最新多晶硅厂原材料分析讲座PPT课件.ppt
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1、一、概述硅粉是多晶硅厂的主要原料之一,其质量的好与坏直接影响三氯氢硅的合成及纯度。硅粉分析的目的是检测所购进硅粉的各项指标是否满足工艺生产的要求。这些指标有:硅粉粒度,铁、铝、钙、钛、磷、硼元素的含量。分析方法有传统的化学分析方法,也有越来越普及的仪器分析法。2.7 2.7 乙酸乙酸钠缓冲溶液:称取乙酸乙酸钠缓冲溶液:称取272g272g乙酸钠乙酸钠(CH3COONaCH3COONa3H2O3H2O)置于烧杯中,加入)置于烧杯中,加入500ml500ml水,溶解水,溶解后过滤于后过滤于1000ml1000ml容量瓶中,加入容量瓶中,加入240ml240ml冰乙酸(密度冰乙酸(密度1.05g/m
2、l1.05g/ml)用水稀释至刻度,混匀。)用水稀释至刻度,混匀。2.8 2.8 混合显色溶液:移取混合显色溶液:移取1 1单位体积盐酸羟胺溶液单位体积盐酸羟胺溶液(4.54.5),),1 1单位体积单位体积1 1,1010二氮杂菲溶液(二氮杂菲溶液(4.64.6),),2 2单位体积乙酸乙酸钠缓冲溶液(单位体积乙酸乙酸钠缓冲溶液(4.74.7),混匀。一),混匀。一周内使用。周内使用。2.9 2.9 铁标准贮存溶液:称取铁标准贮存溶液:称取0.2860g0.2860g预先在预先在600600灼烧灼烧1h1h并于干燥器中冷却至室温的三氧化二铁置于烧杯中,并于干燥器中冷却至室温的三氧化二铁置于烧
3、杯中,加入加入30ml30ml盐酸(盐酸(4.44.4),低温加热溶解,冷却,移入),低温加热溶解,冷却,移入1000ml1000ml容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。此溶液容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。此溶液1ml1ml含铁含铁200ug200ug。2.10 2.10 铁标准溶液:移取铁标准溶液:移取50.0050.00铁标准贮存溶液(铁标准贮存溶液(4.94.9)于)于200ml200ml容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀,此溶液容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀,此溶液1ml1ml含铁含铁50ug50ug。2.11 2.11 仪器:分光光度计。仪器:分光光度计。 3.分析步骤3.1 3.1 试样
4、:样品粒度通过试样:样品粒度通过100100目(约目(约0.150mm0.150mm)筛孔直径,用磁铁吸去铁粉。筛孔直径,用磁铁吸去铁粉。3.2 3.2 试料:称取试料:称取1.0000g1.0000g试样(试样(5.15.1)。)。3.3 3.3 空白试验:随同试料做空白试验。空白试验:随同试料做空白试验。3.4 3.4 测定测定3.4.1 3.4.1 将试料(将试料(3.23.2)置于)置于100ml100ml铂皿中,加入铂皿中,加入0.5ml0.5ml硫酸(硫酸(2.32.3)、)、202025ml25ml氢氟酸(氢氟酸(2.12.1),),分次滴加硝酸(分次滴加硝酸(2.22.2)直至
5、试料大部分溶解,)直至试料大部分溶解,移铂皿于沙浴上,加热至试料完全溶解,并蒸移铂皿于沙浴上,加热至试料完全溶解,并蒸干。干。3.4.2 3.4.2 将铂皿置于将铂皿置于4504502525的高温炉中,冒尽的高温炉中,冒尽硫酸烟,取出,冷却。硫酸烟,取出,冷却。3.4.3 3.4.3 于铂皿中加入于铂皿中加入5.0ml5.0ml盐酸(盐酸(2.42.4),沿皿),沿皿壁加入壁加入202030ml30ml水,加热至残渣完全溶解,水,加热至残渣完全溶解,冷却。冷却。3.4.4 3.4.4 移入移入500ml500ml容量瓶中,用水稀释至刻度,容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。混匀。3.4.5 3.4
