最新半导体敏磁传感器精品课件.ppt

《最新半导体敏磁传感器精品课件.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《最新半导体敏磁传感器精品课件.ppt（41页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、进入夏天，少不了一个热字当头，电扇空调陆续登场，每逢此时，总会进入夏天，少不了一个热字当头，电扇空调陆续登场，每逢此时，总会想起那一把蒲扇。蒲扇，是记忆中的农村，夏季经常用的一件物品。记想起那一把蒲扇。蒲扇，是记忆中的农村，夏季经常用的一件物品。记忆中的故乡，每逢进入夏天，集市上最常见的便是蒲扇、凉席，不论男女老忆中的故乡，每逢进入夏天，集市上最常见的便是蒲扇、凉席，不论男女老少，个个手持一把，忽闪忽闪个不停，嘴里叨叨着少，个个手持一把，忽闪忽闪个不停，嘴里叨叨着“怎么这么热怎么这么热”，于是三，于是三五成群，聚在大树下，或站着，或随即坐在石头上，手持那把扇子，边唠嗑五成群，聚在大树下，或站着

2、，或随即坐在石头上，手持那把扇子，边唠嗑边乘凉。孩子们却在周围跑跑跳跳，热得满头大汗，不时听到边乘凉。孩子们却在周围跑跑跳跳，热得满头大汗，不时听到“强子，别跑强子，别跑了，快来我给你扇扇了，快来我给你扇扇”。孩子们才不听这一套，跑个没完，直到累气喘吁吁，。孩子们才不听这一套，跑个没完，直到累气喘吁吁，这才一跑一踮地围过了，这时母亲总是，好似生气的样子，边扇边训，这才一跑一踮地围过了，这时母亲总是，好似生气的样子，边扇边训，“你你看热的，跑什么？看热的，跑什么？”此时这把蒲扇，是那么凉快，那么的温馨幸福，有母亲此时这把蒲扇，是那么凉快，那么的温馨幸福，有母亲的味道！蒲扇是中国传统工艺品，在我国

3、已有三千年多年的历史。取材的味道！蒲扇是中国传统工艺品，在我国已有三千年多年的历史。取材于棕榈树，制作简单，方便携带，且蒲扇的表面光滑，因而，古人常会在上于棕榈树，制作简单，方便携带，且蒲扇的表面光滑，因而，古人常会在上面作画。古有棕扇、葵扇、蒲扇、蕉扇诸名，实即今日的蒲扇，江浙称之为面作画。古有棕扇、葵扇、蒲扇、蕉扇诸名，实即今日的蒲扇，江浙称之为芭蕉扇。六七十年代，人们最常用的就是这种，似圆非圆，轻巧又便宜的蒲芭蕉扇。六七十年代，人们最常用的就是这种，似圆非圆，轻巧又便宜的蒲扇。蒲扇流传至今，我的记忆中，它跨越了半个世纪，也走过了我们的扇。蒲扇流传至今，我的记忆中，它跨越了半个世纪，也走过

4、了我们的半个人生的轨迹，携带着特有的念想，一年年，一天天，流向长长的时间隧半个人生的轨迹，携带着特有的念想，一年年，一天天，流向长长的时间隧道，袅道，袅 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章IEv lUv IEbBlUvbBUH lBUbRbdlUdBRRUdBRdIB

5、RUHHHHH 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 HR 12)-(7 HRpedIBUH 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 HRdRKHH bBlUvbBUH IBKUHH 材料的材料的、大，大，RH就大。金属的就大。金属的虽然很大，但虽然很大，但很很小，故不宜做成元件。在半导体材料中，由于电子的小，故不宜做成元件。在半导体材料中，由于电子的迁移率比空穴的大，且迁移率比空穴的大，且np，所以霍尔元件一般采，所以霍尔元件一般采用用N型半导体材料。型半导体材料。 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感

6、器原理与应用第七章第七章W1W2UHUHWUHRLE 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章tUUUHoHoHt/ )（)1 (tUUHoHt 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章tRRRioioit/ ) （ )1(tRRioit )1(tRROoOt dRKHH/ 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 不等位电压是不等位电压是由于元件输出极焊接不对称、厚薄不由于元件输出极焊接不对称、厚薄不均匀以及两个输出极接触不良等原因造成的，均匀以及两个输出极接触不良等原因造成的，可以通可以通过桥路平衡的原理加以补偿。过桥路平衡的原理加

