ITO玻璃基础知识.ppt

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1、2主要内容主要内容一、什么是一、什么是ITO玻璃；玻璃； 二、二、ITO玻璃的基本玻璃的基本结构结构三、三、ITO玻璃的分类玻璃的分类 四、四、ITO玻璃的生产玻璃的生产工艺流程；工艺流程；五、五、ITO玻璃的评价参数；玻璃的评价参数； 六、六、ITO膜面的判定；膜面的判定；七、七、ITO玻璃使用常见问题；玻璃使用常见问题； 八、八、ITO玻璃的使用玻璃的使用注意事项；注意事项；3 ITO( ITO(Indium Tin Oxide) )玻璃简介玻璃简介 在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜，就形成了导电膜，就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃，通常用

2、的氧化铟锡玻璃，通常简称为常简称为ITO玻璃。玻璃。特点特点：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻璃一样高的透明度璃一样高的透明度一、什么是一、什么是ITO4 ITO作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。5二、二、ITO玻璃的基本结构玻璃的基本结构 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀

3、ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。6ITO玻璃的基本结构玻璃的基本结构:基板基板sio2 ITO7基板基板: 常用的基板厚度有常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm 基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子 根据材料的不同根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业行

4、业中较常用的为钠钙型玻璃中较常用的为钠钙型玻璃.优点优点缺点缺点钠钙型玻璃钠钙型玻璃成本低成本低含有钠、钾等离子含有钠、钾等离子, ,易产易产生渗透生渗透, ,影响产品性能影响产品性能硼硅型玻璃硼硅型玻璃玻璃硬度高玻璃硬度高, ,透透过率好过率好成本较高成本较高钠钙型玻璃基本成份钠钙型玻璃基本成份:成份成份AlAl2 2O O3 3CaOCaOFeFe2 2O O3 3MgOMgONaNa2 2O+O+K K2 2O OSOSO2 2S Si iO O2 2含量含量0.5-1.90.5-1.97-127-120-0.20-0.21.0-4.51.0-4.513-1513-150-0.30-0.

5、370-7370-738（1）Si02层的作用层的作用:主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到渗透到ITO层中层中,影响影响ITO层的导电能力层的导电能力.（2）SiO2层的膜厚层的膜厚: 标准膜厚一般为标准膜厚一般为20-30nmSi02层：层：9ITO(Indium Tin Oxid)层层:为氧化铟锡的透明导电层为氧化铟锡的透明导电层,其中其中I表表示示In2O3，T表示表示SnO2,一般一般Sn（即即Tin)的含量约为的含量约为10%。随着随着ITO层厚度的增加层厚度的增加,ITO层的厚层的厚度逐渐减小度逐渐减小.二、二、ITO玻璃的基本结构玻璃的

6、基本结构10三、三、ITO玻璃的分类玻璃的分类根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：类型类型说明说明TNTN未抛光型未抛光型直接在玻璃的浮法面进行镀膜HTNHTN简单抛光型简单抛光型/TN/TN精选玻璃精选玻璃将玻璃的浮法面进行简单的抛光后,在抛光面进行镀膜STNSTN超抛光型超抛光型将玻璃的浮法面进行精细的抛光后,在抛光面进行镀膜11四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：（1）切割倒角；（2）抛光；（3）镀膜注：注：TN型玻璃不需要抛

7、光。生产工艺流程更简单。型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。12ITO玻璃简要生产工艺流程如下：玻璃简要生产工艺流程如下：原片来原片来料检验料检验切割切割磨边磨边倒角倒角清洗清洗检验检验清洗清洗抛光抛光检查检查SI02镀膜镀膜ITO镀膜镀膜检验检验包装包装入库入库四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程TN型玻璃不需经此流程13（1）切割磨边的工艺流程：）切割磨边的工艺流程：切割切割磨边磨边倒角倒角清洗清洗检查检查入库入库磨边类型及规格要求：磨边类型及规格要求： 通常分为通常分为C型和型和R型两种型两种W0.05mm W 0.4mm，45角角 W0.05mm W 1.2mm 曲面半

8、径曲面半径 R 50mm四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程C型型R型型14倒角的形状及公差倒角的形状及公差四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程15（2）抛光工艺流程：）抛光工艺流程： 用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于STN型型ITO玻璃是必须经过的一道生产流程玻璃是必须经过的一道生产流程倒角后原倒角后原片抛光片抛光清洗清洗检查检查入库入库包装包装四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程16（3）镀膜工艺流程：）镀膜工艺流程：四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程17镀膜方法：镀膜方法：

9、镀膜的方法有：喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真镀膜的方法有：喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。磁控测射法：磁控测射法：在高真空反应室中充入一定比例的在高真空反应室中充入一定比例的02和和Ar的混合气体，在直流高压下，的混合气体，在直流高压下，Ar被电离，在电场作用下轰击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射被电离，在电场作用下轰击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射出来，沉积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧化铟锡膜。出来，沉积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧化铟锡膜。

10、四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程18五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数5.1透过率：透过率：在波长为在波长为550nm的光波照射下，具有的光波照射下，具有SI02阻档阻档层玻璃的透过率不小于层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻，其主要取决于玻璃材料、璃材料、ITO厚度和折射率。厚度和折射率。 透过率定义：透过率定义：透过玻璃的光通量透过玻璃的光通量T2与入射光通量与入射光通量T1之比的百分率之比的百分率Tt=T2/T1X100%。195.2方块电阻方块电阻:如图如图d为膜厚，为膜厚，I为电流，为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，为膜厚在电流方向上的长度，L2为

