最新厦门大学材料表面工程第三章精品课件.ppt
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1、 3-1 疲劳载荷下的表面强度疲劳载荷下的表面强度 3-1-1 疲劳裂纹萌生于表面疲劳裂纹萌生于表面 在载荷的反复作用下,任何材料都会产生疲劳问题。据统计约有5090的机械结构的破坏是属于疲劳破坏。引起疲劳破坏的原因很多,但表面的影响是最大的,几乎所有的疲劳开裂都自表面(或表面层)开始。 3 3其它表面处理方法其它表面处理方法表面处理的方法是多种多样的,各种处理方法对疲劳强度的影响表面处理的方法是多种多样的,各种处理方法对疲劳强度的影响还有待于人们进一步的研究。还有待于人们进一步的研究。任何一种处理都会影响到表面对疲劳的抗力,但是究竟是增加还任何一种处理都会影响到表面对疲劳的抗力,但是究竟是增
2、加还是减少,增加或减少的程度如何,比较复杂。因为即使对于同一是减少,增加或减少的程度如何,比较复杂。因为即使对于同一种处理方法,例如电镀,镀层的种类可达上百种,各种镀层特性种处理方法,例如电镀,镀层的种类可达上百种,各种镀层特性不可能相同,因而会得出不同的结果。不可能相同,因而会得出不同的结果。3-2 3-2 表面膜层的应力表面膜层的应力以覆膜的方法对材料进行表面强化,在表面工程中占有很大的比重。以覆膜的方法对材料进行表面强化,在表面工程中占有很大的比重。一般情况下膜层与基体材料的成分和结构是不一样的,因此难免在一般情况下膜层与基体材料的成分和结构是不一样的,因此难免在界面上产生应力,应力的存
3、在将对膜层的强度产生重大的影响。界面上产生应力,应力的存在将对膜层的强度产生重大的影响。 几乎所有薄膜都存在着巨大的应力,它对薄膜的性能,特别是结合力几乎所有薄膜都存在着巨大的应力,它对薄膜的性能,特别是结合力产生很大的威胁。产生很大的威胁。 薄膜应力通常分为张应力和压应力,习惯上把张应力取正号,薄膜应力通常分为张应力和压应力,习惯上把张应力取正号,压应力取负号。压应力取负号。在张应力作用下,薄膜本身有收缩趋势,如果膜层的张应在张应力作用下,薄膜本身有收缩趋势,如果膜层的张应力超过薄膜的弹性限度,薄膜就会破裂,破裂时离开基板力超过薄膜的弹性限度,薄膜就会破裂,破裂时离开基板而翘起。而翘起。在压
4、应力作用下,薄膜有向表面扩张的趋势,在极限情况在压应力作用下,薄膜有向表面扩张的趋势,在极限情况下,压应力使薄膜向基板内侧卷曲。下,压应力使薄膜向基板内侧卷曲。3-2-1 薄膜应力的起因薄膜应力的起因 薄膜应力是由表面张力薄膜应力是由表面张力 S、热应力、热应力 T和内应力和内应力 I 三部分组成的。三部分组成的。表面张力也是一种应力,如果膜层上表面的表面张力为表面张力也是一种应力,如果膜层上表面的表面张力为 1,膜层与基板,膜层与基板表面的张力为表面的张力为 2,薄膜厚度为薄膜厚度为d,则由此产生的表面张力则由此产生的表面张力: S = ( 1 + 2)d 热应力是由于膜层与基板之间的热膨胀
5、系数不同而引起的,可表示为热应力是由于膜层与基板之间的热膨胀系数不同而引起的,可表示为: : TS 和和TM分别为沉积和测量时的基板温度;分别为沉积和测量时的基板温度; f和和 s分别为薄膜和基板的热分别为薄膜和基板的热膨胀系数;膨胀系数;Ef为薄膜的杨氏模量。为薄膜的杨氏模量。 如果如果E Ef f, f f和和 s s不随温度而变化,则上式改写成不随温度而变化,则上式改写成 T T = (= ( f f s s) E) Ef f T T 式中式中 T= TS TM。金属的热膨胀系数范围为金属的热膨胀系数范围为(1020) 10 6,玻璃的热膨胀系数约为,玻璃的热膨胀系数约为8 10 6,若