6、.5 取取25mL25mL试液(或按表试液(或按表1 1移取试液移取试液3.4.43.4.4),),置于置于100ml100ml容量瓶中。容量瓶中。3.4.6 3.4.6 加入加入20ml20ml混合显色溶液(混合显色溶液(2.82.8),用水稀),用水稀释至刻度,混匀。放置释至刻度,混匀。放置15min15min。3.4.7 3.4.7 将部分溶液(将部分溶液(3.4.63.4.6)移入)移入1cm1cm吸收皿中,吸收皿中,以水为参比,于分光光度计波长以水为参比,于分光光度计波长510nm510nm处测量其处测量其吸光度。吸光度。3.4.8 3.4.8 减去空白试验溶液的吸光度,从工作曲线减
7、去空白试验溶液的吸光度,从工作曲线上查出相应的铁的质量。上查出相应的铁的质量。 3.5 3.5 工作曲线的绘制工作曲线的绘制3.5.1 3.5.1 移取移取0.000.00,1.001.00,2.002.00,4.004.00, 6.006.00(可选),(可选),8.00ml8.00ml铁标准溶液(铁标准溶液(2.102.10),分别),分别置于一组置于一组100ml100ml容量瓶中。容量瓶中。3.5.2 3.5.2 按表一加入与移取试液体积相等的空白试按表一加入与移取试液体积相等的空白试验溶液(验溶液(3.33.3),以下按),以下按3.4.63.4.6和和3.4.73.4.7进行。进行
8、。3.5.3 3.5.3 减去空白试验溶液的吸光度,以铁的质量减去空白试验溶液的吸光度,以铁的质量为横坐标,吸光度为纵坐标绘制工作曲线。为横坐标,吸光度为纵坐标绘制工作曲线。4.分析结果的表述式中:式中:m m1 1自工作曲线上查得得铁的质量,自工作曲线上查得得铁的质量,ugug;V V0 0试液总体积,试液总体积,mlml;V V1 1移取试液体积,移取试液体积,mlml;m m0 0试料的质量,试料的质量,g g。按下式计算铁的百分含量:按下式计算铁的百分含量:10010(%)1601VmVmFeo5.允许差 实验室之间分析结果的差值应不大于表实验室之间分析结果的差值应不大于表2 2所列允
9、许差。所列允许差。表表 2 2二) 、铝含量1.方法原理试料用氢氟酸和硝酸分解,硫酸冒烟驱除硅、氟等,残渣用盐酸溶解。用抗坏血酸掩蔽铁的干扰,在pH5.56.1的六次甲基四胺介质中,铝于铬天青S生成紫红色配合物。于分光光度计波长545nm处测量其吸光度。测定范围:测定范围:0.100.101.201.20。 2.试剂与仪器.1 .1 氢氟酸,分析纯(密度氢氟酸,分析纯(密度1.14g/ml1.14g/ml););.2 .2 硝酸,分析纯(硝酸,分析纯(1+11+1););.3 .3 硫酸,分析纯(硫酸,分析纯(1+11+1););.4 .4 盐酸,分析纯(盐酸,分析纯(1+11+1););.5
10、 .5 抗坏血酸,分析纯,用时现配(抗坏血酸,分析纯,用时现配(10g/L10g/L););.6 .6 六次甲基四胺,分析纯,六次甲基四胺,分析纯,300g/L300g/L;.7 .7 铬天青铬天青S S乙醇溶液(乙醇溶液(0.3g/L0.3g/L):称取):称取0.30g0.30g铬天青铬天青S S置于烧杯中,加水和无水乙醇置于烧杯中,加水和无水乙醇各各25ml25ml,溶解后加入,溶解后加入475ml475ml水,用无水乙醇稀水,用无水乙醇稀释至释至1000ml1000ml,混匀。,混匀。.8 .8 铝标准贮存溶液:称取铝标准贮存溶液:称取0.2500g0.2500g金属铝置金属铝置于聚乙
