激光加工基本基础学习知识原理.doc

-! 激光加工基本原理 （分享） 4.1.1 激光加工的特点与分类 4.1.1.1 激光加工的特点 激光（LASER）是英语“Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation”的字头缩写，意思为“通过受激辐射实现光放大”。 激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料进行切割、焊接、表面处理、打孔、增材加工及微加工等的一门加工技术。激光加工技术是涉及到光、机电、材料及检测等多门学科的一门综合技术，它的研究范围一般可分为激光加工系统和激光加工工艺。 激光加工与其他加工技术相比有其独特的特点和优势，它的主要特点有： 1、非接触加工。激光属于无接触加工，切割不用刀具，切边无机械应力，也无刀具磨损和替换、拆装问题，为此可缩短加工时间；焊接无需电极和填充材料，再加上深熔焊接产生的纯化效应，使得焊缝杂质含量低、纯度高。聚焦激光束具有106～1012W/cm2高功率密度，可以进行高速焊接和高速切割。利用光的无惯性，在高速焊接或切割中可急停和快速启动。 2、对加工材料热影响区小。激光束照射到物体的表面是局部区域，虽然在加工部位的温度较高，产生的热量很大，但加工时的移动速度很快，其热影响的区域很小，对非照射的部位几乎没有影响。在实际热处理、切割、焊接过程中，加工工件基本没有变形。正是激光加工的这一特点，它已被成功地应用于局部热处理和显像管焊接中。 3、加工灵活。激光束易于聚焦、发散和导向，可以很方便地得到不同的光斑尺寸和功率大小，以适应不同的加工要求。并且通过调节外光路系统改变光束的方向，与数控机床、机器人进行连接，构成各种加工系统，可对复杂工件进行加工。激光加工不受电磁干扰，可以在大气环境中进行加工。 4、可以进行微区加工。激光束不仅可以聚焦，而且可以聚焦到波长级光斑，使用这样小的高能量光斑可以进行微区加工。 5、可以透过透明介质对密封容器内的工件进行加工。 6、加工高硬度、高脆性、高熔点的金属及非金属材料。 4.1.1.2 激光加工的分类 1、激光材料去除加工 在生产中常用的激光材料去除加工有激光打孔、激光切割、激光雕刻和激光刻蚀等技术。 2、激光材料增长加工 激光材料增长加工主要包括激光焊接、激光烧结和快速成形技术。 3、激光材料改性 激光材料改性主要有激光热处理、激光强化、激光涂覆、激光合金化和激光非晶化、微晶化等。 4、激光微细加工 激光的微细加工起源于半导体制造工艺，是指加工尺寸约在微米级范围的加工方式。纳米级微细加工方式也叫做超精细加工。目前激光的微细加工成为研究热点和发展方向。 5、其他激光加工 激光加工在其他领域中的应用有激光清洗、激光复合加工、激光抛光等。 4.1.2 激光产生的基本原理 4.1.2.1 光的吸收和释放 激光的光吸收和释放原理如表4-1所示。 表4-1 光的吸收、释放原理 自发辐射 处于高能级E2的一个原子自发地向E1跃迁，并发射一个能量为的光子，这一过程称为自发跃迁。由原子自发跃迁发出的光波称为自发辐射。 受激吸收 处于低能态E1的一个原子，在频率为的辐射场作用(激励)下，吸收一个能量为的光子并向E2能态跃迁，这一过程称为受激吸收跃迁，如图1-2所示。 受激辐射 受激吸收跃迁的反过程就是受激辐射跃迁。处于上能级E2的原子在频率为的辐射场作用下，跃迁至低能态E1并辐射一个能量为的光子。受激辐射跃迁发出的光波称为受激辐射， 4.1.2.2 激光产生的过程 激光产生的过程是：在受激辐射跃迁的过程中，一个诱发光子可以使处在上能级的发光粒子产生一个与该光子状态完全相同的光子，这两个光子又可以去诱发其它发光粒子，产生更多状态相同的光子。这样，在一个入射光子的作用下，可引起大量发光粒子产生受激辐射，并产生大量运动状态相同的光子。这种现象称受激辐射光放大。 4.1.2.3 典型激光器结构及功能 激光器通常由三部分组成，即激光工作物质、泵浦源及光学谐振腔，它们是产生激光的三个前提条件。具体原理见表4-2 表4-2 激光器组成 激光工作物质 包括激活粒子与基质。