感栅不易制成小尺寸栅长,所以这种应变片标距较大,适用范围不宽,价格较低。而箔状应变片的栅箔薄而宽,因而粘贴牢固、散热性好,能较好地反映构件表面的变形,测量精度高,同时易于制成栅长很小或各种形状的应变片,所以在各个测量领域得到广泛的应用。各式金属电阻应变片花形图如图3-2所示。 项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计 项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计按照敏感栅的结构形状,金属箔状应变片又可分为单轴应变片和多轴应变片
7、。单轴应变片即在一个基底上只有一个敏感栅,只能测量构件表面沿敏感栅长度方向的应变。而多轴应变片常称为应变花(如图3-2(d)所示),是将由2个或3个以上轴线相交成一定角度的敏感栅制作在一个基底上,可测量构件表面贴片处沿几个敏感栅长度方向的应变。应变花有90应变花(两个敏感栅互成90)、45应变花、120应变花(三个敏感栅互成120,如图3-2(d)所示)和60应变花(三个敏感栅互成60)等几种规格。2)半导体应变片半导体应变片的优点是灵敏度高、体积小;缺点是温度稳定性和可重复性不如金属应变片。一般场合下常用金属电阻应变片做传感器。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计3)应变片
8、的主要参数(1)几何参数(敏感栅尺寸):指应变片敏感栅的标距长度(栅长)和宽度(栅宽)。(2)标称电阻(初始电阻)R:也称应变片的原始电阻值,是指应变片未粘贴前在室温下测得的静态电阻值,常见的有60、120、200、250、600和1000等类型。其中120和350电阻片在实验中最为常用。(3)允许工作电流I:应变片的允许工作电流又称为最大工作电流,是指允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流值。一般应变片静态测量时的工作电流为25mA左右;动态测量时,允许工作电流可达75100mA,而箔状应变片的允许工作电流则可更大一些。如电流大,应变片温度将升高,会影响应变测量精度。(4)绝缘电阻:指电
9、阻应变片(计)引出线与构件之间的电阻值。短期使用绝缘电阻应达到50100M。长期使用绝缘电阻应保证在500M以上。(5)灵敏系数K:表示应变计变换性能的重要参数。灵敏度系数K值的大小是由金属电阻丝的材料性质决定的一个常数,它和应变片的形状、尺寸大小无关,该值由制造厂家用专门的设备抽样标定,并在成品上标明。不同材料的K值一般在1.53.6。表示应变计性能的参数还有工作温度、滞后、蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计二、认识弹性敏感元件弹性敏感元件是指传感器中由弹性材料制成的敏感元件。在传感器的工作过程中常采用弹性敏感元件把力、压力、力矩、振
10、动等被测参量转换成应变量或位移量,然后再通过各种转换元件把应变量或位移量转换成电量。弹性敏感元件的形式可以是实心或空心的圆柱体、等截面圆环、等截面或等强度悬臂梁、扭管等,也可以是弹簧管、膜片、膜盒、波纹管、薄壁圆筒、薄壁半球等。弹性敏感元件在传感器中占有很重要的地位,其质量的优劣直接影响传感器的性能和精度。在很多情况下,它甚至是传感器的核心部分。1弹性敏感元件及其用途(1)作为弹性敏感元件,其作用是将被测参量力、压力、力矩转换成应变量或位移量(由弹性敏感元件),然后再转换成电量(电压、电流或电阻)。例如:弹簧称、电子称、压力表。(2)作为弹性支承,其作用是支承传感器中活动部分(形变、位移不是测
11、量量)。例如:动圈式传声器。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计2弹性敏感元件的结构常用弹性敏感元件的结构如图3-3所示。 项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计3弹性敏感元件的特性变形(形变):有外力作用时,物体改变尺寸或形状。弹性变形:外力撤消时,物体恢复原尺寸或形状。1)刚度刚度是弹性元器件在外力作用下变形大小的量度,一般用k表示 式(3-2)中,F为作用在弹性元器件上的外力;x为弹性元器件产生的变形。2)灵敏度灵敏度是指弹性敏感元器件在单位力作用下产生变形的大小,在弹性力学中称为弹性元器件的柔度。它是刚度的倒数,用K表示 在测控系统中希望它是常数。项目
12、一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计3)弹性滞后实际的弹性元器件在加/卸载的正反行程中变形曲线是不重合的,这种现象称为弹性滞后现象,它会给测量带来误差。产生弹性滞后的主要原因是:弹性敏感元器件在工作过程中分子间存在内摩擦。当比较两种弹性材料时,应都用加载变形曲线或都用卸载变形曲线,这样才有可比性。4)弹性后效当载荷从某一数值变化到另一数值时,弹性元器件变形不是立即完成相应的变形,而是经一定的时间间隔逐渐完成变形的,这种现象称为弹性后效。由于弹性后效的存在,弹性敏感元件的变形始终不能迅速地跟上力的变化,所以在动态测量时将引起测量误差。造成这一现象的原因是由于弹性敏感元器件中的分子间