11、烯杯中,加入约于聚乙烯杯中,加入约20ml20ml水、水、3.0g3.0g氢氧化钠,氢氧化钠,待反应缓慢后,于水浴上加热至溶解完全。用待反应缓慢后,于水浴上加热至溶解完全。用盐酸(盐酸(.4.4)慢慢中和至出现沉淀并过量)慢慢中和至出现沉淀并过量20ml20ml,加热至溶液澄清,冷却。移入加热至溶液澄清,冷却。移入1000ml1000ml容量瓶中,容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。此溶液用水稀释至刻度,混匀。此溶液1ml1ml含含250ug250ug铝。铝。 .9 .9 铝标准溶液:移取铝标准溶液:移取10.00ml10.00ml铝标准贮存溶铝标准贮存溶液(液(.8.8)于)于500ml500m
12、l容量瓶中,加入容量瓶中,加入4.0ml4.0ml盐酸盐酸(.4.4)用水稀释至刻度,混匀。此溶液)用水稀释至刻度,混匀。此溶液1ml1ml含含5ug5ug铝。铝。.10 .10 仪器:分光光度计仪器:分光光度计3.3.分析步骤分析步骤3.1 3.1 试样试样试样粒度通过试样粒度通过0.149mm0.149mm筛孔直径,用磁铁筛孔直径,用磁铁吸去铁粉。吸去铁粉。3.2 3.2 试料试料称取称取1.0000g1.0000g试样(试样(.1.1)。)。3.3 3.3 空白试验空白试验随同试料做空白试验。随同试料做空白试验。.4 .4 测定测定( (可直接取测铁时的样品溶液可直接取测铁时的样品溶液2
13、5mL25mL,按,按5.4.65.4.6步步骤进行分析骤进行分析) ).4.1 .4.1 将试料(将试料(.2.2)置于)置于100ml100ml铂皿中,加铂皿中,加入入0.5ml0.5ml硫酸(硫酸(.3.3)、)、202025ml25ml氢氟酸氢氟酸(.1.1)、分次滴加硝酸()、分次滴加硝酸(.2.2)直至试料大)直至试料大部分溶解,移铂皿于沙浴上,加热至试料完全部分溶解,移铂皿于沙浴上,加热至试料完全溶解,并蒸干。溶解,并蒸干。 .4.2 .4.2 将铂皿置于将铂皿置于4504502525的高温炉中,冒的高温炉中,冒尽硫酸烟,取出,冷却。尽硫酸烟,取出,冷却。.4.3 .4.3 于铂
14、皿中加入于铂皿中加入5.0ml5.0ml盐酸(盐酸(.4.4),沿),沿皿壁加入皿壁加入202030ml30ml水,加热至残渣完全溶解,水,加热至残渣完全溶解,冷却。将试液移入冷却。将试液移入500ml500ml容量瓶中,用水稀释容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。此为试液至刻度,混匀。此为试液A A。.4.4 .4.4 移取移取50.00ml50.00ml试液试液A A于于250ml250ml容量瓶中,容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。此为试液用水稀释至刻度,混匀。此为试液B B。.4.5 .4.5 按表按表1 1移取试液移取试液B B(.4.4.4.4)于)于100ml100ml容容量瓶中,用水
15、稀释至约量瓶中,用水稀释至约30ml30ml。 表表 1 13.4.6 3.4.6 加入加入5ml5ml抗坏血酸溶液(抗坏血酸溶液(2.52.5)、)、10.0ml10.0ml铬天青铬天青S S乙醇溶液(乙醇溶液(2.72.7)、)、5.0ml5.0ml六次甲基四胺溶液(六次甲基四胺溶液(2.62.6)。每加一种试剂)。每加一种试剂均需混匀。用水稀释至刻度,混匀。放置均需混匀。用水稀释至刻度,混匀。放置20min20min。3.4.7 3.4.7 将部分溶液(将部分溶液(3.4.63.4.6)移入)移入1cm1cm吸收皿中,吸收皿中,以空白试验溶液(以空白试验溶液(3.33.3)为参比,于分光