为了形成稳定的激光，首先必须要有能够形成粒子数反转的发光粒子——激活粒子。它们可以是分子、原子或离子。这些激活粒子有些可以独立存在，有些则必须依附于某些材料中。为激活粒子提供寄存场所的材料称为基质，它们可以是固体或液体。 泵浦源 泵浦源的作用是对激光工作物质进行激励，产生粒子数反转。不同的激光工作物质往往采用不同的泵浦源。 光学谐振腔 光学谐振腔的作用主要有以下两个方面。产生和维持激光振荡、改善输出激光的质量。谐振腔由放置在激光工作物质两边的两个反射镜组成，其中之一是全反射镜，另一个作为输出镜用，是部分反射、部分透射的半反射镜。[1] 4.1.3 激光器系统 激光器按工作物质的不同可以分为：固体，气体，液体，光纤及半导体激光器等。另外，根据激光输出方式的不同又可分为连续激光器和脉冲激光器，其中脉冲激光的峰值功率可以非常大。用于工业材料加工的主要有固体激光器、CO2激光器等几种激光器。在此，对几种主要激光器进行介绍。 4.1.3.1 固体激光器 固体激光器以其独特的优越性在材料加工中获得广泛的应用，固体激光器的优点是： 1）输出光波波长较短。红宝石激光器输出波长为694.3nm；Nd：YAG及钕玻璃激光器的输出波长为1.06mm，比CO2激光器低一个数量级。并且固体激光器的输出波长多在可见光区段或近红外光区段，很容易用某些晶体倍频，获得可见光甚至紫外光波段光波。对于大多数材料，激光波长越短，吸收系数越大，在加工工件时，固体激光器所需的平均功率比用CO2激光器的要小。 2）固体激光器输出较易使用普通光学元件传递。对于波长为1.06mm的近红外光，还可用光纤维传输，具有方便灵活的特点。 3）结构紧凑、牢固耐用、使用维护比较方便，价格也比气体激光器低。 固体激光器的这些优越性使得其在激光打孔、焊接、表面工程和半导体加工技术中得到广泛应用。 固体激光器的基本结构如图4-1所示，它主要由激光工作物质、泵浦光源、聚光腔、光学谐振腔等部分组成。 图4-1 固体激光器基本结构示意图 1．固体激光器的工作物质 用于材料热加工的固体激光器的工作物质主要有：红宝石，Nd：YAG和钕玻璃。使用这三种激光物质的激光器的性能特点见表4-3。 表4-3 固体激光器特点比较 固体激光器 特点 红宝石激光器 属于三能级系统，机械强度大，能承受高功率密度，亚稳态寿命长，可获得大能量输出，尤其是大能量单模输出。但其阈值较高，输出性能受温度变化明显，不宜作连续及高重复率运行，只能做低重复率脉冲器件。 YAG激光器 属于四能级系统，荧光量子效率高，阈值低，并且具有良好的热稳定性能、热导率高、硬度大、化学性质稳定等特点，是这三种固体激光器中唯一能够连续运转的激光器，已经广泛应用于材料加工。 钕玻璃激光器 属四能级系统，具有较宽的荧光谱线，荧光寿命长，易积累粒子数反转而获得大能量输出，容易加工。但其热导率较低，故只能在脉冲状态下工作。 目前Nd：YAG是实用化固体激光器件中主要使用的激光工作物质。很多工业加工设备的激光器系统都是采用Nd：YAG激光器。表4-4为使用这三种工作物质的固体激光器的主要工作参数。 表4-4 三种固体激光器的常用参数 类型 波长/mm 工作方式 激光功率或脉冲能量 脉冲宽度/ns 发散角/mrad 效率/% 红宝石 0.6943 脉冲 100～1000J/脉冲(TEMmn) 1J/脉冲(TEM00) 108～109W 10-2J/脉冲 1～10 1～3 210-9 5～10 1 YAG 1.06 连续 脉冲 Q开关 2100W(TEMmn) 20W(TEM00) 1～500J/脉冲 5J/脉冲(TEM00) 510-3J(TEM00) 110-3J 108～109W (37～350)10-3J 8105J(TEM00) 10W(TEM00) 0.1～20 (3～20)10-5 (0.1～1) 10-5 10-5 10～20 0.2～2 5～20 3 0.1 5～20 1～10 0.1 1～3 钕玻璃 1.06 脉冲 Q开关 锁模 500J 51010W(100J/脉冲) 1.71013W 0.5～10 1010 1～10 0.2～0.3 2 2.固体激光器的泵浦系统 泵浦系统包括泵浦光源和聚光腔。