技术交底书 （发明或实用新型）.doc

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1、余姚市信杰知识产权代理有限公司 技技术术交底交底书书 （发明或实用新型） * *发明名称发明名称* *本专利发明人本专利发明人* *本专利申请人本专利申请人* *技术问题联系人技术问题联系人* *电话电话一、本专利要解决的技术问题是什么，该技术是属于哪个技术领域？ （对应现有技术的所有缺点，一一正面描述本发明所要解决的技术问题） 例：本发明主要就是为减少在腐蚀铝的人工抖动，减少劳动强度，加快腐蚀的速度、提高腐 蚀的均匀性，减少花蓝印等情况的出现。二、详细介绍技术背景，并描述已有的与本发明最相近的实现方案。 （包括两部分：背景技术及现有技术方案，应详细介绍。 ） 背景技术背景技术：目前在将硅片的

2、铝去掉是在磷酸槽里通过化学反应去掉，但是在酸槽里反应的 时候会如果不去抖动花篮就会出现局部酸温文尔雅的浓度不均匀导致腐蚀速度不一致，从 而使硅片上的有些地方腐蚀过快而钻蚀，有些地方铝又没有完全被腐蚀掉，引起花篮印、 浮胶等质量问题。 现有技术现有技术：现有技术就是通过电机和一系列机械传动，利用夹具带动花篮按照一定规律抖 动。三、现有技术的缺点是什么？针对这些缺点，说明本发明的目的。 现有技术的缺是针对本发明的优点来说的。 现有技术的缺点可以是成本高，效率低，耗时间等类似问题。 现有技术的缺点现有技术的缺点：1.整个装置在清洗酸槽上方，所用的材料必须是抗强酸强碱腐蚀的，否则 时间一久就会被腐蚀掉

3、；2.在抖动时偶尔会因为震动而灰尘或者颗粒物掉到酸槽里造成沾污； 3.因为所用的材料要求比较高，所以整个装置的成本较高；4.蓝篮抖动的轨迹曲线很难符合 实际生产的要求，因为电机转速过高的话花篮晃动比较大容易造成里面的硅片损伤或者损坏。四.本发明技术方案的详细阐述，应该结合附图进行说明。 （结构说明、原理说明、动作关系说明等 机械产品，应描述机械结构组成及连接/组装关系、工作原理及工作方式； 电子产品，应描述电路结构组成、电路原理、工作方式及过程； 化学产品（含药品） ，应提供配方、各成份的分子式及物理化学性能（或药物成份的 药理、药性） 、生产工艺条件及工艺流程； 方法发明，应详细描述各操作步

4、骤及相应工艺参数等。 ）本装置的结构图参照附图本装置的结构图参照附图：如是机械或电子产品应该清楚的标注专利各个部件的名称及对应 关系余姚市信杰知识产权代理有限公司 五.本发明的关键点和保护点是什么？ （具体可以根据第六部分能给本发明带来有益效果的关键技术点。 ）本发明的关键点和保护点本发明的关键点和保护点：是要使 N2 从酸槽底部均匀冒出才能达到对酸的均匀搅动的目 的，还有就是 N2 气的接入管道不能对操作员带来不变。六.与第二部分所属的技术相比，本发明有何优点？本发明与现有的技术相比优势是本发明与现有的技术相比优势是：1.成本比较低，整个装置花费在人民币 1500 元左右； 2.在腐蚀的过程

5、中操作员只需要站在旁边控制腐蚀的终点即可，不需要再去抖动，大大减 少了劳动强度；3.通过 N2 气的均匀冒出，使酸槽里面的浓度一直保持很好的一致性；4. 使用的 N2 气是高纯度的，不会因此带来沾污。七.针对第四部分的技术方案，是否还有其他替代方案同样能完成发明目的？在结构不变的情况下，可以考虑把此装置和酸槽整体加工在一起，不过费用较高。注：1.上述打*部分为必填项，请务必认真填写。 2.上述蓝色文字内容的描述为举例部分，您可根据自己专利具体情况而填写。 3.如有上述要求之外的可在第七部分之后继续补充。 4.上述内容的第四部分结构图可另行于本内发到我司指定邮箱或 QQ 在线传输。余姚市信杰知识产权代理有限公司余姚市信杰知识产权代理有限公司联系人：刘亚联系人：刘亚 电话：电话：13777109325 0574-62468695邮箱：邮箱： QQ:2580066022