最新多晶硅行业现状及工艺过程介绍PPT课件.ppt
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目目 录录2.2.中国多晶硅的技术突破中国多晶硅的技术突破3.3.多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应4.4.多晶硅项目特点多晶硅项目特点1.1.多晶硅行业现状多晶硅行业现状目目录录2. 中国多晶硅的技术突破中国多晶硅的技术突破1. 多晶硅行业现状多晶硅行业现状4. 多晶硅项目特点多晶硅项目特点3. 多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应目目录录多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点1 1多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点2 2主要方法多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点3 3工艺流程氯硅烷四氯化硅氢气辅助系统：硅芯制备、DCS控制系统、电力控制系统、氮气制备、氢气制备、公用系统、尾气处理、污水处理等多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点4 4主要设备谢谢各位！谢谢各位！17 结束语结束语
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