ESD知识培训.ppt

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1、ESD知识培训知识培训培训目的培训目的 提醒所有員工增强提醒所有員工增强ESDESD意识意识, ,明白明白“靜電靜電”對對ICIC等电子元器件等电子元器件的破壞是一個非常嚴重的問題的破壞是一個非常嚴重的問題, ,相相信有大約信有大約25%25%的的ICIC材料是因靜電材料是因靜電(ESD)(ESD)的影響而遭破壞的影響而遭破壞, ,靜電造成一些奇特而不易察覺的破壞靜電造成一些奇特而不易察覺的破壞,F/A,F/A分分析的結論往往是析的結論往往是: : 原因不明原因不明. . 它是它是整个公司品质整个公司品质所面臨的一項挑戰所面臨的一項挑戰. .培训对象培训对象整个公司所有的员工整个公司所有的员工

2、 ESD 訓練教材訓練教材PE2Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd. 什麼是靜電放電什麼是靜電放電 (ESD) 嚴寒的冬天，當您脫下暖和的毛衣，您會聽到嗶嗶啪啪聲 乾燥的冷天，當伸手去開車門或窗戶，會感到觸電的感覺 用手去撫摸家裡的貓，您會發現貓竟然怒髮衝冠 這些就是靜電瞬間泄放(ESD)所主導產生的現象，它是一个急骤放电过程 ESD-Electro Static Discharge 其實靜電並不僅由人為才會產生，例如 空中對流的雲層 沙漠中隨風飄起的砂等 我们就是要防止ESD进入电子元器件。 ESD 訓練教材訓練教材PE3Friwo Electrical ( S

3、Z ) Co., Ltd. 要防止要防止ESDESD，首先必须知道靜電如何形成首先必须知道靜電如何形成 靜電是静止电荷所产生的电，它史載最早發現的一種電 靜電其實是自從有人類以來，就影響著人類的生活 西元前 640年， 希臘哲學家 THACES 把琥珀(Amber)摩擦後發現可以 吸附毛髮，而開始知道靜電的存在 靜電的形成 开路电池端子上的电 两个相互绝缘的物体摩擦所产生的电 在一个电场中感应到的电 # 導 體 具有可移動的電子或價電子 (Valence Electrons) 在原子結構的最外 層，亦即受原子核 (Nuclei) 的束縛最小，當受到外來電場的吸引而移動 (產生 電流) ，此類物

4、質稱為導体 # 絕緣體 物体缺乏上述可移動的電子或價電子的物質，稱為絕緣体其表面電阻係數介於 1012 /square以上PE4Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.ESD 訓練教材訓練教材 电池端子上的电，它是一种由活泼金属与电解液发生反应而形成，电解液一方呈 正电，金属一方呈现负电 摩擦生電，两个不带电的物质相互摩擦而产生电子转移的过程.PE5Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd. 7P+ 7P+ 7P+ 7P+e -e -e -e -e -e -e -平衡原子平衡原子 1e -平衡原子平衡原子 2帶負電原子帶負電原子 帶正電原子帶正

5、電原子e -e -e -e -e -e -e -摩摩擦擦e -e -e -e -e -e -e -e -e -e -e -e -e -ESD 訓練教材訓練教材 靜電就在您的週圍 人在走路或跑步就可以產生可觀的靜電，下面是一個量測人體靜電的實驗Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.PE 6ESD 訓練教材訓練教材 A)上述條件測量結果上述條件測量結果 所穿鞋子所穿鞋子 動動 作作 產生靜電壓產生靜電壓(Volts) (Volts) 皮皮 鞋鞋 原地慢速踏步原地慢速踏步 150200150200 皮皮 鞋鞋 原地快速跑步原地快速跑步 200250 200250 球球 鞋

6、鞋 原地慢速踏步原地慢速踏步 200250200250 球球 鞋鞋 原地快速跑步原地快速跑步 250350250350 B) B)當不同條件下，靜電壓之變化當不同條件下，靜電壓之變化 產生方法產生方法 10%20%10%20%相對濕度相對濕度 65%95%65%95%相對濕度相對濕度 走過地毯走過地毯 35,000 V 1,500V 35,000 V 1,500V 走過塑膠地毯走過塑膠地毯 12,000 V 250V 12,000 V 250V 在椅子上工作在椅子上工作 6,000 V 100V 6,000 V 100V 拿起塑膠文件夾拿起塑膠文件夾 7,000 V 600V 7,000 V

