最新半导体材料与特性PPT课件.ppt
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1、-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design2半導體材料與特性 (1/25)前言最常見的半導體為矽矽,用在半導體元件及積體電路其他特殊用途的則有砷化鎵砷化鎵及相關的化合物,用在非常高速元件及光元件半導體原子:質子、中子、電子電子能量隨殼層半徑增加而增加價電子:最外層的電子,化學活性主要由其數目而定-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design9外質半導體加入雜質本質半導體的電子電洞濃度相當小,僅可有微量電流。適當地加入控制量的某些雜質可大
2、為提高。適宜的雜質可進入晶格取代原來的電子(即使價電子結構不同),常用雜質來自三五族半導體材料與特性 (8/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design10施體雜質:貢獻自由電子,如磷常用第五族元素有磷與砷。四個價電子用以滿足共價鍵的要求。第五個價電子則鬆散去束縛在原子上,室溫下可有足夠熱能破壞鍵結而成自由電子,因而對半導體電流有所貢獻。當第五個價電子移動到導電帶,磷離子則形成帶正電的離子。半導體材料與特性 (9/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit An
3、alysis and Design11剩下之原子帶正電荷,但在晶格內不可移動,所以對電流無貢獻施體雜質產生自由電子,但不產生電洞摻雜:加入雜質,控制自由電子(洞)濃度n型半導體:含施體雜質原子之半導體半導體材料與特性 (10/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design12受體雜質:接受價電子常用第三族元素有硼。三個價電子用在三個共價鍵 ,剩下一開放的鍵結位置。室溫下鄰近的價電子可有足夠 熱能而離至這個位置,因而產生電洞。剩下之原子帶負電荷,不可移動,有產生電洞而產生電洞電流。半導體材料與特性 (11/25)
4、-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design13受體體雜質產生電洞,但不產生電子。p型半導體:含受體雜質原子之半導體。外質半導體含雜質原子之半導體材料,亦稱摻雜半導體。摻雜過程中可控制以決定材料之導電度及電流。半導體材料與特性 (12/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design14電子電洞之濃度關係在熱平衡下為n0 為自由電子之熱平衡濃度, p0為電洞之熱平衡濃度, ni為本質載子濃度室溫下每個施(受)體原子產生一個自由電子(電
5、洞)若施(受)體濃度 遠大於本質濃度。 200inpn)(00adNpNn2200()iidannpnNNadNN )(半導體材料與特性 (13/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design15多數及少數載子:相差數個階級多數及少數載子:相差數個階級n型半導體:電子為多數載子,電洞為少數載子p型半導體:電洞為多數載子,電子為少數載子半導體材料與特性 (14/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design16Example 1.
6、2:求熱平衡下之電子電洞濃度帶入公式即可考慮在 T=300 K 下矽被磷摻雜至 Nd=1016cm-3 的濃度。請記得例1.1中ni=1.51010cm-3解解:因Ndni,電子濃度為 而電洞濃度變為16310odnNcm210243161.5 102.25 1010iodnpcmN半導體材料與特性 (15/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design17漂移與擴散兩種導致電子電洞(統稱載子)在半導體內移動之程序漂移:由電場引起擴散:由濃度改變(濃度梯度)所引起梯度的成因可為非均勻摻雜分佈或在某區注入某量的電
7、子或電洞漂移-假設給半導體一個電場,此場產生力量作用在自由電子及電洞而產生漂移速度與移動半導體材料與特性 (16/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design18n型半導體:電場方向與對電子產生之力量反向漂移速度 ,負號表電場相反方向 為電子遷移率,可想成電子在半導體內移動效果的參數。低摻雜矽之典型值為1350 (cm2/V-s)漂移電流密度 n是電子濃度(個/cm3),e是電子電荷 漂移電流與電子流反向,但與電場同向EvndnnEenEenenvJnndnn)(半導體材料與特性 (17/25)-Donald
8、 A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design19p型半導體:電場方向與對電洞產生之力量同向漂移速度 ,正號表相同方向 為電洞遷移率,低摻雜矽之典型值為480 (cm2/V-s),略小於一半的電子遷移率漂移電流密度 p是電洞濃度(個/cm3),e是電子電荷 漂移電流與電場與電洞流同向EvpdpPEepEepenvJnpdpp)(半導體材料與特性 (18/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design20總漂移電流密度:半導體有電子及電洞 為半導體的