13、存在内摩擦。5固有振荡频率弹性敏感元器件都有自己的固有振荡频率f0,它将影响传感器的动态特性。传感器的工作频率应避开弹性敏感元器件的固有振荡频率,往往希望f0较高。实际选用或设计弹性敏感元器件时,若遇到上述特性矛盾的情况,则应根据测量的对象和要求综合考虑。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计三、电阻应变式传感器应用电阻应变片为敏感元件制成的各种电阻应变式传感器(如测力、称重、位移、加速度及扭矩传感器)由于具有精度高、稳定性好、制作简单、价格便宜,以及电信号易与后续测控仪器相匹配等特点,在工业各部门中获得了广泛应用,并且在力学量传感器中,电阻应变式传感器至今仍占有主导地位。1电
14、阻应变式传感器及其用途电阻应变式传感器由弹性敏感元件、电阻应变片(计)、补偿电阻和外壳组成,可根据具体测量要求设计成多种结构形式。弹性敏感元件受到所测量的力而产生变形,并使附着其上的电阻应变片一起变形,电阻应变片再将变形转换为电阻值的变化,通过测量仪器,将此变化转变成和被测物理量成比例的电信号输出,从而可以测量力、压力、扭矩、位移、加速度和温度等多种物理量。常用的电变式传感器有应变式测力传感器、应变式压力传感器、应变式扭矩传感器、应变式位移传感器、应变式加速度传感器和测温应变计等,如图3-4所示是几种电阻应变式传感器。电阻应变式传感器具有精度高、测量范围广、结构简单、频响特性好、能在恶劣条件下
15、工作,易于实现小型化、整体化和品种多样化等优点。因此广泛应用于自动测试和控制技术中。它的不足之处是对于大应变有较大的非线性,输出信号较弱,需采取一定的补偿措施。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计2电阻应变式传感器的结构及实物安装1)电阻应变式传感器的结构常见电阻应变式传感器的几种结构形式如图3-5所示。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计2)应变片的安装如图3-6所示是应变片在传感器弹性材料上的安装示意图。如图3-7所示是GX-1型和PE-1型称重传感器的实物外形。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易
16、电子秤电路的设计3电阻应变式传感器的工作原理电阻应变式传感器的工作原理是将被测物理量的变化转换成电阻值的变化,再经相应的测量电路显示或记录被测量值的变化。传感器中应变片的电阻变化很微弱,用万用表无法测量,为了便于显示和控制,需将变化的电阻值转换成电信号输出,所以通常采用电桥作为测量电路。电桥电路有半桥单臂、半桥双臂和全桥电路。1)半桥单臂电路半桥单臂的电路形式如图3-8所示,R1为应变片,则输出电压UO为 初始时,R1=R2=R3=R4=R,电桥平衡,UO=0V。当R1为应变片时,受力所产生的应变变化为R,由于RR,则输出电压为 半桥单臂的灵敏度为 项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤
17、电路的设计2)半桥双臂电路半桥双臂的电路形式如图3-9所示,R1和R2为相同规格的应变片,并接成差动形式,即R1与R2电阻变化大小相同但方向相反。则输出电压UO为 初始时,R1=R2=R3=R4=R,电桥平衡,UO=0V。当R1、R2为应变片时,受力所产生的应变变化为R,由于RR,则输出电压为 半桥双臂的灵敏度为 项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计3)全桥电路全桥电路如图3-10所示,R1、R2、R3和R4为相同规格的应变片,并接成差动形式,即R1、R2、R3和R4电阻变化大小相同、方向相反。则输出电压为 全桥电路的灵敏度为 综上所述:(1)直流电桥的输出电压与被测应变量呈
18、线性关系。(2)全桥电路的灵敏度是半桥双臂电路的2倍,全桥电路的灵敏度是半桥单臂电路的4倍。(3)半桥双臂电路与全桥电路能够较好地解决温度漂移问题。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计4工作过程电阻应变式传感器的工作过程实际上是应变片的变化(电阻变化)和电信号的传输。图3-11所示是筒式应变荷重传感器的工作过程。荷重传感器是应力计中最具有代表性的压力传感器。筒式荷重传感器采用箔状应变片贴在合金钢做的弹性体上,当F向下作用时,R2与R4受到压力应变,R1与R3受到拉力应变。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计5传感器的接线PE-1型铝质传感器系列产品为双孔悬臂