7、600V 工作椅墊摩擦工作椅墊摩擦 18,000 V 1,500V 18,000 V 1,500V注注 , 1.二種不同性質的物質碰在一起再分離二種不同性質的物質碰在一起再分離(称为摩擦称为摩擦). 2, 其中一種物質為其中一種物質為 絕緣體絕緣體. Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.7PE 工作場所中常見的靜電產生物質或活動 ： 工作桌面 一般的塑膠、上脏、上漆。 地 板 水泥地板、一般塑膠地板。 衣 服 人造纖維衣服、一般非導電鞋、 抹布。 椅 子 木材椅、塑膠椅、玻璃纖維椅。 包裝及運送 塑膠袋、泡棉、保麗龍、塑膠盒。 組裝、加工、測試、修理 噴霧清潔劑、

8、吸錫器、鉻鐵、 刷子、塑膠帶、 熱氣、烤箱、 複寫紙。 ESD 訓練教材訓練教材 半導體產品抗靜電能力半導體產品抗靜電能力 抗靜電能力之量測(Human Body Model) 依 MIL-STD-883，Method 3015， 測試線路圖 ： 1. Input (A) , Common (B) 2. Output (B) , Common (A)3. Input (A) , Output (B) 4. V+ (A) , Common (B)5. V+ (B) , Common (A)Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.8PE RegulationHigh Vo

9、ltagePower SupplyDC MeterD.U.T.R1R21.5K 5%C1100pf 10%WaveformMeasurtmentTerminalR1 - Current LimiterRs - RelayC1 - 人體電容 ( 平均 )R2 - 人體電阻 ( 平均 )D.U.T. - 待測材料A, B - 待測物之接腳ABRSESD 訓練教材訓練教材 各類半導體材料抗靜電能力之比較(NEPCON/ WEST Report)晶片種類 靜電破壞電壓(Volts)MOSFET 100200EPROM 100JFET 1407,000Op-Amp 1902,500CMOS 2503,0

10、00SCHOTTKY DIODE 3002,500 TTL 3002,500Bipolar Transistor 3807,000ECL 500SCR 68010,000 抗靜電物質抗靜電物質 - 物質若經自己相互磨擦或相互分開或與其它類似物質分開時不產生大於物質若經自己相互磨擦或相互分開或與其它類似物質分開時不產生大於 +/- 200(TCP100V) 伏特的靜電壓者伏特的靜電壓者.Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.9PE ESD 訓練教材訓練教材 抗靜電能力之分類 依上述量測方法得到的結果，可將材料之抗靜電能力區分為Category A與Category B

11、(早期MIL分法) 類別 耐電壓 (Min. Volts) 材料防靜電包裝保護需求 A 20 2000 防靜電管及導電袋 B 2000 防靜電管及防靜電袋 由上可知，大體而言只要100V以上的靜電壓就可以對半導体產生傷害，故 ESD 之防護工作，我們不可不慎。 而基本上，不同Category 之半導體可以不同的等級來做ESD防護，但為方便於處理，通常都以處理較嚴密的Category A 來做防護措施。 10PE ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd. ESD 對人体會造成傷害嗎？ 家中的110V、240V常常因為使用不慎造成傷亡，那動輒幾K

12、V 之ESD呢？是否會對人體造成傷害呢？ 造成肌肉或心臟麻痺主要的是電流，尤其是交流電流。 電流對人體傷害分析表 (MIL-STD-454) 。 電 流 大 (毫安培 、mA) AC (60Hz) DC 結 果 0-1 0-1 有知覺 1-4 4-15 感到驚訝 4-21 15-80 有反射動作 21-40 80-160 肌肉麻痺 40-100 160-300 休克 100 以上 300 以上 立即死亡11PE ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.12PE ESD 的影響品質方式的影響品質方式 1. 人體放電模式(Human Body M