在固体激光器中，激光物质内的粒子数反转是通过光泵的抽运实现的。电源的电能首先转变为泵浦光源的光能，然后再转变成固体激光器工作物质的储能。目前泵浦光源最常用的是惰性气体放电灯和激光二极管[2]。惰性气体放电灯泵浦系统是常规固体激光器最为广泛使用的泵浦光源，主要分为用于脉冲工作方式的氙（Xe）灯和用于连续工作方式的氪（Kr）灯，随着二极管激光器（LD）技术和制造工艺的成熟，采用激光二极管做为泵浦源，正成为固体激光器泵浦系统的重要发展方向。 （1）脉冲氙闪光灯泵浦系统。 脉冲氙灯是一种亮度较高的非相干辐射源，用于脉冲工作的Nd：YAG和钕玻璃激光器的泵浦。脉冲氙灯的放电过程是随时间急剧变化的过程，它的灯电阻、端电压和电流都随时间变化。表4-5列出了脉冲氙灯的主要尺寸规格。 表4-5 STX系列激光氙灯 型号 内径 φ1(mm） 弧长 L2(mm) 总长 OVL(mm) 外径 φ2(mm) 电极 φxL4(mm) STX5x75x140 4 75 140 5 3x5 STX7x70x150 5 70 150 7 4x5 STX7x100x210 5 100 210 7 4x8 STX7x100x186 5 100 186 7 4x8 STX8x90x220 6 90 220 8 5x8 STX8x100x230 6 100 230 8 5x8 STX8x100x250 6 100 250 8 5x8 STX8x100x288 6 100 288 8 5x10 STX8x120x240 6 120 240 8 5x8 STX8x120x260 6 120 260 8 5x8 STX8x140x280 6 140 280 8 5x8 STX8x150x297 6 150 297 8 5x10 STX9x130x264 7 130 264 9 6x8 STX9x280x390 7 280 390 9 6x8 STX10x45x125 8 45 125 10 6.5x5 脉冲固体激光器电源系统的主回路原理图见图4-2，电源电路包括充电电路、储能网络、放电电路、触发及预燃电路、控制电路等。电路的工作原理是；当触发电路给氙灯提供一个高压触发脉冲时，灯内的气体被击穿，进入低阻状态，储能元件中的电能通过灯放电，采用预燃技术，灯触发后，预燃电路提供小电流维持灯的导通状态，脉冲放电靠放电回路中串入放电开关控制，充电电路在储能网络不放电时工作为储能网络充电，控制回路协调以上各电路正常工作。 交流电源 充电 电路 储能放 电电路 灯 预燃电路 控制电路 触发电路 图4-2 脉冲固体激光器电源框图 目前国内生产脉冲氙灯的电源的厂家很多，表4-6为武汉新特光电技术有限公司的脉冲激光电源的参数表。 表4-6 STLDP系列脉冲激光电源 型号 STLDP-1 STLDP-2 STLDP-3 STLDP-4 最大输出电功率(kW) 5 5 4 4 输出电流范围 (A) 100-600 100-600 100-600 100-600 脉冲宽度 (ms) 0.1-10 0.1-20 0.1-10 0.1-20 脉冲重复率(Hz) 0.1-100 0.1-200 0.1-100 0.1-200 电源输入 380VAC 380VAC 380VAC 380VAC 外形尺寸 (mm) 480x202x600 （2）连续氪弧光灯泵浦系统。 氪比氙的线状光谱能更好地与Nd：YAG的吸收谱相匹配，因此，氪弧灯是连续工作高功率激光器常用的泵浦光源。氪弧灯属于管壁稳定型大电流弧光放电灯，放电起始采用高压脉冲点火，点燃后属于稳定气体放电。表4-7为部分氪灯的尺寸参数。 