9、導電度與電子電洞之濃度有關,單位為(-cm)-1。製成時選擇摻雜可控制導電度。 , 為電阻率,單位為(-cm) 。 可看成另一形式的歐姆定律。1()npnpJenEepEenepEEE1半導體材料與特性 (19/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design21Example 1.3:求漂移電流密度 考慮在 T=300 K 下之矽摻雜濃度Nd=8*1015cm-3的砷原子。假設遷移率各為 與 。且外加電場為100 V/cm。解解:由例1.1 之結果知,室溫下矽之ni=1.51010cm-3。 所以,從(1.9)
10、式得21024315(1.5 10 )2.81 108 10idnpcmN21350/ncmVs2480/-pcmV S半導體材料與特性 (20/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design22由於兩種載子的濃度有很大的差異,因此導電度可簡化為或漂移電流可為npnenepen19151(1.6 10)(1350)(8 10 )1.73()cm2(1.73)(100)173 /JEA cm半導體材料與特性 (21/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Ana
11、lysis and Design23擴散:粒子由高濃度向低濃度流動是一種統計現象,與動力學理論有關高濃度粒子一半往低濃度流,低濃度亦一半往高濃度流,所以淨結果是高濃度粒子往低濃度流電子擴散方向與電流方向:一維方程式e電荷量Dn為電子擴散係數 電子濃度梯度電流方向為正X軸方向nndnJeDdxdndx半導體材料與特性 (22/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design24電洞擴散方向與電流方向:一維方程式e電荷量Dp為電子擴散係數 電子濃度梯度電流方向為負X軸方向愛因斯坦方程式擴散現象的擴散係數與漂移現象的遷
12、移率兩者間的關係總電流密度:漂移與擴散兩成份之總和通常僅其中一項主導-ppdpJeDdxdpdx0.026 pnnpDDkTVe半導體材料與特性 (23/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design25多出載子半導體元件(熱)平衡的消失供給電壓,或有電流存在時若價電子與照入之光子交互作用,可能獲得足夠的能量以破壞共價鍵,而產生電子電洞對增加的電子電洞即多出電子及多出電洞電子(電洞)濃度: 為多出電子(電洞)濃度 為熱平衡下的電子(電洞)濃度00 ()nnnppp ()np ()OOnp半導體材料與特性 (24
13、/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design26穩態:載子不會無限增加電子電洞復合過程:自由電子與電洞復合多出載子生命期:多出電子與電洞復合前存在的平均時間半導體材料與特性 (25/25)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design27PN接面 (1/22)前言pn接面:半導體電子學的真正威力所在在多數半導體應用中,整個半導體材料是單一晶格,一區摻雜成p型,相鄰區則摻雜成n型平衡的PN接面摻雜分佈及冶金接面- (b)圖的x =
14、0的介面-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design28在合金接面處最初電子電洞到對邊材料之擴散梯度最大從p區的電洞流使帶負電荷的受體離子裸露從n區的電子流使帶正電荷的施體離子裸露在此區域造成正負電離子分離空間,形成內部電場擴散之終止:若無外加電壓,引發之電場會使擴散停止,而達到熱平衡治金接面跨此接面電子電洞皆有很大的濃度梯度PN接面 (2/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design29空乏區(空間電荷區):上述正負離子所存在的
15、區域此區域內無可移動之電子或電洞內建電位障 :在p(n)區受(施)體濃度VT:熱電位,室溫T=300 K約為0.026 V因對數函數,Vbi與摻雜濃度關係不重,一般矽的pn接面的Vbi約為下例題所求值附近0.1-0.2 V之間無法以電壓計量得,因探針與半導體會形成新的電位障保持平衡下,此電位未產生電流22lnlnidaTidabinNNVnNNekTV)(daNNPN接面 (3/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design30Example 1.5 求內建電位障。考慮在 T=300 K 下之矽pn接面,p區摻
16、雜至Na=1016 cm-3 而n區摻雜至Nd=1017 cm-3解解:隨例題1-1可發現在室溫下,矽的本質載子濃度約為帶入公式可求得1031.5 10incmPN接面 (4/22)16172102(10 )(10 )ln()(0.026)ln0.757(1.5 10 )adbiTiN NVVVn-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design31反偏下的PN接面特性正電壓接在N區外加電壓所形成電場EA的方向與空乏區電場方向相同使P(N)區的電洞(電子)向外側電路推回PN接面無載子流過所以反偏下無電流產生因空間電荷區的
17、電場增加,正負離子電荷也增加,在摻雜濃度不變下,空間電荷區的寬度會增加PN接面 (5/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design32接面電容(空乏層電容)Cj0為無施加電壓時之接面電容因額外空乏區的正負離子電荷隨反偏而增加值常在或低於pF,隨反向偏壓增加而減少,最大電場發生在冶金接面不論空間電荷區之電層或施加的反偏電壓不可能無限增加,因在某個點即發生崩潰而產生極大的反偏電流。接面電容將影響PN接面開關的特性2/101biRjjVVCCPN接面 (6/22)-Donald A. Neamen-Microele