13、odel , HBM) 顧名思義知道此為借由人體於走動摩擦產生靜電，而影響 到元件的模式人 體元 件( HBM )-ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd. 2. 電場感應模式(Field Induced Model , FIM) 指由於外來電場感應產生電荷，巧遇機緣而將電荷引導接地引起的模式 3. 充電元件模式(Charged Device Mode,CDM) 上述FIM模式中當元件被移離開電場或接地時，就變成 CDM模式 13PE 元元 件件外在電場感應電荷外在電場感應電荷接地造成接地造成ESD放電放電 (FIM)(Field)E(Gro

14、unded)元元 件件接地消失接地消失移離電場(CDM)(Field)ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.14PE 元件被元件被ESD 破壞之原因及型態破壞之原因及型態 ESD破壞之原因：1. 功率產生：如熱崩潰、 金屬被熔融2. 電壓產生：如介電質崩潰、表面崩潰3. 潛在性故障：如功能劣化、降級(PS:EOS - 指一個IC材料受到其所能負荷的電壓,電流而遭受到破壞的狀態)ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.15PE ESD破壞之型態1. 接面崩熔（Junction Burnout

15、） 過大的電流通過接面時，產生極大的熱量，使得接面崩熔。此種破壞是屬於接面短路，並有二個特性A.即使ESD的能量未能打穿接面（Junction Burnout），也能造成元件的失效B. 正向偏壓的ESD破壞能量是負向偏壓的515倍2. 氧化層貫穿針引線（Oxide Punch Through）通常在金屬氧化層半導體（MOS）上可以發現此類型之破壞，這是由於外加的靜電壓超過了氧化層的崩潰電壓所致。其現象亦是短路。EBCEBCESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.16PE 3. 金屬層崩熔（Metalization Burnout） 由於過大的

16、電流流經金屬層，並在較脆弱的地方產生，由於此種破經常是伴隨著接面短路或是氧化層短路之後發生故屬於所謂的二次崩潰（Secondary Breakdown）。而其現象為斷路。ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.17PE 靜電的累積破壞 負傷而行 負傷而行（Walking Wounded） 許多實驗證實靜電能使半導體負傷，但不致立即完全破壞其功能，而且有多數這些負傷而行的元件都能通過測試直到這些元件送到客戶之後，隨時會從負傷而行變成完全失效。下面是一ESD累積破壞的試驗：應用前述HBM接線方式（僅略去人體的電阻R2=1.5K）來量測54S163

17、IC試驗條件：試驗結果：材料：54s163測試前I=2.883APASS人體電容：100pf第一次I=2.883A PASS每次放電：50V第二次I=2.890A PASS 放電次數：5次第三次I=2.890A PASS 測試點：Vin=Pin2 (A)第四次I=1.872mA FAIL GND=Pin8 (B)第五次I=2.147mA FAILESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.18PE ESD破壞分析破壞分析 找出PCB上之故障元件 對故障元件進行基本電性量測 功能測試 參數測試 X-ray做表層分析 去封膠（Decapsulate）

18、檢視內部 去除各層（玻璃層、鋁層）層層檢視幾種遭ESD破壞案例參考ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.19PE去 鋁 層 之 後 的 接 合 窗接合窗放大10,000之後可見貫穿現象A金屬接合窗橫 切 面 放 大 (2,000)橫 切 面 放 大 (10,000)ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.20PE 靜電防護靜電防護 晶片設計的靜電防護(治本方法)本方法乃是靜電防護最好的辦法，但在設計半導體的抗靜電電路時，必須考慮到電路產生熱的影響、反應時間、 最大電壓、 能量傳導、 寄生電

19、容等等因子，故並非隨心所欲可以辦到。因此靜電防護仍必須靠一些治標的方法。 靜電防護的基本原則 1. 避免靜電產生 2. 疏導或中和所產生之靜電 3. 屏蔽靜電場逐一介紹說明如下：ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.21PE 1. 避免靜電產生 (A) 潮溼法(Moisturing)水氣本身會有導電現象，故可降低絕綠體表面電阻，達到靜電防護目的 (B) 抗靜電塗佈法(Anti-Static Coating) 有部份溶液可噴灑於綠體青面降低物體表面電阻，達到靜電防護的目的。但此種塗層，日久會脫落而漸漸失去其效果，故必須考慮其有效期。 (C)