7、以补偿。如图所示，如图所示， 因此当控制因此当控制电流电流I流过元件时，即使磁场强度流过元件时，即使磁场强度B等于零，在霍尔电等于零，在霍尔电极上仍有电势存在，该电势就称为极上仍有电势存在，该电势就称为不等位电势不等位电势。 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章AIU0BCDDR1R2R4ABCR3R4 在分析不等位电势时，我们在分析不等位电势时，我们把霍尔元件等效把霍尔元件等效为一个电桥为一个电桥， 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章BBBWACDWACD (b)WCADWCDAR2R3R4R1BBWDAR2R3R4R1C（a） （b） （c）WCDAR2R3R4R1B 传

8、感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 由于半导体材料的由于半导体材料的电阻率电阻率、迁移率迁移率和和载流子浓度载流子浓度等会等会随温随温度的变化度的变化而而发生变化发生变化，所以霍尔元件的内阻、输出电压等参数也，所以霍尔元件的内阻、输出电压等参数也将随温度而变化。不同材料的内阻及霍尔电压与温度的关系曲线将随温度而变化。不同材料的内阻及霍尔电压与温度的关系曲线见图，见图， 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 图中，内阻和霍尔电压都用相对比率表示。我们图中，内阻和霍尔电压都用相对比率表示。我们把把温度每变化温度每变化11时，霍尔元件输入电阻或输出电阻时，霍尔元件输入电阻或输出电阻的

9、相对变化率称为内阻温度系数，用的相对变化率称为内阻温度系数，用表示。表示。把把温温度每变化度每变化11时，霍尔电压的相对变化率称为霍尔电时，霍尔电压的相对变化率称为霍尔电压温度系数，用压温度系数，用表示。表示。 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章UHEIREUHtRt(t)RIUHRi(t)UHEIR霍尔元件温度补偿的方法很多 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 tRRHtH 10 tRRiit 10 ittRREI ittHHHRREBdRBIdRU UHEIR 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章. dtdUH RRRRRRRUiiitiH002200 000

10、RRRii 0iRR 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章) 1( ) 1(00tUUtRRHHtOOt LLOHLtRRtRtUU ) 1() 1(00 0 dtdULt 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章0 dtdULt 0) 1) 100 tRRtROLO （ 0OLRR0OLRR 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用

11、传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章第第4章章 磁敏传感器磁敏传感器第第4章第章第38页共页共157页页38式中：式中：k是位移传感器的输出灵敏度。是位移传感器的输出灵敏度。将积分后得：将积分后得： UH=kx说明，说明，霍尔电势与位移量成线性关系霍尔电势与位移量成线性关系。霍尔电势的。霍尔电势的极性极性反映了反映了元件位移的方向元件位移的方向。磁场梯度越大，灵敏度越高；磁场磁场梯度越大，灵敏度越高；磁场梯度越均匀，输出线性度越好梯度越均匀，输出线性度越好。kdxd

12、BIRdxdUHH 若磁场在一定范围内沿若磁场在一定范围内沿x方向的变化梯度方向的变化梯度dBdx为一常为一常数，则当霍尔元件沿数，则当霍尔元件沿x方向移动时，霍尔电势的变化为：方向移动时，霍尔电势的变化为：式中：式中：k是位移传感器的输出灵敏度。是位移传感器的输出灵敏度。将积分后得：将积分后得： UH=kx说明，说明，霍尔电势与位移量成线性关系霍尔电势与位移量成线性关系。霍尔电势的。霍尔电势的极性极性反映了反映了元件位移的方向元件位移的方向。磁场梯度越大，灵敏度越高；磁场磁场梯度越大，灵敏度越高；磁场梯度越均匀，输出线性度越好梯度越均匀，输出线性度越好。 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章 传感器原理与应用传感器原理与应用第七章第七章这类霍尔压力传感器是把压力先转换成位移后，再这类霍尔压力传感器是把压力先转换成位移后，再应用霍应用霍尔电势与位移关系测量压力尔电势与位移关系测量压力。41 结束语结束语