表4-7 STK 系列激光氪灯 型号 内径 φ1 (mm) 弧长 L2(mm) 总长 OVL(mm) 外径 φ2(mm) 电极 φxL4(mm) STK6.5x100x250 4.5 100 250 6.5 4x8 STK6.5x125x270 4.5 125 270 6.5 4x10 STK7x100x210 5 100 210 7 4x8 STK7x100x250 5 100 250 7 4x8 STK7x125x270 5 125 270 7 4x10 STK8x95x214 6 95 214 8 5x7 STK8x100x235 6 100 235 8 5x8 STK8x100x250 6 100 250 8 5x10 STK8x100x256 6 100 256 8 5x8 STK8x100x270 6 100 270 8 5x10 STK8x100x288 6 100 288 8 5x10 STK8x120x260 6 120 260 8 5x8 STK8x120x264 6 120 264 8 5x10 STK8x125x270 6 125 270 8 5x10 STK8x125x280 6 125 280 8 5x10 STK8x150x288 6 150 288 8 5x8 STK8x150x290 6 150 290 8 5x8 STK8x100x210 6 100 210 8 5x8 氪灯泵浦系统工作在低电压、大电流状态，对供电系统的要求是：电源与灯的伏安特性要匹配，氪灯的输出功率由电流强度决定，灯在稳定工作中的动态电阻很小，灯电压的微小变化都会引起等电流的大幅变化，因此要求电源有稳流措施，应为电流源，泵浦系统要求一定的电流调节范围，当电流调至最小值(休眠电流)时能保持弧光放电的稳定性，对电流脉动要求在小于0.5~2%的范围内。电源系统框图见图4-3。目前的连续氪灯电源的主电路多为低电压大电流连续供电，采用开关电源形式，如BUCK变换器，并有触发电路及辅助高压。表4-8列出国内厂家的连续泵浦氪灯电源。 主电路 辅助 高压 触发电路 控制电路 图4-3 连续固体激光器电源系统 表4-8 国产连续泵浦电源 型号 STCW22A STCW32A STCW24A STCW22B STCW32B 最大输出电流 25A 30A 20A 25A 30A 最高输出电压 200V 200V 400V 200V 200V 输出电流波纹 ≦0.4% ≦0.4% ≦0.4% ≦0.4% ≦0.4% 控制精度 0.4% 0.4% 0.4% 0.4% 0.4% 休眠电流 7A 7A 7A 7A 7A 开关工作频率 20KHZ 20KHZ 20KHZ 20KHZ 20KHZ 允许交流电压波动 15% 15% 15% 15% 15% 允许工作环境温度 0～50℃ 0～50℃ 0～50℃ 0～50℃ 0～50℃ 工作环境湿度范围 ≦90% ≦90% ≦90% ≦90% ≦90% 对交流电源要求 380V，6KVA 380V，9KVA 380V，11KVA 220V，6KVA 220V，9KVA （3）激光二极管泵浦系统。 随着激光二极管（LD）技术及制造工艺的逐步成熟，激光二极管泵浦固体激光器（DPSSL）的研制成为新的发展方向。 激光二极管的输出可以与固体激光器介质的吸收带相一致，激励效率大为提高，热效应显著降低。激光二极管还具有结构紧凑、寿命长的优点。连续工作的激光二极管寿命超过104h、脉冲工作在109次以上，而惰性气体泵浦灯只有200h和107次。采用激光二极管泵浦的激光器体积小、重量轻、效率高、易于维护。 当前，随着激光二极管的市场的需求量的持续增加和大规模自动化生产线的建立，二极管的价格逐步下降，激光二极管泵浦固体激光器将得到广泛应用。 在设计二极管泵浦系统时，应按应用目的选择二极管参数，如波长、工作方式、输出功率，以及二极管的构型。目前，用作泵浦源的二极管的发射波长已从770～990nm向红外900～1000nm和可见光630～680nm扩展，多种固体激光工作物质都可以用二极管泵浦。通常有长为100μm或200μm小的二极管线阵、1cm长的阵列条和二维面阵，或称叠层组件可供选择。短的二极管阵列特别适于端面泵浦，阵列条常用于侧面泵浦板条或棒状固体激光器。对高功率固体激光器，必须将1cm的阵列条叠成模块，以减小电子学驱动器、冷却系统和机械结构的复杂性。 目前很多激光器公司生产出LD泵浦固体激光器系统，如Rofin公司的DP系列固体激光器，采用半导体泵浦系统，主要应用于材料的切割与焊接，泵浦半导体激光器的寿命超过10000小时。