6、以玻璃为基体,若以玻璃为基体, f s 0;在室温下测定高温时沉积于;在室温下测定高温时沉积于玻璃上的金属膜,玻璃上的金属膜, T0,因此,因此 T 0,即金属膜的热应力是张应力。,即金属膜的热应力是张应力。反之,碱金属卤化物的热膨胀系数约为反之,碱金属卤化物的热膨胀系数约为(3040) 10 6,金属沉积,金属沉积在碱金属卤化物基板上时,在碱金属卤化物基板上时, f s 0,当当 T0时,时, T 0,即金属膜,即金属膜的热应力为压应力。的热应力为压应力。通过选择基板材料和沉积温度可以调节热应力的大小通过选择基板材料和沉积温度可以调节热应力的大小和性质。和性质。不过沉积温度的可调范围一般是有
7、限的。不过沉积温度的可调范围一般是有限的。一般是调节膜层和基板材料的热膨胀系数。一般是调节膜层和基板材料的热膨胀系数。内应力又称本征应力,它主要取决于薄膜的微观结构和缺陷等因素。内应力又称本征应力,它主要取决于薄膜的微观结构和缺陷等因素。 产生内应力的主要原因包括:产生内应力的主要原因包括:(1 1)沉积时真空室中的残余气体或者溅射时的工作气体进入薄)沉积时真空室中的残余气体或者溅射时的工作气体进入薄 膜,薄膜晶格结构偏离于块状材料;膜,薄膜晶格结构偏离于块状材料;(2 2)薄膜晶格常数与基板晶格常数失配;)薄膜晶格常数与基板晶格常数失配;(3 3)薄膜中的再结晶;宏观微孔和薄膜相变等。)薄膜
8、中的再结晶;宏观微孔和薄膜相变等。 3-2-2 3-2-2 沉积工艺对应力的影响沉积工艺对应力的影响(1)(1)基板温度:基板温度既影响热应力,又影响内应力。基板温度:基板温度既影响热应力,又影响内应力。 随着基板温度升高,内应力减小,热应力增加。随着基板温度升高,内应力减小,热应力增加。 (2)(2)真空度:真空室中残余氧、氮和水气对应力都有影响。真空度:真空室中残余氧、氮和水气对应力都有影响。在沉积在沉积SiO时,随着水气分压升高,其应力从张应力逐渐变时,随着水气分压升高,其应力从张应力逐渐变为压应力。为压应力。在沉积在沉积Al膜时,若真空度低于膜时,若真空度低于10 2 Pa,则,则A1
9、膜由通常的张应膜由通常的张应力变为压应力,其它金属也有类似现象。这是因为气体渗入力变为压应力,其它金属也有类似现象。这是因为气体渗入金属晶格,从而抑制了金属晶格的膨胀。金属晶格,从而抑制了金属晶格的膨胀。 (3)沉积速率:沉积速率对应力的影响缺乏规律性。沉积速率:沉积速率对应力的影响缺乏规律性。根据根据Hoffman模型,内应力将随沉积速度增大而增大。模型,内应力将随沉积速度增大而增大。但有些薄膜的内应力却相反变化,即随沉积速率增但有些薄膜的内应力却相反变化,即随沉积速率增大而减小。大而减小。 (4) (4)膜厚:有些薄膜的应力与膜厚的关系是一个膜厚:有些薄膜的应力与膜厚的关系是一个N形。形。
10、(5)(5)热处理:薄膜在空气中烘烤对于消除缺陷、减小应力有着重要的热处理:薄膜在空气中烘烤对于消除缺陷、减小应力有着重要的 作用。作用。在低温退火时,原子主要通过晶格振动交换能量,使位于畸变位置的在低温退火时,原子主要通过晶格振动交换能量,使位于畸变位置的原子得到恢复;在较高温度下,产生体内和界面扩散,发生再结晶,原子得到恢复;在较高温度下,产生体内和界面扩散,发生再结晶,使晶粒增大,晶界减小,应力降低。使晶粒增大,晶界减小,应力降低。(6)(6)时效:随着薄膜吸潮,应力可减小。对时效:随着薄膜吸潮,应力可减小。对MgFMgF2 2单层膜,应力可降低单层膜,应力可降低 5050左右。左右。