20、內部靜電劑法(Imbeded Anfi-Static Agent) 這是在材料中加入具有導電性或吸溼性的物質，使其外層具有輕微導電性。此方法可以不必考慮有效期，但成本較高。 2. 疏導或中和靜電法 (A) 疏導法(Bleed-Off) 典型的疏導法就是配帶靜電環(Wrist Strap)，是將人體產生之靜電電荷，藉由導線將所產生之電荷傳導出去。通常靜電環中會接一1M之接地電阻，以保護人員工作之安全。ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.22PE (B) 中和法(Neutralization)利用靜電消除器(Ionizer)來釋出正、負離子以

21、中和消除靜電效應。目前常用的靜電消除器有下列幾種：a. 放射性靜電消除器 使用放射性物質釙或元素之輻射能來撞擊空氣使之分裂成等量的正、負離子。使用此Ionizer必須加防護結構。其優點是不需電源容易裝置，具有防炸功能；缺點是使用壽命短(每年更換)，必須離使用遇火警時極危險。 b. 高壓靜電效應消除器 利用針點高壓(5KV左右)尖端放電來電離空氣分子。此種裝置具有高效率及高安全性之特點，所產生之電流僅幾微安培(A)，不會產生電擊。 c. 感應靜電效應消除器 這是利用帶電物質之高電壓(對接地點)來電離空氣離子 ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Lt

22、d.23PE 3. 摒蔽靜電場（Field Shielding） 此種方法乃利用Farady Cage 之原理使靜電場被摒蔽在容器之外圍。左圖是5KV電場下各種容器內測得的靜電場，右圖是一摒蔽電場之模型電場無法貫穿僅分佈表面電 壓 (kv)時間 (秒)01.02.03.01.02.03.0導電袋防靜電袋一般PE袋金金 屬屬 容容 器器ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd. 各類常用靜電防護材料各類常用靜電防護材料 1. 靜電環 由伸縮拉環，內含1Mega 10%電阻之導線及接頭所構成。 配帶靜電環時必須注意到：(a)靜電環必須與手緊密接觸，

23、 不可鬆脫或套於衣袖上(b)與接地之間必須保持1M 10%之電阻(c)接頭必須固定妥當， 當接頭未接地妥當時，不得碰觸材料2. 抗靜電材料(袋、管、管塞、盒等) 在材料上塗佈抗靜電液，使材料不會產生靜電荷，或僅產生微量的靜電荷(通常在100V以下)。此類材料表面電阻要求在1012/square以下，靜電消散時間2sec。使用此材料應：(a)此材料僅能防止本身產生靜電，而卻無法防止靜電場破壞(b)表面塗層必須考慮其有效期(c)一般工業界會將此類產品製成粉紅色24PE ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd. 3. 靜電遮蔽材料(袋、管、管塞、盒

24、等) 此種材料一般含有二或三層，上下(或外)層是抗張力強的抗靜電化學合成物質(R1012/square，靜電消散時間2sec) ，中間(或內)層是一層薄薄的金屬箔(105 R 109 /square)。使用時需注意：(a) 避免使用尖銳物品刮壞金屬層(b)封閉的導電袋或容器才有完全之保護4. 靜電消除器 利用儀器所產生的大量離子，將絕緣體表面的靜電予以中和。使用靜電消除器必須注意：(a)靜電消除器必須在工作範圍45呎,兩邊各近似45度角範圍內方為有效區域(b)靜電消除器必須定期清理所積聚之灰塵，至少3個月內清理一次(c)靜電消除器必須定期檢查其離子是否平衡(d)靜電消除器會產生臭氧(O3) 對

25、人體無害(有益) ，但臭氧濃度不可超過0.1DPP M ，否則其異味會使人難以忍受25PE ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.26PE 5. 防靜電工作桌1. 人體2. 靜電環3. 防靜電桌面4. 儀器5. 靜電鞋6. 導電地板ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.註：各接地點之標準接法6. 其它常用抗靜電材料：(a)防靜電手套、指套(b)抗靜電手套、袖套(c)靜電消除劑(d)靜電鞋27PE ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.