主要型号如表4-9： 表:4-9 DP系列固体激光器 DP 010 HX DP 015 HX DP 020 HX DP 030 HX DP 040 HX 泵浦源 激光二极管 激光二极管 激光二极管 激光二极管 激光二极管 输出功率 100-1000W 150-1500W 200-2000W 300-3000W 400-4000W 光束参数乘积 12mm*mrad 12mm*mrad 25mm*mrad 25mm*mrad 25mm*mrad （4）固体激光器的聚光腔 对于使用惰性气体放电灯泵浦的固体激光器，泵浦光在空间4π立体角内发射，需要使用聚光腔来提高泵浦光的转换效率和提高泵浦光辐射的均匀性。在激光二极管泵浦的情况下，为进一步提高光－光转换效率，有时也需要聚光腔。常用的聚光腔有以下几种类型。 1）椭圆柱聚光腔。椭圆柱聚光腔是最常用的一种类型，图4-4为几种典型结构。 (a)大偏心率 (b)小偏心率 (c)紧耦合 (d)焦外 (e)单椭圆 (f)双椭圆 (g)多椭圆 图4-4 椭圆柱聚光腔 2）紧耦合非聚焦聚光腔。这种结构非常简单可得到与椭圆柱聚光腔一样的效率，但泵浦光均匀性较差。几种结构见图4-5。 (a)圆柱腔 (b)单灯紧包腔 (c)双灯紧包腔 (d)四灯紧包腔 (e)多灯共轴腔 图4-5紧耦合非聚焦聚光腔 3）漫反射聚光腔，如图4-6所示。用螺旋灯泵浦时，通常在螺旋灯外包一个陶瓷漫反射器，见图4-4（a），在螺旋形和同轴闪光灯泵浦系统中，泵浦光传输效率由灯内径和棒直径之比决定。最简单的漫反射聚光腔是一个陶瓷圆柱体，棒和灯紧包在圆柱体之内。 漫反射圆柱体 同轴闪光灯管 螺旋闪光灯 图4-6 漫反射聚光腔 4）旋转对称聚光腔。能够得到高的光传输效率和很好的均匀辐射效果，在球面反射体聚光腔中，灯和棒沿聚光腔直径方向相邻排列；在椭球体聚光腔中，灯和棒沿长轴放置于焦点和椭圆面间。这类聚光腔的主要缺点是结构复杂、制造成本高，在实际中很少采用。 聚光腔的设计和选择应考虑以下几点： 1）激光棒的几何形状、尺寸和泵浦源的形式，根据所用激光棒的大小，单灯或多灯泵浦而选用不同的聚光腔型。对二极管泵浦，还应按泵浦功率的泵浦耦合方式等决定是否用聚光腔或使用单面全反射器等。 2）性能参数：对光传输效率和泵浦光分布均匀性等性能参数应综合考虑。 3）系统考虑：冷却要求、聚光腔的尺寸、重量及制造成本，都是影响总体设计的重要因素。 3、固体激光器的谐振腔 光学谐振腔是固体激光器的总共要组成部分，它由全反射镜和部分反射镜组成，受激 辐射光通过反馈在谐振腔中不断振荡放大，并由部分反射镜输出。最常用的固体激光器的谐振腔是由相向放置的两球面镜或平面镜组成，不同类型的腔型结构，对激光输出的功率、模式、光束发散角等都有直接的影响。 图4-7表达了常用的几种谐振腔结构。（a）为平行平面光学腔，该腔的两面反射镜如果不是严格平行，光在镜面间经几次反射后，就会从镜子边缘漏出，该结构不适于实用化的激光器。（b）是共焦式光学谐振腔，两面凹面镜放置在稍偏离镜子曲率半径位置上，使焦点共用，该谐振腔的光轴调整比较容易，但激光介质的利用范围受到限制。（c）是用两面大曲率半径的凹面镜构成的光学谐振腔，曲率半径比光腔腔长长的多。（d）半球式光腔，常用作固体激光器的谐振腔。 图4-7 固体激光器光学谐振腔 4、激光器调Q技术 为了压缩脉冲宽度，提高峰值功率，在脉冲激光器中要使用Q开关技术（调Q），Q开关是一种在激光谐振腔内，通过快速切断和导通激光光路，来调制激光频率的装置，以声光调Q为例，示意图见图4-8。调Q技术自从1962年出现以来，发展极为迅速，采用这种技术可以获得峰值功率在兆瓦级以上，脉宽为纳秒级的激光脉冲。 高频振荡电源 连续电源 YAG 介质 氪灯 声光调Q器件 全反镜 半反镜 图4-8 调Q激光器示意图 调Q技术是一种基于激光谐振腔的品质因数，Q值愈高，激光振荡愈容易，Q值愈低，激光振荡愈难的原理技术，即在光泵浦开始时，使谐振腔内的损耗增大，降低腔内Q值，以让尽量多的低能态粒子抽运到高能态去，达到粒子数反转。由于Q值低，故不会产生激光振荡。当激光上能级粒子数达到最大值(饱和值)时，设法突然使腔的损耗变小，Q值突增，这时激光振荡迅速建立。