11、(7)(7)混合膜和多层膜:用具有压应力和张应力两种材料混合的单层膜混合膜和多层膜:用具有压应力和张应力两种材料混合的单层膜 或由它们组成的多层膜可显著降低薄膜应力。或由它们组成的多层膜可显著降低薄膜应力。 3-3 3-3 表面活性介质对力学性能的影响表面活性介质对力学性能的影响 3-3-1 Rebingry3-3-1 Rebingry效应效应 固体的机械性能,诸如强度、塑性、耐磨性等都可能受到与其表面接固体的机械性能,诸如强度、塑性、耐磨性等都可能受到与其表面接触的气体和液体的影响而产生显著变化。在许多情况下,这些环境介触的气体和液体的影响而产生显著变化。在许多情况下,这些环境介质的作用会使
12、固体强度大大降低。质的作用会使固体强度大大降低。因环境介质物理、化学的影响及表面自由能减小而导致固体表面强度因环境介质物理、化学的影响及表面自由能减小而导致固体表面强度降低的现象,称为降低的现象,称为Rebingry效应。效应。任何固体存在这种效应。例如,玻璃和石膏吸附水蒸气后,其强度明任何固体存在这种效应。例如,玻璃和石膏吸附水蒸气后,其强度明显下降。铜表面覆盖熔融的铋薄膜后,会使铜原来的高塑性丧失,在显下降。铜表面覆盖熔融的铋薄膜后,会使铜原来的高塑性丧失,在远比空气中拉伸低得多的应力下发生脆性破坏。远比空气中拉伸低得多的应力下发生脆性破坏。 从热力学的观点来看,固体表面和环境介质的作用可
13、分两类:从热力学的观点来看,固体表面和环境介质的作用可分两类:一类是不可逆的,一类是可逆的。一类是不可逆的,一类是可逆的。腐蚀属于前者,是不可逆的,腐蚀属于前者,是不可逆的, 腐蚀会使表面出现腐蚀坑,产生应腐蚀会使表面出现腐蚀坑,产生应力集中,削弱机件的表面强度。力集中,削弱机件的表面强度。Rebingry效应属于后者,是可逆的,该效应也可以显著地改变材料效应属于后者,是可逆的,该效应也可以显著地改变材料表面的机械性能。表面的机械性能。 RebingryRebingry效应最普遍最重要的表现形式有两点:效应最普遍最重要的表现形式有两点:使塑性增加使塑性增加降低屈服极限和硬化指数。降低屈服极限和
14、硬化指数。使脆性增加使脆性增加塑性和强度急剧降低。塑性和强度急剧降低。这种效应一般是分子性质与该固体分子相近这种效应一般是分子性质与该固体分子相近的液体所引起。对于金属来说,与其相近的的液体所引起。对于金属来说,与其相近的金属熔体就可产生此种效应。如黄铜和锌有金属熔体就可产生此种效应。如黄铜和锌有水银时就变脆水银时就变脆( (图图3-14)3-14)。熔盐可剧烈降低离子晶体的强度和塑性,熔熔盐可剧烈降低离子晶体的强度和塑性,熔融的碱金属和铝对石墨有显著影响,而有机融的碱金属和铝对石墨有显著影响,而有机固体则对有机液体十分敏感。固体则对有机液体十分敏感。 Rebingry Rebingry效应具
15、有以下特点:效应具有以下特点: 环境介质的影响有明显的化学特征,即并非任何液体金属都会改变环境介质的影响有明显的化学特征,即并非任何液体金属都会改变某一固体的金属性能,只有一定的对该固体表面具有活性的液体金某一固体的金属性能,只有一定的对该固体表面具有活性的液体金属才有上述的效果。如水银可降低锌的强度和塑性,但对同族元素属才有上述的效果。如水银可降低锌的强度和塑性,但对同族元素镉的机械性能无影响,尽管镉与锌的点阵类型也一样。镉的机械性能无影响,尽管镉与锌的点阵类型也一样。 溶解和腐蚀需要大量的介质,而溶解和腐蚀需要大量的介质,而Rebingri效应只需少量的表面活性效应只需少量的表面活性物质即
16、可。在固体金属的表面仅需微米数量级的液体金属薄膜就可物质即可。在固体金属的表面仅需微米数量级的液体金属薄膜就可导致金属的脆性破坏。在个别情况下,试样表面有几滴表面活性的导致金属的脆性破坏。在个别情况下,试样表面有几滴表面活性的熔融金属润湿,就可引起低应力脆断。熔融金属润湿,就可引起低应力脆断。 表面活性熔融物质的作用十分迅速。例如,对固体进行切削和磨表面活性熔融物质的作用十分迅速。例如,对固体进行切削和磨削加工,虽然加工速度达几十米每秒,活性物质的影响仍然十削加工,虽然加工速度达几十米每秒,活性物质的影响仍然十分显著。分显著。 影响可逆,即从固体表面去除活性物质后,其表面机械性能一般影响可逆,
