纳米加工平台工艺加工及设备预约规则.doc

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1、纳米加工平台工艺加工及设备预约规则纳米加工平台工艺加工及设备预约规则为了高效、有序的服务于科研，保证工艺线顺利运行、工艺设备安全和节约工艺线运行成本，依据加工平台实际条件，订立如下工艺设备预约规程：1. 加工平台对外开放时间：8：3022：00（周一至周日全天开放，法定假日除外） 。2. 预约对象：经过加工平台设备培训并考核通过的用户才能预约工艺。3. 每周一至周六 9：0018：00 各设备机时优先向加工平台客户开放。4. 优先级较低的加工平台客户、加工平台成员参与的科研或生产项目有特殊紧急任务，可以由项目负责人提出申请并经加工平台主任批准确认后，在短期内提高优先级，完成紧急任务后优先级恢复

2、原有级别。优先级提高时间一般不超过一个月。5. 若工作时间内设备机时无人预约，原则上客户不可预约晚上和周末机时。若机时紧张或工作需要预约晚上机时，需在当天下午 17:00 之前预约；预约周末机时，需在星期五下午 17:00 之前预约，不接收临时预约。6. 连续两道工艺之间预约时间原则上必须相差 2 个小时以上，若连续两道工艺之间预约时差少于 2 个小时，由于前道工艺失败导致后道工艺取消，加工平台将全额收取后道工艺费用。7. 同一课题预约单台设备机时每次不可连续超过 4 个小时，若当天设备没有预约可临时追加预约。8. 除因设备原因导致一周内累计取消三次预约工艺的用户，平台将收取 500元机时占用

3、费并降低预约等级。9. 如实际使用时间少于预约时间，按预约时间收费。10. 如使用设备时间超过预约时间，假如后面有人预约，前一个预约人员在征得后预约人员同意后可以继续使用设备，否则，无条件停止工艺执行，并对于无法马上停止的工艺造成的后面预约用户时间延迟负责。11. 客户请按预约机时使用设备，因申请人原因不能在预约时间内开展相关工艺加工时，用户需提前取消预约机时，提前 24 小时及以上取消不收取违约费；12-24 小时之间取消收取 200 元或者机时费用的 50%（两者取其低）违约费；12 小时以内取消收取全额机时收费。12. 如客户未提前取消预约时间，超出预约时间 15 分钟没来使用设备，平台

4、将取消此步工艺预约机时，并且按照相关规定收取违约费；若不能按时使用，可在预约时间开始 15 分钟内告知设备负责人，平台将为用户预留预约机时。13. 设备出现故障造成的机时延误平台不收取违约费，待设备维修好后，平台将另行安排机时。14. 因申请人原因未能在预约时间内开展相关工艺加工时，申请人需重新预约。如由于设备故障等平台原因造成在预约时间内无法进行相关工艺，平台将尽力另行安排时间完成相关加工。15. 部分测试设备平台将实行软件控制，客户经过培训并考核合格后，由平台工作人员告知张嫔为客户开通账号，获取账号的用户根据用户名登录，平台将根据登录时间收取费用，请各位用户使用完毕后，务必退出系统，以免造成不必要的损失。16. 客户未网上预约设备机时，将严格禁止申请人使用该设备。优惠对象仅限于经过平台培训并自己操作设备的工艺。17. 最终解释权归加工平台。18. 本规定自公布之日起开始执行。加工平台2017 年 1 月 1 日