如果处于激光上能级的粒子像雪崩一样地跃迁到激光下能级，使之在极短时间内达到反转，粒子数大量被消耗，则在输出端可得到一个极强的激光巨脉冲输出，其脉冲宽度通常在10-6～10-9s数量级，脉冲峰值功率可达108～109W以上。 目前在激光加工中采用的有电光调Q、声光调Q、染料调Q、机械调Q等。但采用最多的是电光调Q和声光凋Q两种。 电光调Q是利用在晶体上加电场，使晶体的折射率产生变化的“电光效应”原理来实现调Q的。电光调Q开关具有反应时间短、结构简单、使用寿命长、重复性好等优点。对Nd:YAG激光器进行电光调Q，可获得脉冲宽度小于10ns、106W以上的脉冲峰值功率。 声光调Q是激光通过声光介质中的超声场时，产生布拉格衍射，使光束偏离谐振腔，导致腔内损耗增大，Q值下降。当撤出超声场时，Q值即刻猛增，此时可获得巨脉冲输出。声光调Q在激光加工中得到了广泛应用(包括激光打标、焊接和微凋等)。 4.1.3.2 气体激光器 以单一气体、混合气体或蒸气作为激光工作物质的激光器称为气体激光器，气体激光器又分为原子激光器、分子激光器和离子激光器三大类。其激励方式除了放电激励、电子束激励外，还有化学反应激励、热激励等。 气体激光器的主要优点是： 1）工作物质均匀一致，保证了激光束的优良光束质量，激光束的相干性、单色性都优于固体、半导体激光器。 2）与其他介质相比，谱线范围宽，分布在100nm的真空紫外到10μm的长波长远红外波段的范围。 3）输出激光功率功率大，既能连续又能脉冲工作，效率高。如CO2激光器的电光转换效率可达25%。 1、高功率CO2激光器 自从1964年研制成功第一台CO2激光器以来，由于CO2在电光转换效率和输出功率等方面具有的明显优势，这种激光器得到了迅猛发展。目前，无论是激光器的使用数量和市场销售量，CO2激光器都是最重要的工业激光器之一。CO2激光器的输出功率和能量相当大，并且可连续波工作和脉冲工作。连续波输出功率已达到数十万瓦，2104W的连续波功率器件已成为商品，CO2激光器是所有激光器中连续波输出功率最高的激光器。脉冲输出能量达数万焦耳，脉冲宽度可压缩到毫微秒级，脉冲功率密度高达1012W，可与高功率固体激光器的水平相媲美。CO2激光器的能量转换效率高达20～25%，是能量利用率最高的激光器之一。CO2激光器的输出谱带也相当丰富，主要波长分布在9～11mm，正好处于大气传输窗口，十分适宜于在制导、测距和通信上的应用。同时，用作研究物质在10.6mm的非线性光学现象，在工业加工及医疗方面都具广阔的应用前景。并且CO2激光器种类繁多，性能各异，给高功率激光的工业提供了有效的手段。 (1)CO2激光器的工作原理 在CO2激光器中，激光工作物质CO2是一种线性排列的3原子分子(线性对称)，中间是碳原子，两边对称排列氧原子。在正常的情况下，CO2分子处于不停的运动状态，存在3种基本的振动方式和4个振动自由度。图4-9表示了这3种基本的振动方式(反对称振动、对称振动、形变振动)。在简谐近似条件下，CO2分子的3种基本振动近似简谐振动，并且3种振动模相互独立运动。激光跃迁主要在001～100之间，输出10.6mm激光。 图4-9 CO2分子振动能级跃迁图 在常温下，CO2分子大部分处于基态，在电激励条件下，主要是通过电子碰撞直接激发和共振转移激发。在直接激发中，慢速电子碰撞激发N2分子和CO2分子，另一个激发主要是由N2(n=1)与CO2(001)的共振转移激发，这是CO2激光器效率高于其他类型激光器的重要原因。图4-10给出了应用工业加工的6kW的CO2激光系统。 图4-10 6kW的工业用CO2激光系统(Wild Karnten GmbG,Austria) (2)CO2激光器的分类和特性 高功率CO2激光器是目前工业应用中功率最大、光转换效率最高、种类较多、应用较广泛的气体激光器。