26、28PE 各種靜電標示警告各種靜電標示警告 A.對對ESD敏感敏感標示：C.保護保護+外弧去斜線之標示： 適用於告知電子零組件對ESD 用於工具或材料上已具有控制ESD極為敏感，易遭ESD破壞。之功效。 B.對對ESD敏感敏感+警語之標示： D.對對ESD敏感敏感標示亦可用： 適用於防靜電包裝袋上。ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.29PE FRIWO 對對ESD之之设备设备 ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.30PE 歐姆表歐姆表 FRIWO 對對ESD之之设备设备ESD 訓練

27、教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd. 万用表或直流電阻表用来测量接地万用表或直流電阻表用来测量接地线的电阻值线的电阻值,應可量測應可量測 0.1 歐姆到歐姆到 1 M 歐姆歐姆 +/-10% 範圍的電阻範圍的電阻,且路電壓應且路電壓應大大 於於1.5 V 以上以上. 目前我们通常将一指针式万用表挂目前我们通常将一指针式万用表挂在拉头或一个醒目的地方在拉头或一个醒目的地方,量程设定在量程设定在X1的欧姆档位的欧姆档位, 连接于总地线和拉上地线之连接于总地线和拉上地线之间间,以便控制和监控地线的接通情况以便控制和监控地线的接通情况.31PE FRIWO

28、對對ESD之之设备设备ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.離子風扇離子風扇 它能产生离子从而中和绝缘体上的电荷它能产生离子从而中和绝缘体上的电荷. 工作時必須置於距離離子風扇工作時必須置於距離離子風扇30cm圓弧內圓弧內, 兩邊各近似兩邊各近似45度度角範圍內角範圍內.且方向正對著工作區域且方向正對著工作區域 任何靜電敏感的材料放於工作台之任何靜電敏感的材料放於工作台之前前, 必須把離子風扇先打開必須把離子風扇先打開. 注意注意: 1.不可在使用中关掉风扇或随意调节风速不可在使用中关掉风扇或随意调节风速. 2.不可随意调节风扇方向不可随意

29、调节风扇方向. 3.各种直接用来包装各种直接用来包装IC的材料在使用前放在风扇区区域的材料在使用前放在风扇区区域内吹至少内吹至少5秒钟秒钟.32PE FRIWO 對對ESD之之设备设备 ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.靜電手環靜電手環 靜電環靜電環用来池放人体表面产生的静电用来池放人体表面产生的静电,从而保护电子产品从而保护电子产品. 必須有必須有 1 M 歐姆歐姆+/-10% 的電阻連接到導電或靜電傳導的的電阻連接到導電或靜電傳導的工作桌面工作桌面和地和地. 若因此使得靜電環與接地間形成若因此使得靜電環與接地間形成2M 歐姆歐姆 +

30、/- 10% 之電阻是可接受的。之電阻是可接受的。 注意注意: 1. 静电手环应带在手腕上静电手环应带在手腕上,且不能松且不能松. 2.要注意它必须接地或接至工作桌面才有作用要注意它必须接地或接至工作桌面才有作用. 3.要每天测量至少要每天测量至少2次以上次以上,保证它是完好的保证它是完好的.迴路迴路 帶者的手帶者的手 帶者的身體帶者的身體 身體與手環接觸點身體與手環接觸點 1 M +/-10% 歐姆的靜電環內含電阻歐姆的靜電環內含電阻 手環連接線手環連接線 接地點接地點 歐姆計歐姆計 33PE FRIWO 對對ESD之之设备设备.ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical (

31、 SZ ) Co., Ltd.靜電防護衣靜電防護衣,静电防护帽静电防护帽,静静电手套电手套,手指套手指套 靜靜 電電 防防 護護 衣衣,静电防护帽静电防护帽,静电手套及静电手指套其靜電壓小於或等於静电手套及静电手指套其靜電壓小於或等於 200伏特伏特(TCP:100V). 注意注意:1.當穿者在靜電防護工作站或靜電保護區內時當穿者在靜電防護工作站或靜電保護區內時,靜電防護衣的鈕扣靜電防護衣的鈕扣(衣領上的衣領上的除外除外)或拉鍊需要扣好或拉鍊需要扣好,拉好拉好; 2.头发应全部罩在防静电帽子内头发应全部罩在防静电帽子内. 3.在不方便带静电手环的区域在不方便带静电手环的区域,如取如取PCBA或