16、光度)为参比,于分光光度计波长计波长545nm545nm处测量其吸光度。处测量其吸光度。3.4.8 3.4.8 从工作曲线上查出相应的铝的质量。从工作曲线上查出相应的铝的质量。3.5 3.5 工作曲线的绘制工作曲线的绘制3.5.1 3.5.1 按表按表1 1移取与试液移取与试液B B的体积相等的空白试的体积相等的空白试验溶液(验溶液(3.33.3)分别置于一组)分别置于一组100ml100ml容量瓶中,容量瓶中,各加入各加入0.000.00,1.00(1.00(可省可省) ),2.002.00,3.003.00,4.004.00,5.00ml5.00ml铝标准溶液(铝标准溶液(2.92.9),
17、用水稀释),用水稀释至约至约30ml30ml,以下按,以下按3.4.63.4.6和和3.4.73.4.7进行。进行。 3.5.2 3.5.2 以铝的质量为横坐标,吸光度为纵坐标绘以铝的质量为横坐标,吸光度为纵坐标绘制工作曲线。制工作曲线。 4.4.分析结果的表述分析结果的表述按下式计算铝的百分含量:按下式计算铝的百分含量: 10010(%)3106201VVmVVmAl式中:式中:m m1 1自工作曲线上查得的铝的质量,自工作曲线上查得的铝的质量,ugug; V V0 0试液试液A A的总体积,的总体积,mlml; V V1 1移取试液移取试液A A的体积,的体积,mlml;V V2 2试液试
18、液B B的总体积,的总体积,mlml;V V3 3移取试液移取试液B B的体积,的体积,mlml;m m0 0试料的质量,试料的质量,g g。5.5.允许差允许差实验室之间分析结果的差值应不大于表实验室之间分析结果的差值应不大于表2 2所允许差。所允许差。表表2 2 1.1.方法原理方法原理试料用氢氟酸和硝酸分解,硫酸冒烟除去试料用氢氟酸和硝酸分解,硫酸冒烟除去硅、氟等,残渣用盐酸溶解。用三乙醇胺、硅、氟等,残渣用盐酸溶解。用三乙醇胺、1 1,10-10-二氮杂菲、乙酰丙酮掩蔽干扰元素,于二氮杂菲、乙酰丙酮掩蔽干扰元素,于pH10pH1010.510.5时,钙于偶氮氯膦时,钙于偶氮氯膦I I形
19、成有色配合形成有色配合物,以物,以EGTAEGTAPbPb褪色后的溶液为参比,于分光褪色后的溶液为参比,于分光光度计波长光度计波长580nm580nm处测量其吸光度。处测量其吸光度。测定范围:测定范围:0.050.051.201.20。 2.2.试剂和仪器试剂和仪器.1 .1 氢氟酸(密度氢氟酸(密度 1.14g/ml1.14g/ml),分析纯。),分析纯。.2 .2 硝酸(硝酸(1+11+1),分析纯。),分析纯。 三) 、钙含量.3 .3 硫酸(硫酸(1+11+1),分析纯。),分析纯。.4 .4 盐酸(盐酸(1+11+1),分析纯。),分析纯。.5 .5 三乙醇胺(三乙醇胺(1+31+3
20、),分析纯。贮存于聚乙烯),分析纯。贮存于聚乙烯瓶中。瓶中。.6 1.6 1,10-10-二氮杂菲乙醇溶液(二氮杂菲乙醇溶液(4g/l4g/l):称取):称取4.0g 14.0g 1,10-10-二氮杂菲(二氮杂菲(C12H8N2C12H8N2H2OH2O),置于),置于1000ml1000ml容量瓶中,加乙醇溶解后,用乙醇稀释容量瓶中,加乙醇溶解后,用乙醇稀释至刻度,混匀。至刻度,混匀。.7 .7 乙酰丙酮,分析纯(乙酰丙酮,分析纯(1+401+40)。)。.8 .8 缓冲溶液:称取缓冲溶液:称取21.00g21.00g硼砂硼砂(Na2B4O7Na2B4O710H2O10H2O)、)、4.0