它的分类较复杂，主要的分类见表4-10所示： 表4-10 CO2激光器的分类及特性 CO2 激光器 分类方式 特点 应用 运转 方式 连续CO2激光器 激光切割、焊接、表面改性 脉冲CO2激光器 激光打标、精密切割和焊接 结构 横流CO2激光器 激光输出功率高，最大输出功率≧150kW,光束质量相对较差 激光表面改性、焊接 纵流CO2激光器 (快流、慢流CO2激光器) 光束质量高、效率高、体积小，激光输出功率达到25kW 激光切割、焊接 封离式CO2激光器 光束质量好、寿命长、结构简单、可靠性高、运行费用低 微细加工、薄板的激光切割 激励 方式 高压直流辉光放电激励 气体在高压下放电电离产生的电子来激发,属自持放电激励 电子束激励 利用腔外高能电子枪产生的电子束直接注入腔内来激发，属非自持放电激励 Macken辉光放电激励 利用具有特殊性质的电场和均匀磁场来实现矩形放电，结构得到简化，输出功率高，成本低 射频激励 放电均匀、注入功率密度高、寿命长、光束质量高、结构紧凑、电转化效率高 微波激励 注入功率密度高、效率高、寿命长、造价低，尚处于研究阶段 CO2激光器的电光转换效率一般为15～20%，将近80%以上的输入功率变成了热能，使得工作气体温度升高。工作气体的温度直接降低了粒子数的反转程度和光子辐射的速度，使得激光器的输出功率降低。因此废热的排除和工作气体的冷却是保证高功率激光器连续运转的必要条件。按照气体冷却方式的不同可将高功率CO2激光器分为扩散冷却和流动冷却两大类，流动冷却又分为轴向、横向和螺旋流动等类型。 (3)轴向流动CO2激光器 轴向流动CO2激光器是工作气体沿放电管轴向流动实现冷却，气流方向同电场方向和激光方向一致，它包括慢速轴流(气流速度在50m/s左右)和快速轴流(气流速度大于100m/s，甚至可达亚音速)。慢速轴流CO2激光器由于结构复杂，输出功率低，较少采用；采用较多的是快速轴流CO2激光器，图4-11是其结构示意图及商用轴流2.2kW激光加工系统(来自PRC Laser)。 (a)结构示意图 (b)轴流2.2kW激光加工系统 图4-11 快速轴流CO2激光器 快速轴流激光器的技术关键是使气体高速循环的罗茨泵，要求泵的流速高，振动小，噪音低，泵所需容量等于激活区域除以气体流过激活长度的时间。快轴流激光器的主要特点在于：光束质量好，功率密度高，电光效率可达26%，结构紧凑，可以连续和脉冲双制运行，使用范围广。 (4)横向流动型CO2激光器 横向流动型CO2激光器的工作气体是沿着与光轴垂直的方向快速流过放电区来维持腔内较低气体温度的。图4-12为横流激光器的典型结构，横流CO2激光器的光轴、气体流动方向和放电方向三轴正交。横流激光器中气压高，光腔流道截面面积大，流速也相当高，所以横流CO2激光器输出功率大。目前，横流CO2激光器的输出功率已达到30kW的输出功率。 图4-12横流CO2激光器 横流CO2激光器根据电极形状的不同主要分为管-板电极结构CO2激光器和针-板电极结构CO2激光器。横流CO2激光器的光束质量比轴流CO2激光器的差，一般输出高阶模，常用于激光表面淬火、表面熔覆与表面合金化。 此外，在流动型CO2激光器中还有螺旋流动型、横流圆筒结构CO2激光器等。 (5)扩散冷却型CO2激光器 扩散冷却激光器的工作气体由气体自身的热扩散来冷却的。较高功率的封离型激光器都具有一套真空排气-冲气系统，用于腔内变质气体的更换，把这种激光器称为准封离型激光器，图4-13为准封离型CO2激光器示意图。目前经加长放电管的封离型激光器的输出功率达到3kW，国内也有千瓦级封离型CO2激光器。 图4-13 准封离型CO2激光器 新型的扩散冷却的CO2激光器采用气体密封的形式，激光器具有紧凑的结构，可以采用水冷和风冷的方式，典型产品如Rofin公司DC系列Slab CO2激光器。Slab CO2激光器的射频激励的气体放电发生在两个面积较大的铜电极之间，采用水冷方式冷却电极，由于电极面积大，极间距小，因此对放电腔内的气体冷却效率很高，可以得到相对高的输出功率密度。这种激光器的结构原理图见图4-14 1、激光束 2、光束整形 3、输出镜 4、冷却水 5、RF激励源 6、冷却水 7、末端镜 8、RF激励交换器 9、波导电极 图 4-14 Slab CO2激光器结构 扩散冷却的Slab CO2激光器的优点是：结构紧凑，几乎没有摩擦损耗；输出光束具有很高的质量；不需对激光工作气体进行热交换；光损耗较低；热稳定性非常高；低气体损耗，外部不需配置气体贮气罐；没有气体流动，不会污染谐振腔的光学元件；维护成本低。 