32、靜電敏感材料时或靜電敏感材料时,应使用静电手套应使用静电手套或静电手指套或静电手指套.34PE FRIWO 對對ESD之要求之要求 設備要求1.設備機殼：AC-INPUTU一律使用三插頭有接地端子電源線，設備外殼一律接地。(WS 、SMD 、加工成型機、測試儀器、錫爐等)2.外加工治具：一律使用金屬製作，並接地處理。(含散熱片鎖附治具)3.維修站：工作台表面，需鋪上靜電墊，其表面阻值為105 109/SQUARE ，人員、儀器皆需確實接地4.鉻鐵：外殼需接地處理5.零件盒：半導體之零件被裝置或取出時，作業人員需配帶靜電環，零件放於導電容器或導電之零件盒中。半導體零件嚴禁放置於塑膠容器(非靜電盒

33、)或保麗龍容器中6.IC测试站：封IC胶纸使用前，在離子風扇下大約吹5秒鐘，方可使 用，另外离子风扇使用中对准IC封装区域，不要调小风量.ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.35PE搬運要求1.靜電盒：石墨型(黑色，永久型)規格為105109/SQUARE， 可使用期限一年以上2.金屬盒：手插件段(HI)放置小零件之料盒，一般為不銹鋼導體，必須接地使用3.籃子：防靜電盒如使用一般塑膠籃，則需加上防靜電之隔離使用4.輸送帶：生產線若以輸送帶方式作業時，輸送帶及其各裝置 需確實接地5.台車：A/I室及生產線的搬運台車，一般必須使用導體材台 質

34、，並在台車底部加接地鍊條，鍊條必須與地面接觸儲存要求1.濕度：儲存空間之相對濕度需控制於50%60%的範圍之內2.保存架：必須使用導體材質，及具備接地設施3.取放材料：儲存人員取放材料時必須配帶靜電環並接地ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.4.裝取容器：拆封之半導體需使用防靜電袋分裝，不可使用一般之塑膠袋包裝人員要求人員：工作人員一律配帶有線靜電環並接地，靜電環需每日點檢兩次， 嚴禁使用無線之靜電環ESD點檢1. 點檢內容：2. 做靜電測試定時需附記當時之溼度及溫度。36PE 序 號點檢項目 點檢週期 點檢規格 備 註1靜電環每日1M1

35、0% 請參照靜電環點檢規範2靜電盒6個月105109 請參照靜電盒板檢驗管理程序3靜電板6個月105109 請參照靜電盒板檢驗管理程序ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.37PE 3.若使用靜電防止劑，需明確記錄下次的佈使用時間。4. 每日確認作業員腕帶的接地狀況及是否有斷線。5.保存用導電零件盒的外圍，需貼上任何作業員看後均可明瞭之標籤，以標示其內存有不耐靜電之零件。 6. 靜電盒上需貼上能負荷靜電量及檢驗日期之標籤。 7. 確實記錄點檢所得資料。 【註】靜電環點檢方法1. 作業員於座位上坐好後，帶上靜電環（右手操作者將靜電環戴於左手，

36、左手操作者將靜電環戴於右手）並將靜電環接地線插頭插於接地孔中。2. 線上領班攜帶靜電環檢測器至各作業員作業位置，將檢測器接地線插頭插於接地孔中。3. 作業員自行壓下檢測開關(靜電環戴於左手者，用右手壓檢測開關；靜電環戴於右手者，用左手壓檢測開關)，直到訊號顥示完成。4-1. 檢測時“GOOD”綠色顯示燈亮表示該靜電環符合規格，可正常使用4-2. 檢測時“HIGH”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用4-3.檢測時“LOW”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.38PE 教育訓練1. 所有從事E

37、SD相關工作之人員，皆必須接受ESD訓練，並經檢定考試認證合格者方可從事該項工作2.認證共分A、B、C三級A級 各廠訓練講師、Coordinator、稽核員及各工作區工程師 級以上幹部皆需具備之。B級 各廠工作區之領班、拉長、QC人員均需具備之。 C級 一般作業人員。3.重新訓練認證 凡經認定為認證資格已失效者(違反ESD規定二次以上者)及所有人員每年都必須接受重新訓練及認證。 ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.39PE 稽核1. 日點檢 由各ESD區域自行點檢、記錄，IPQC人員亦隨時對相關工作場合進行ESD之稽核2.月稽核 由各廠C