19、梁式结构,在制作过程中进行了温度补偿和四角调整等工艺处理,其高度低、体积小,适于制作电子计价秤、电子台秤等。图3-12是PE-1型称重传感器的接线。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计应变式传感器按其工作原理可分为:变阻器及电位器式、电阻应变式、固态压阻式、热敏电阻式、气敏电阻式、磁敏电阻式等。电阻应变式传感器是基于测量物体受力变形所产生应变的一种传感器,最常用的传感元件为电阻应变片。固态压阻式传感器用半导体单晶硓材料作为敏感元件,在受到外力作用时,即使产生极微小应变,由其材料制成的电阻也会出现极大变化,这种物理效应称为压阻效应。利用压阻效应原理,采用三维集成电路工艺技术及一
20、些专用的特殊工艺,在单晶硅片上的特定晶向制成由应变电阻构成的惠斯通检测电桥,并同时利用硅的弹性力学特性,在同一硅片上进行特殊的机械加工,制成集应力敏感与力电转换检测于一体的力学量传感器,称为固态压阻式传感器。固态压阻压力传感器以气、液体压强为检测对象,其主要特点有灵敏度高、精度高、体积小、重量轻、动态频响高等。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计八、力敏传感器实用电路1手机和平板电脑的横竖显示转换ADXI320双轴加速度传感器可用于手机和平板电脑屏幕的横竖显示方向自动转换,称为手机和平板电脑的G-Sensor重力感应功能。电路如图3-13所示。项目一项目一 简易电子秤电路的设
21、计简易电子秤电路的设计当人们纵向(X方向)拿着手机时,XOUT端口和YOUT端口的输出电压分别为XOUT=1.500V和YOUT=1.326V,分别接比较器A的正相输入端和反相输入端,比较器A输出高电平,送入微处理器中,以控制扫描电路进行X方向扫描和信号显示。当人们将拿着的手机转为横向(Y方向)时,XOUT端口和YOUT端口的输出电压变为XOUT=1.326V和YOUT=1.500V,比较器A输出变为低电平,送入微处理器中,微处理器控制扫描电路改为Y方向扫描和信号显示。平板电脑的侧面有屏幕旋转锁启动时,重力感应功能不起作用,横竖方向旋转将不改变屏幕显示方式。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简
22、易电子秤电路的设计2SFG15N1A压力测量电路SFG15N1A是霍尼韦尔(Honeywell)公司生产的力传感器,是一种硅压阻式力传感器。它是利用微细加工工艺技术在一小块硅片上加工成硅膜片,并在联片上用离子注入工艺做了四个电阻并连接成电桥。当力作用在硅膜片上时,膜片产生变形,电桥中两个桥臂电阻的阻值增大;另外两个桥臂电阻的阻值减小,电桥失去平衡,输出与作用力成比例的电压信号。这种力传感器的特点是结构简单、内部无放大电路及温度补偿电路、功能低、有较好线性度及重复性、较高的灵敏度(典型值为0.24mV/g),最大可测力为1500g、最大的过载力可达5500g、工作温度范围宽(-40+85)等。其
23、缺点是没有温度补偿,在较大的温度范围使用时有一定的温度误差。该传感器应用范围较广,其典型应用有医疗注入泵、肾透析仪、机械手(感觉触力)、张力控制器、负载或压缩力的测量、接触力的测量等。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计外形及安装SFG15N1A的外形如图3-14(a)所示,其中1脚接电源正极,3脚接电源负极,2脚和4脚为电桥输出引脚。该传感器的安装方向可为任意方向,不会因安装方向而引起性能变化。值得注意的是,不要堵住壳体底部的排气孔,若错误地堵住排气孔会引起输出不稳定。安装可采用专用安装支架,如图3-14(b)所示。 项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计如
24、图3-15所示为一种测量电路,当作用力为01500g时,UO输出01500mV (灵敏度为lmV/g)。电源由12V供电,力传感器由+12V经三个二极管降压后(约为10V)供电。A1A3组成仪器放大器,其差动输入端直接与力传感器的2脚、4脚连接。A4接成跟随器,电位器RP2的作用是消除零点输出,即作用力为零时,若电桥有不平衡输出或放大器有失调电压时,可以调整RP2,使输出UO=0V。调整RP1(调放大倍数)可以在满量程即1500g作用力时,使UO=1500mV。为了保证测量电路的精度,A1A3的外围电阻采用误差为1%的金属膜电阻,对应的电阻参数一样。项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤
25、电路的设计3带温度补偿的压力电子开关用MPX2100P压力传感器和NTC热敏电阻构成的带温度补偿的压力电子开关电路如图3-16所示。MPX2100P压力传感器将压力转换成电信号,经A1、A2两级放大,将输出信号送比较器A3反相输入端,将由NTC热敏电阻降压后的参考电压加到比较器A3同相输入端。当压力传感电压大于参考电压时,A3输出低电平,触发执行器电路工作。当温度降低时,压力传感电压减小。由于温度降低使NTC热敏电阻值增大,降压增大,参考电压降低,所以保持A3输出低电平,起到温度补偿的作用。 项目一项目一 简易电子秤电路的设计简易电子秤电路的设计4MPX5100系列巴图压力计用MPX5100系
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