基于嵌入式硬件平台的划片机视觉系统设计.docx
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1、基于嵌入式硬件平台的划片机视觉系统设计fenghy导语:基于嵌入式硬件平台的精细划片机硬件局部采用主从式双CPU构造形式,主CPU为ARM处理器。1引言半导体后封装工艺中关键设备划片机是通过主轴高速旋转、y向精细分度定位、x向导轨高速运动、向多角度旋转实现对多个芯片图形划分加工的设备。可用于硅集成电路、SAW器件、Ga/As、铌酸锂、锑化铋、厚膜电路、磷化铟等特种材料和脆硬材料晶片的划切分片。a鉴于在精细划片机检测系统的检测速度和精度上的要求,需要分辨率较高的CCD摄像机对划切图像进展快速提取。PC-Based产品的硬件技术已经实现,但PC构造中仍存在众多因素影响划片机的实际使用,如硬盘可能出
2、现的机械故障、风扇带来的不稳定因素、抗震性能指标,抗干扰指标等等,这些因素仍然是制约IPCPC工控机应用于半导体设备的问题之一。通过引入嵌入式硬件方案解决了这个难题,同时也大大降低了本钱。基于嵌入式硬件平台的精细划片机硬件局部采用主从式双CPU构造形式,主CPU为ARM处理器。精细划片机控制主体由3个单元构成:监控治理单元、四轴运动控制单元和划片机视觉单元。划片机视觉单元是通过对图像实时收集来监测晶圆划切经过;监控治理单元主要功能是监测设备运行、设置加工参数等;四轴运动控制单元是采用专用运动控制芯片,接收S3c2510传递的参数来直接控制电机完成运动控制。视觉收集系统基于的PCI总线具备32B
3、it数据总线,时钟频率可达66MHz,最快传输速率到达264MB/s,可以知足划片机视觉系统需要,设计的核心板扩展2个PCI插槽。嵌入式设备需编写PCI设备的驱动程序将现有的PCI设备应用到嵌入式主板中。划片机的视觉收集系统由光学照明系统、CCD摄像器件、图像处理软件等局部构成,视觉系统构成见图1。2硬件电路设计根据PCI系统的总线拓扑构造设计了划片图像收集系统的硬件构造。其中的摄像头,根据划片机视觉的要求选用35万像素的PCI接口的图像收集模块。系统主处理器采用三星公司的S3C25lO,考虑到S3C2510内置PCI控制器,扩展的2块PCI接口可分别和四轴嵌入式运动控制芯片MCX314As和
4、图像收集模块连接。系统框图见图2。芯片为ARM940T内核,最高运行频率可达200MHz,芯片内置的SDRAM控制器、PCI控制器、USB控制器和10M/100M以太网控制器等一系列接口控制器。知足精细划片机的实时控制要求,主板的外部时钟源为10MHz,通过S3C2510的4个内置倍频率器,设置引脚CLKMOD0、CLKMODl、CPU_FREQl、BUS_FREQ0为高;设置引脚CPUFREQ0、CPU_FREQ2、BUS_FREQl、BUS_FREQ2为低,使系统内核运行频率为133MHz,PCI设备运行频率为66MHz,USB设备运行频率为48MHz。图3是S3C2510的PCI插槽图。
5、系统上电后,PCI插槽上图像收集模块将等待CCD摄像头模拟信号的输入,当图像收集模块得到模拟数据后便对模拟数据进展编码,处理后的数据通过S3C2510内部AHB总线传输到SDRAM,主控治理单元利用主板上嵌入式Linux系统中的视频效劳程序使用解码播放器即可对晶圆监测划切。S3C2510ARM处理器,内部PCIMINI-PCI&PCCard控制器符合PCI总线标准2.2版本,将S3C2510的PCIMINI-PCI&PCCard控制器设置为PCIHost工作形式见表1,具有32bit地址/数据复用总线,支持非线性传输和突发传输,最高数据传输速度可以到达264MB/s及66MHz132MB/s及
6、33MHz。而且带有地址变换机制,可以将内部的PCI总线地址映射到内存或外围设备。在设计中设定PCI总线的时钟频率为66MHz,因此主板上PCI总线的最高传输速度可以到达264MB/s,可以知足数据的快速传输。系统利用时钟反应来弥补PCI的时钟延迟。当PCI控制器工作在PCIHOST、形式下时,其时钟源是由系统内部提供的,S3C2510有3个PCI时钟输出信号PCICLK1,PCICLK2和PCILK3,将PCI设备诊断存放器PCIDIAG0的DC3位设置为l,即将PCICLK3设置为输出无效,此时PCICLK1与PCICLK3相连,通过PCICLK3将时钟信号反应给处理器内核,这样可以使外部
7、PCI设备与PCI时钟保持一致,进而弥补时钟延迟。系统以及PCI控制器的启动顺序如图4所示。其中在对PCI控制器的特殊功能存放器进展配置时需要首先关闭中断,即设置PCIINTEN=0。然后设置PCI控制和状态存放器PCICONARB,ATS,SPL,IOP,MMP,某些需要的情况下还要设置PCI诊断存放器,这个存放器是针对测试功能的,在PCMCIAHost工作形式下不需要进展设置。然后要对与基地址有关的存放器PCIBAM0l和PCI-BATPA02进展设计,设置完之后要配置有关PCI重启和时钟的存放器,其中关键的一步是设置PCI重启和时钟存放器PCIRCCMSK=0,这是为了防止重启信号和时钟
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- 关 键 词:
- 基于 嵌入式 硬件 平台 划片 视觉 系统 设计
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