11、膜层在垂为膜层在垂直电流方向的长度，直电流方向的长度，为导电膜的体电阻率。为导电膜的体电阻率。和和d可以认为是不变的可以认为是不变的定值，当定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值为定值/ d，这就是方块电阻的定义，即，这就是方块电阻的定义，即R= / dL2L1dIR=L1/(dL2)五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数205.3平整度平整度:平整度可用平整度可用h/1表示，意思为在长度为表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低的范围内，表面最高点与最低点的差值为点的差值为h。 Lh玻璃微玻璃微观表面观

12、表面ITO玻璃基板平整度参数包括：玻璃基板平整度参数包括： 1、玻璃表面粗糙度；、玻璃表面粗糙度； 2、基板表面波纹度；基板表面波纹度； 3、基板翘曲度；基板翘曲度； 4、基板垂直度；基板垂直度； 5、ITO膜表面粗糙度；膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。玻璃基板、膜厚均匀度。 五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数215.3.2基板翘曲度基板翘曲度:用用h/L表示表示(如图如图) 即翘曲的高度与翘起边的长度之比即翘曲的高度与翘起边的长度之比Lh 其中要求如下其中要求如下: 厚度厚度0.7mm的基片玻璃，的基片玻璃， 翘曲度（翘曲度（h/L）0.1%。 厚度厚度0.55mm的

13、基片玻璃，翘曲度（的基片玻璃，翘曲度（h/L）0.15%。 不允许有不允许有S形翘曲形翘曲五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数225.3.3基板垂直度基板垂直度:用用a/L表示表示(如图如图) 用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度La通常通常a/L0.1%五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数235.4化学稳定性化学稳定性:ITO镀膜层的耐化学性能应符合表镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。中技术要求。a) 耐碱性耐碱性 镀层在温度为镀层在温度为602, 浓度为浓度为10%的氢氧化钠的氢氧化钠(分析纯分析纯)溶液中浸泡溶液中浸泡5分分钟钟, I

14、TO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。b) 耐酸性耐酸性 在在252, 6%盐酸盐酸(分析纯分析纯)溶液中浸泡溶液中浸泡2分钟分钟, ITO膜的方电阻与浸泡膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过前的方电阻相比不得超过110%。c) 耐溶剂性能耐溶剂性能 将镀膜玻璃放入丙酮将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯分析纯)、无水乙醇、无水乙醇(分析纯分析纯) 中浸泡中浸泡5分钟后，分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数245.5热稳定性热稳定性:在空气中经在

15、空气中经30分钟分钟3005（触摸屏用（触摸屏用ITO玻玻璃是在璃是在2005）高温后，）高温后，ITO膜的方阻的变膜的方阻的变化率小于化率小于300% 5.6附着力附着力:用用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开胶带粘在玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象层无明显开裂现象五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数25六、六、ITO膜面的判定膜面的判定拉伸浮法方向相关定义相关定义:浮法方向浮法方向:在基板玻璃制造过程中在基板玻璃制造过程中,液态玻璃流动的方向液态玻璃流动的方向.26ITO膜面主要判定方法膜面主要判定方法:(1)将万用表打至欧姆档将万用表打至欧姆档,用探针分别测试两个点用探针分别测试

16、两个点,如果显示不为如果显示不为”1”,则则所测试面为所测试面为ITO膜面膜面;(2)用方块电阻测试仪测试面电阻用方块电阻测试仪测试面电阻,如果显示电阻值无穷大如果显示电阻值无穷大,测所测面为测所测面为非非ITO膜面膜面(3)通过大角识别通过大角识别:以以1614英寸的玻璃为例英寸的玻璃为例六、六、ITO膜面的判定膜面的判定27七、七、ITO玻璃使用常见问题玻璃使用常见问题ITOITO玻璃异常玻璃异常LCDLCD的影响的影响基板中的钠离子发生渗透字肥基板的波纹度较差排骨彩虹基板的粗糙度较差涂膜的均匀性；点状彩虹面电阻不均蚀刻易发生断短路玻璃表面较脏内污,短断路ITO测射不均上下短路翘曲度差LC

17、D生产中定位不准表面伤痕、异物、气泡LCD显示效果异常磨边倒角粗糙制程中易破损常见常见ITO玻璃异常对玻璃异常对LCD产品的影响产品的影响:28八、八、ITO玻璃的使用注意事项玻璃的使用注意事项主要注意事项主要注意事项:1、ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度温度28度以下，湿度不大于度以下，湿度不大于70%RH为宜；为宜；2、ITO玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，如不能尽快用完，应重新密封；如不能尽快用完，应重新密封；3、拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手、拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持夹持”玻璃的两玻璃的两边，严禁裸手接触玻璃表面；边，严禁裸手接触玻璃表面；4、严禁一支手拿两片以上的玻璃、严禁一支手拿两片以上的玻璃5、在拿取玻璃时应轻拿轻放，保持玻璃的垂直放置，严禁水、在拿取玻璃时应轻拿轻放，保持玻璃的垂直放置，严禁水平叠放；平叠放；6、严禁玻璃间的直接接触、严禁玻璃间的直接接触29结束结束