17、即从固体表面去除活性物质后,其表面机械性能一般可以恢复。可以恢复。 拉应力和表面活性物质同时存在作用更明显。拉应力和表面活性物质同时存在作用更明显。3-3-2 3-3-2 影响影响RebingryRebingry效应的因素效应的因素1 1固体和液体金属的本质固体和液体金属的本质 降低固体和环境介质界面的表面自由能对出现降低固体和环境介质界面的表面自由能对出现RebingryRebingry效应有关键效应有关键的作用。的作用。固体和使表面能强烈降低的介质接触,引起的后果之一就是急剧改固体和使表面能强烈降低的介质接触,引起的后果之一就是急剧改变其表面的机械性能。变其表面的机械性能。 液体金属在固体
18、中的溶解度越小,则在相应的界面上表面能的降低液体金属在固体中的溶解度越小,则在相应的界面上表面能的降低越强烈。越强烈。与形成共晶体的金属接触时,会使强度降低;而与形成金属间化合与形成共晶体的金属接触时,会使强度降低;而与形成金属间化合物的金属接触时,强度则不会降低。物的金属接触时,强度则不会降低。因此,若熔融物可和固态金属形成共晶体,不形成金属间化合物,因此,若熔融物可和固态金属形成共晶体,不形成金属间化合物,且在固相中溶解度较小且在固相中溶解度较小(不高于百分之几不高于百分之几),则这样的熔融物可,则这样的熔融物可能使固态金属的强度和塑性强烈下降。能使固态金属的强度和塑性强烈下降。2温度和变
19、形速度温度和变形速度温度和变形速度对温度和变形速度对RebingryRebingry效应的出现有很大影响。效应的出现有很大影响。3固态金属的结构固态金属的结构 固态金属的结构对存在液体金属时的脆性的发生也有很大的影响。固态金属的结构对存在液体金属时的脆性的发生也有很大的影响。一般来说,原始材料塑性愈差,则在相应的熔融物的影响下愈易由塑一般来说,原始材料塑性愈差,则在相应的熔融物的影响下愈易由塑性断裂变为脆性断裂。所以像加工硬化、时效、辐照、缺口等一性断裂变为脆性断裂。所以像加工硬化、时效、辐照、缺口等一切降低塑性的因素,往往会促进有熔融金属存在时脆性的发生。切降低塑性的因素,往往会促进有熔融金
20、属存在时脆性的发生。3-3-4 Rebingry效应的利用及防止效应的利用及防止u利用吸附性降低强度的这种特性,为固体的顺利加工提供了广泛的利用吸附性降低强度的这种特性,为固体的顺利加工提供了广泛的 可能性。例如降低强度引起脆性可利于精磨。使材料表面增塑,可能性。例如降低强度引起脆性可利于精磨。使材料表面增塑,会有利于金属压力加工,诸如拔长,轧制,模锻,拉丝等等。会有利于金属压力加工,诸如拔长,轧制,模锻,拉丝等等。u表面活性介质强烈影响磨削过程。用易熔金属做金钢石砂轮的填料表面活性介质强烈影响磨削过程。用易熔金属做金钢石砂轮的填料 可以大大提高加工金属陶瓷、硬质合金和特殊钢的速度,也使砂可以
21、大大提高加工金属陶瓷、硬质合金和特殊钢的速度,也使砂轮的耐磨性提高几倍,并显著提高磨削生产率。轮的耐磨性提高几倍,并显著提高磨削生产率。u磨削过程能这样获得显著改善,是由于粘结在砂轮内的易熔金属,磨削过程能这样获得显著改善,是由于粘结在砂轮内的易熔金属, 在切削时的高温作用下被熔化了,从而促进被加工材料表面断裂。在切削时的高温作用下被熔化了,从而促进被加工材料表面断裂。 而且,微量活性金属提高磨削生产率,并不影响被磨零件以后的机而且,微量活性金属提高磨削生产率,并不影响被磨零件以后的机 械寿命。械寿命。 在大部分情况下,在大部分情况下,RebingryRebingry效应都是有害的效应都是有害
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