21、0g4.00g氢氧化钠(优级氢氧化钠(优级纯),用水溶解后稀释至纯),用水溶解后稀释至1000ml1000ml。此溶液。此溶液pHpH为为10.510.5。贮存于聚乙烯瓶中。贮存于聚乙烯瓶中。.9 .9 偶氮氯膦偶氮氯膦I I(C16H18O14N2S2PClC16H18O14N2S2PCl)溶液)溶液(1.0g/l1.0g/l)。)。.10 EGTA-Pb.10 EGTA-Pb溶液(溶液(0.02mol/L0.02mol/L):称取):称取1.90g1.90g乙二醇二乙醚二胺四乙酸(乙二醇二乙醚二胺四乙酸(EGTAEGTA),置于烧杯),置于烧杯中,加约中,加约100ml100ml水,加热,
22、滴加氢氧化钠水,加热,滴加氢氧化钠(1mol/L1mol/L)助溶,并调至中性,另取)助溶,并调至中性,另取1.53g1.53g氯氯化铅,加约化铅,加约100ml100ml水,加热溶解后,趁热奖两水,加热溶解后,趁热奖两溶液混合,调至中性,冷却后用水稀释至溶液混合,调至中性,冷却后用水稀释至250ml250ml,混匀。,混匀。.11 .11 钙标准贮存溶液:称取钙标准贮存溶液:称取2.4970g2.4970g预先于预先于105105烘干并置于干燥器中冷却至室温的基准烘干并置于干燥器中冷却至室温的基准碳酸钙于烧杯中,加约碳酸钙于烧杯中,加约200mL200mL水,然后滴加盐水,然后滴加盐酸(酸(
23、.4.4)至完全溶解并过量)至完全溶解并过量20mL20mL,加热煮沸,加热煮沸驱除二氧化碳,冷却,移入驱除二氧化碳,冷却,移入1000mL1000mL容量瓶中,容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。此溶液用水稀释至刻度,混匀。此溶液1mL1mL含含1mg1mg钙。钙。 .12 .12 钙标准溶液:移取钙标准溶液:移取10.00mL10.00mL钙标准贮存溶钙标准贮存溶液(液(.11.11)于)于1000mL1000mL容量瓶中,用水稀释至容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。此溶液刻度,混匀。此溶液1mL1mL含含1010g g钙。钙。.13 .13 仪器:分光光度计、酸度计。仪器:分光光度计、酸度计。
24、3.3.分析步骤分析步骤.1 .1 试样试样试样粒度通过试样粒度通过100100网目,用磁铁吸去铁粉。网目,用磁铁吸去铁粉。.2 .2 试料试料称取称取1.0000g1.0000g试样(试样(5.15.1)。)。.3 .3 空白试验空白试验随同试料做空白试验。随同试料做空白试验。 .4 .4 测定测定( (可取测铁时的溶液可取测铁时的溶液10mL10mL,按步骤,按步骤.4.6.4.6进行进行分析分析) ).4.1 .4.1 将试料置于将试料置于100mL100mL铂皿中,加入铂皿中,加入0.5mL0.5mL硫硫酸(酸(.3.3)、)、202025mL25mL氢氟酸(氢氟酸(.1.1),分次)
25、,分次滴加硝酸(滴加硝酸(.2.2)直至试料大部分溶解。移铂)直至试料大部分溶解。移铂皿于沙浴上,加热至试料溶解完全并蒸干。皿于沙浴上,加热至试料溶解完全并蒸干。.4.2 .4.2 将铂皿置于将铂皿置于4504502525高温炉中冒尽硫高温炉中冒尽硫酸烟,取出,冷却。酸烟,取出,冷却。.4.3 .4.3 加入加入5.0mL5.0mL盐酸(盐酸(.4.4),沿皿壁洗入),沿皿壁洗入202030mL30mL水,加热使残渣完全溶解,冷却。水,加热使残渣完全溶解,冷却。.4.4 .4.4 按表按表1 1将试液移入容量瓶中,用水稀释至将试液移入容量瓶中,用水稀释至刻度,混匀。刻度,混匀。 表表 3.4.
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