38、oordinator及各部門主管組成ESD稽核小組實施定期之稽核 3. 季稽核 每季併入Quarterly Process Analysis Audit Team來一併做ESD之季稽核。 記錄保存ESD相關之紀錄必須保存五年ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.40PE 检查表n1 1 有有ESDESD量測儀器是否都有校正量測儀器是否都有校正, ,且都在有效期內且都在有效期內? ? n2 2 使用靜電防護的工作區域是否配合有接地良好之靜電防护措施使用靜電防護的工作區域是否配合有接地良好之靜電防护措施? ?n3 3 在接近在接近ESDESDS

39、 S產品產品( (即即ICIC材料材料)12)12英吋範圍內的人員是否都有戴靜電手環或穿靜電鞋英吋範圍內的人員是否都有戴靜電手環或穿靜電鞋? ? n4 4 是否所有是否所有ICIC测量人员兩隻腳都穿有靜電鞋测量人员兩隻腳都穿有靜電鞋( (不能只穿一支腳不能只穿一支腳)?)?n5 5 靜電防護工作桌面上是否沒有不必要的東西或私人用品靜電防護工作桌面上是否沒有不必要的東西或私人用品? ?n6 6 在接近在接近ESDSESDS產品產品 ( (即即ICIC材料材料) 12) 12英吋範圍內是否沒有會產品大於英吋範圍內是否沒有會產品大於+/-200V(TCP100V)+/-200V(TCP100V)靜電

40、壓的任何物靜電壓的任何物品品? ?n7 7 靜電服是否能蓋到由腰部以上靜電服是否能蓋到由腰部以上( (頸部除外頸部除外) )的部位的部位? ?n8 8 處理處理ESDSESDS產品產品 ( (即即ICIC材料材料) )時時, ,是否在接地良好的靜電防護工作桌面上處理是否在接地良好的靜電防護工作桌面上處理? ? n9 9 直接接触直接接触ESDSESDS產品產品 ( (即即ICIC材料材料) ) 位是否戴好静电帽位是否戴好静电帽, ,静电帽是否能罩位所有的头发静电帽是否能罩位所有的头发? ?n10 10 靜電手環是否每班做檢查及記錄檢查結果呢靜電手環是否每班做檢查及記錄檢查結果呢? ? n11

41、11 靜電手環檢測是否由穿戴者的手靜電手環檢測是否由穿戴者的手, ,使用者的身體使用者的身體, ,靜電環內阻靜電環內阻, , 一直到靜電接地做一迴路電阻值量測一直到靜電接地做一迴路電阻值量測. . n12 12 靜電鞋是否每班做量測與記錄呢靜電鞋是否每班做量測與記錄呢? ?n13 13 所有靜電接地所有靜電接地, ,如靜電手環如靜電手環, ,桌垫桌垫, ,靜電地板的接地连接是否每週目檢一次靜電地板的接地连接是否每週目檢一次? ?n14 14 靜電衣的靜電压是否每個月偵測一次並記錄其電壓值靜電衣的靜電压是否每個月偵測一次並記錄其電壓值? ?n15 15 生產線上生產線上ESDESD保護區域和工作

42、桌區域的靜電压是否每個月檢檢測一次保護區域和工作桌區域的靜電压是否每個月檢檢測一次, ,並記錄其電壓值並記錄其電壓值? ?ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.41PE 16 ESD 16 ESD防護工作桌面防護工作桌面( (靜電消散桌面靜電消散桌面) )到其接地的電阻是否每季檢測一次並記錄到其接地的電阻是否每季檢測一次並記錄n17 ESD17 ESD防護地板到其接地的電阻是否每季檢測一次並記錄其電阻值防護地板到其接地的電阻是否每季檢測一次並記錄其電阻值? ?n18 18 靜電接地靜電接地, ,如靜電手環如靜電手環, ,工作桌面工作桌面,

