优纳科技〔UNIC.docx

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1、优纳科技UNIC检测工程：晶圆边沿的点缺口或者线缺口点缺口Dot Notch线缺口Flat Notch 检测任务：通过视觉检测，将晶圆wafer准确定位，为下一步工序做好预备原理讲明 检测定位是指找到被测物体或者物测物体某一特征区域并确定其位置，输出位置坐标，绝大多数的视觉系统都必须完成这个工作；当被测物体的坐标被准确定位之后，经常需要根据前一步确定的位置来完成下一个动作比方机器手进展抓取、激光进展切割和焊接头进展焊接等。这是视觉行业里被最密集使用的技术，定位的精度、速度和重复度就是各个视觉系统的关键指标，北京优纳科技自主研发的PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统在以上方面具有明显的技术

2、上风，成功实现了自动分辨点缺口与面缺口，及高速高准确检测与定位。 系统组成 PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统主体包括PHOCUS系列智能相机130万-300万象素可选、iNotch缺口检测软件、及系统标配的LED环形光源和电源，全部由优纳科技自主研发消费。易于集成和安装，利用Etherne网络进展通讯。通过网络，用户可以方便进展数据访问和工业经过监控，并实现了更好的晶圆跟踪。所有地点可以远程信息分享。PHOCUS-iNotch还提供RS-232串口通讯，知足没有Etherne网络的工厂设备使用的需要。PHOCUS-iNotch可以方便与工厂设备进展系统集成，并很轻易根据现有设备的需要

3、进展安装和晋级。 系统上风 缺口Notch通常不超过2mm，这要求检测设备的图像收集明晰度非常高；在半导体消费现场，对缺口检测的速度要求很高；同时，受到光源、电源等电磁信号干扰的影响，消除和防止噪音也成为进步检测精度的必要手段。 晶圆缺口检测系统PHOCUS-iNotch采用图像识别技术进展实时检测、定位和分析，有效地防止了上述的种种问题，使得消费精度，稳定性及效率得到极大的进步。其硬件局部采用PHOCUS-1810高速130万象素智能相机，保证了高质量图像的收集；检测定位局部应用优纳科技自主研发的iNotch视觉软件包，其定位精度高，速度快，一次识别时间在100ms以内；结合优纳最新研发的LED环形光源和电源，最大限度地降低了现场噪音对图像的影响。PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统可自动分辨点缺口和线缺口，最高精度可达0.1个象素，性能到达世界领先程度。 软件界面系统自动测量并标注圆心、点缺口位置坐标；自动生成圆心缺口连线；测量圆心-缺口间隔0