18、ctronics Circuit Analysis and Design33Example 1-6考慮在 T=300 K 下具Na=1016cm-3及Na=1016cm-3摻雜的矽pn接面。設Na=1016cm-3且Cjo=0.5PF。計算VR=1V及VR=5V下之接面電容。解解:內建電位由下決定VR=1V與VR=5V時的電容各為16152102(10 )(10 )ln()(0.026)ln0.637(1.5 10 )adbiTiN NVVVn1/21/21(1)(0.5)(1)0.3120.637RjjobiVCCpFV1/25(0.5)(1)0.1680.637jCpFPN接面 (7/22
19、)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design34順偏下的PN接面:順向偏壓使電位障下降施加電壓所導致的施加電場與熱平衡的空間電荷區的電場反向,所以總電場小於熱平衡值順偏電流:電子(電洞)由n至p(p至n)因施加電電場破壞了原來擴散與E場力間的平衡順向偏壓需小於內建電位障PN接面 (8/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design35順向電流的穩態條件多數載子電子(電洞)從N (P)區擴散到對向P(N)區進入對向區的主要載子成為此
20、區的少數載子在空乏區邊緣的少數載子濃度分佈增加多出的少數載子擴散至P-與N-中性區與此區的主要載子複合PN接面 (9/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design36理想電壓與電流關係IS為反向飽和電流,與摻雜濃度及接面截面積有關。對矽的PN接面而言,其值在10-15至10-13 AVT為熱電壓,室溫下約為0.026 Vn為放射係數或理想因子,介於1至2間(通常用1)與空乏區的電子電洞結合有關小電流時複合電流主宰,值會接近2大電流時複合電流影響不大,值則接近11TDnVvSDeIiPN接面 (10/22)-D
21、onald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design37Example 1.7考慮一在 T=300 K下之矽PN接面,其Is=10-14A且n=1。求vD=+0.70V及vD=-0.70V時之二極體電流。解解:vD=+0.70V時,pn接面乃順向偏壓,可得 vD=-0.70V時,pn接面乃反向偏壓,可得-0.70()14140.0261(10)110DTvVDSiIeeA 0.70()140.0261(10)14.93DTvVDSiIeemAPN接面 (11/22)-Donald A. Neamen-Microelectron
22、ics Circuit Analysis and Design38PN接面二極體PN接面之電流-電壓特性小量順向偏壓的改變,順向電流便增加好幾個數量級順向偏壓大於0.1V則公式內之-1項可略去1TDnVvSDeIi線性座標軸線性座標軸對數座標軸對數座標軸PN接面 (12/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design39PN接面二極體:電壓控制的開關反向偏壓時為關,只有非常小量之電流順向偏壓時為開,只要相當小的施加電壓便產生相當大的電流反向飽和電流:反偏至少0.1 V時,電流為-IS,為反向且定值, 故稱反向飽
23、和電流,典型值在10-14 A產生電流:實際的反偏電流較大, 多出的電流是由於在空間電荷區產 生電子及電洞。典型反向偏壓電流 為10-9 A(1 nA)PN接面 (13/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design40溫度效應給定一電流,溫度增加則要求的反向偏壓減少VT為溫度之函數,對矽二極體而言約為2 mV/CIS為本質載子濃度ni之函數,所以與溫度強烈有關理論上每增5 C,IS約變為雙倍真正反偏二極體電流一般是每增 10 C則變雙倍(含VT之影響)鍺二極體的ni相對較大,所以 有較大的反向飽和電流,因此
24、溫度增加而使反向電流增加, 此不利於多數電路應用PN接面 (14/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design41崩潰電壓現象夠大的反偏電壓在空乏區形成夠大的電場,使得共價鍵得以被打斷,而形成電子電洞對。電子(電洞)被電場掃掃至n (p)區,而形成反偏電流崩潰電流可被外部電路或因高功率燒毀而限定崩潰電壓與製成參數有關,約在50-200 VPIV反向電壓尖值:若要避免崩潰則不可超過此值PN接面 (15/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis
25、and Design42雪崩崩潰:少數載子越過空間電荷區,得到足夠的動能而在移動過程中獲得電場能量,並在遷移過程中再度撞擊破壞共價鍵。產生的電子電洞對又再形成更多次的碰撞,所以引發雪崩過程雪崩崩潰與摻雜濃度有關係濃度越高雪崩崩潰電壓越小(1)(2)(3)(4)(5)PN接面 (16/22)-Donald A. Neamen-Microelectronics Circuit Analysis and Design43齊納(Zener)效應:大量載子穿透(tunneling) PN接面的行為最常發生在非常高摻雜濃度的接面一般齊納崩潰電壓大多發生在反偏5V以內PN接面 (17/22)-Donald
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