43、,地板等的接地線是否每季量測一次並記錄其電阻值地板等的接地線是否每季量測一次並記錄其電阻值? ? n19 19 是否每半年校正一次並有記錄是否每半年校正一次並有記錄? ?n20 20 離子風扇是否朝向處理材料的雙手離子風扇是否朝向處理材料的雙手, ,而非朝向而非朝向operator?operator?n21 21 每一工作區域是否每年做一次檢查每一工作區域是否每年做一次檢查, ,看是否符合此靜電管制規格的要求看是否符合此靜電管制規格的要求? ? n22 22 如果任何定期的測量不通過其量測頻率是否增加一倍呢如果任何定期的測量不通過其量測頻率是否增加一倍呢? ?n23 23 所有所有ESDESD

44、量測的記錄量測的記錄皆必須保存至少二年皆必須保存至少二年的要求的要求? ?n24 24 是否每一靜電防護包裝都有一明顯的靜電警告標示是否每一靜電防護包裝都有一明顯的靜電警告標示? ?n25 25 是否此靜電警告標示是否此靜電警告標示( (籤籤 ) )在在3 3英呎的距離即可看得清楚英呎的距離即可看得清楚? ? n26 26 是否每一工作桌面或桌墊都有其個別的靜電接地是否每一工作桌面或桌墊都有其個別的靜電接地? ?n27 27 不鏽鋼工作桌面是否直接接地不鏽鋼工作桌面是否直接接地, ,即不需連接即不需連接 一一 1 M 1 M歐姆的電阻歐姆的電阻 ? ? n28 28 當移動性工作桌當移動性工作

45、桌, ,車子被用來當成處理材料的工作桌時車子被用來當成處理材料的工作桌時, ,它們是否有靜電接地它們是否有靜電接地? ?及在有靜電地板的工及在有靜電地板的工作環境作環境? ?n29 29 當當ESDSESDS產品產品( (即即ICIC材料材料) )不在靜電防護區域時它們是否有在靜電防護包裝之內不在靜電防護區域時它們是否有在靜電防護包裝之內? ?n30 30 所有包裝用的材料所有包裝用的材料, ,在使用時是否不會產生大於在使用時是否不會產生大於+/- 200v(TCP 100V)+/- 200v(TCP 100V)的靜電壓的靜電壓? ?ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical

46、( SZ ) Co., Ltd.42PE 31 31 當有當有ICIC材料在管子或盤子內時材料在管子或盤子內時, ,是否沒有做會產生大於是否沒有做會產生大於+/- 200v(TCP100V)+/- 200v(TCP100V)靜電壓的撕膠布或貼靜電壓的撕膠布或貼 膠布的動作膠布的動作? ?n32 32 是否所有是否所有ICIC材料在運送時都有使用靜電防護包裝材料在運送時都有使用靜電防護包裝? ?且只有在靜電防護工作桌且只有在靜電防護工作桌( (或區域或區域) )才會打開它才會打開它? ? n33 33 當有不符合此當有不符合此 ESD ESD管制規要求時管制規要求時, ,是否有改正其原因並扣留問

47、題材料給是否有改正其原因並扣留問題材料給相关工程師處理相关工程師處理? ?n34 34 當有不符合此當有不符合此ESDESD管制規格要求時管制規格要求時, ,是否其原因及改正行動都有記錄是否其原因及改正行動都有記錄, ,归檔归檔? ? n35 35 當收到未符合此當收到未符合此ESDESD管制規格要求的材料時管制規格要求的材料時, ,是否退貨並用其原來的包裝退回給寄件人是否退貨並用其原來的包裝退回給寄件人? ?n36 36 是否依要求作記錄保存是否依要求作記錄保存? ?n37 37 所有處理所有處理ICIC材料的人員是否受過材料的人員是否受過ESDESD管制的訓練管制的訓練, ,且每且每121

48、2個月有接受一次再訓練個月有接受一次再訓練? ?n38 38 是否訓練記錄包含有日期是否訓練記錄包含有日期, ,訓練時數訓練時數, ,主題及訓練者主題及訓練者? ?n39 39 是否每一區域都有使用此檢查表執行每年一次的是否每一區域都有使用此檢查表執行每年一次的AUDIT,AUDIT,以確定每一區域的製程以確定每一區域的製程, ,設備或材料的儲存設備或材料的儲存都有符號規格的要求都有符號規格的要求? ?ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.43PE ESD 訓練教材訓練教材 Friwo Electrical ( SZ ) Co., Ltd.谢谢大家积极参与培训谢谢大家积极参与培训完完