ROFIN公司DC系列Slab CO2激光器最大功率达8KW，外形见图4-15。部分产品参数见表4-11 图4-15 Rofin DC Slab CO2激光器 表4-11 DC系列CO2激光器 ROFIN DC 010 ROFIN DC 020 ROFIN DC 030 ROFIN DC 040 激励形式 高频 高频 高频 高频 输出最大功率(KW) 1 2 3 4 输出功率范围(KW) 0.1—1 0.2—2 0.3—3 0.4—4 光束质量K因子 K>0.9 K>0.9 K>0.9 K>0.9 脉冲频率(Hz) 0-5K 0-5K 0-5K 0-5K 2、准分子激光器 准分子激光器的工作物质是准分子气体，准分子是一种在激发态复合成的分子，而在基态则离解成原子的不稳定地缔合物。准分子只在激发态时才以分子形式存在，其基态的平均寿命很短，仅为10～13s，当从激发态跃迁到基态时，很快便离解成独立的原子。准分子激光为紫外短脉冲激光，波长范围在193～351nm，约是YAG波长的1/5和CO2波长的1/50，单光子能量可达到7.9ev，高于大部分分子的化学键能，能直接深入材料分子内部进行加工。 准分子激光器可分为惰性准分子、惰性卤化物、惰性氧化物、惰性-金属蒸气和金属蒸气准分子激光器五种，目前商品化的准分子激光器大都是惰性气体卤化物准分子，包括XeCl、KrF、ArF和XeF等气态物质。 准分子激光器的基本结构与CO2激光器相同，可以调谐运转。紫外波段的准分子激光器主要靠激光剥离(Laser Ablation)加工材料。即由于准分子激光能量比材料分子原子连接键能量大，材料吸收后(吸收率高)，光子能量耦合于连接键，就破坏了原有的键连接而形成微小碎片，碎片材料自行脱落，每个脉冲可去除亚微米深的材料，如此逐层剥离材料，达到加工目的。目前准分子激光器主要为脉冲工作方式，商品化的准分子激光器平均功率为100～200W，最高功率已达750W，现国际上有Labe Physic和日本三菱电机等公司生产的商用准分子激光器。图4-16是工业用的XeCl激光系统，在250Hz重复频率下的脉冲能量为600mJ。表4-12列出了典型商用准分子激光器的基本参数。 图4-16 工业用准分子(XeCl)激光器(Lambda Physik GmbH， Germany) 表4-12 典型商用准分子激光器参数 准分子 ArF KrF XeCl XeF 波长/nm 193 248 308 351 脉冲能量/mJ 275 450 250 200 平均功率/W 45 80 45 35 3、氦-氖激光器(原子激光器) He-Ne激光器是最早问世的气体激光器，He-Ne激光器是连续波运转，主要波段在可见光区或近红外区。工作物质是He-Ne的混合气体，比例是5:1，工作压力为3～30托，氖为激活物质，通常运转的谱线波长为6328，单横模输出功率在50mW/m量级水平。He-Ne激光器的主要特点是输出光束的单色性、方向性好，输出功率和频率稳定度高，并有结构简单紧凑、制作容易、使用方便、寿命长等优点，因而He-Ne激光器已广泛应用于检测、导向、精密计量、全息、信息处理、医学等各个方面。 光学谐振腔由一对高反射率的多层介质膜反射镜组成，一般采用平凹腔形式，平面镜为输出镜，透过率依赖于激光器长度，约为1～2%，凹面镜为全反射镜，反射率接近100%。 放电管由毛细管和贮气管构成。毛细管处于增益介质工作区，因此毛细管的尺寸和质量是决定激光器输出性能的关键因素。贮气管与毛细管相连，为了使放电只限制在毛细管内，在毛细管的一端装有隔板，贮气管的作用是为了增加放电管的工作气体总量，保证毛细管内的气体得到不断更新，延长了器件寿命。普通的He-Ne激光器的放电管一般采用GG17硬质玻璃制成，对输出功率和波长要求稳定性高的器件通常用热膨胀系数更小的石英玻璃制作。 连续工作的He-Ne激光器多采用直流放电激励的方式，起辉电压和工作电压与激光器的结构参数和放电条件有关，放电长度为1m的激光器，起辉电压在8KV左右；He-Ne激光器的工作电流在几毫安到几百毫安的范围内。 He-Ne激光器的放电电极多采用冷阴极形式，冷阴极材料多用溅射率小、电子发射率高的铝或