2022年微电子学概论复习题及答案.docx
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1、精选学习资料 - - - - - - - - - 第一章 绪论1画出集成电路设计与制造的主要流程框架;2集成电路分类情形如何?双极 型PMOS按结构分单片集成电MOS型NMOS路类电B iMOSCMOS型B iMOS B iCMOS混合集成厚膜混合集成 路 薄膜混合集成电电路SSI集成电路规模分MSILSI 类VLSI按ULSIGSI按功能分用领数字电组 路 时合规律电路路序规律电路类拟电线 路非性电路线性电按应数字模类拟混合电路域分3微电子学的特点是什么?微电子学:电子学的一门分支学科微电子学以实现电路和系统的集成为目的,故有用性极强;微电子学中的空间尺度通常是以微米 m, 1 m106m和
2、纳米 nm, 1nm = 10-9m为单位的;微电子学是信息领域的重要基础学科 微电子学是一门综合性很强的边缘学科涉及了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号 处理、运算机帮助设计、测试与加工、图论、化学等多个学科 微电子学是一门进展极为快速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高牢靠性是微名师归纳总结 - - - - - - -第 1 页,共 18 页精选学习资料 - - - - - - - - - 电子学进展的方向微电子学的渗透性极强,它可以是与其他学科结合而产生出一系列新的交叉学科,例如微机电系统 MEMS 、生物芯片等4列举出你见到 的、想到的不同类型的集成电路
3、及其主要作用;集成电路 按用途可分为电视机用集成电路、音响 用集成电路、 影碟机 用集成电路、 录像机用集成电路、 电脑(微机)用集成电路、 电子琴 用集成电路、通信用集成电路、照相 机用集成电路、 遥控集成电路、 语言集成电路、 报警器 用集成电路及各种 专用集成电路 ;5用你自己的话 说明微电子学、集成电路的概念;集成电路( integrated circuit)是一种微型电子器件或部件;采纳肯定的工艺,把一个电 路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块 或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的 微型结构;其中全部元件
4、在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗 和高牢靠性方面迈进了一大步;6简洁表达微电 子学对人类社会的作用;可以毫不夸张地说,没有微电子技术的进步,就不行能有今日信息技术的蓬勃进展,微 电子已经成为整个信息社会进展的基石;随着微电子的进展,器件的特点尺寸越来越小 其次章 半导体物理和器件物理基础 1 什么是半导体?特点、常用半导体材料 什么是半导体?金属:电导率 106104W.cm-1,不含禁带;半导体:电导率 10410-10W.cm-1,含禁带;绝缘体:电导率 10-10W.cm-1,禁带较宽;半导体的特点:(1)电导率随温度上升而指数上升;(2)杂质的种类和数量打算其电导
5、率;(3)可以实现非匀称掺杂;(4)光辐照、高能电子注入、电场和磁场等影响其电导率;硅:地球上含量最丰富的元素之一,微电子产业用量最大、 也是最重要的半导体材料;硅原子序数 14的物理化学性质主要由最外层四个电子(称为价电子)打算;每个硅原子 近邻有四个硅原子,每两个相邻原子之间有一对电子,它们与两个原子核都有吸引作用,称为共价键;化合物半导体: III 族元素和 V 族构成的 III-V 族化合物,如, GaAs砷化镓 ,InSb锑 化铟,GaP磷化镓 ,InP磷化铟 等,广泛用于光电器件、半导体激光器和微波器件;2.掺杂、施主 /受主、 P 型/N 型半导体(课件)掺杂:电子摆脱共价键所需
6、的能量,在一般情形下,是靠晶体内部原子本身的热运动供应的;常温下,硅里面由于热运动激发价健上电子而产生的电子和空穴很少,它们对硅的导电性的 影响是特别微小的;室温下半导体的导电性主要由掺入半导体中的微量的杂质(简称掺杂)来打算,这是半导体能够制造各种器件的重要缘由;施主: Donor,掺入半导体的杂质原子向半导体中供应导电的电子,并成为带正电的离子;如 Si 中掺的 P 和 As(最外层有 5 个价电子)受主: Acceptor,掺入半导体的杂质原子向半导体中 供应导电的空穴,并成为带负电的离子;如 Si 中掺的 B硼)(最外层只有 3 个价电子)名师归纳总结 - - - - - - -第 2
7、 页,共 18 页精选学习资料 - - - - - - - - - N 型半导体: n 大于 p(如在硅中掺入五价杂质)P 型半导体: p 大于 n(如在硅中掺入三价杂质)3.能带、导带、价带、禁带(课件)半导体晶体中的电子的能量既不像自由电子哪样连续,也不象孤立原子哪样是一个个分立的 能级,而是形成能带,每一带内包含了大量的,能量很近的能级;能带之间的间隙叫禁带,一个能带到另一个能带之间的能量差称为禁带宽度;价带: 0K 条件下被电子填充的能量最高的能带 导带: 0K 条件下未被电子填充的能量最低的能带 禁带:导带底与价带顶之间能带 带隙:导带底与价带顶之间的能量差4.半导体中的载流子、迁移
8、率(课件)半导体中的载流子:在半导体中,存在两种载流子,电子以及电子流失导致共价键上留下的q m空位(空穴)均被视为载流子;通常N 型半导体中指自由电子,P 型半导体中指空穴,它们在电场作用下能作定向运动,形成电流;迁移率:单位电场作用下载流子获得平均速度,反映了载流子在电场作用下输运才能5.PN 结,为什么会单向导电,正向特性、反向特性,PN 结击穿有几种(课件)PN 结:在一块半导体材料中,假如一部分是 n 型区,一部分是 p 型区,在 n 型区和 p 型区的交界面处就形成了 pn 结载流子漂移 电流和扩散 电流 过程保持平稳 相等 ,形成自建场和自建势在 PN 结上外加一电压 ,假如 P
9、 型一边接正极,N 型一边接负极,电流便从 P 型一边流向 N 型一边,空穴和电子都向界面运动,使空间电荷区变窄,甚至消逝,电流可以顺当通过;假如 N 型一边接外加电压的正极, P 型一边接负极,就空穴和电子都向远离界面的方向运动,使空间电荷区变宽,电流不能流过;这就是 PN 结的单向导性;正向特性:正向偏置时,扩散大于漂移,反向特性:反向偏置时,漂移大于扩散称为 PN 结的正向注入效应;, PN 结的反向抽取作用;击穿:PN 结反偏时,电流很小,但当电压超过临界电压时,电流会突然增大;这一临界电压 称为 PN 结的击穿电压;PN 结的正向偏压一般为 0.7V,而它的反向击穿电压一般可达几十伏
10、,击穿电压与 PN 结的结构及 P 区和 P 区的掺杂浓度有关;齐纳/隧道击穿:电子的隧道穿透效应在强电场的作用下快速增加的结果;雪崩击穿 : PN 结反偏电压增大时, 空间电荷区电场增强, 通过空间电荷区的电子和空穴在电场作用下获 得足够大的能量,当与晶格原子碰撞时可以使满带的电子激发到导带,形成电子-空穴对,这 种现象成为“ 碰撞电离”;新的电子 -空穴对又在电场作用下获得足够的能量,通过碰撞电离 又产生更多的电子 -空穴对,当反偏电压大到肯定值后,载流子碰撞电离的倍增象雪崩一样,特别猛烈,使电流急剧增加,从而发生击穿;这种击穿是不行复原的名师归纳总结 6.双极晶体管工作原理,基本结构,直
11、流特性(课件)第 3 页,共 18 页工作原理:基本结构:由两个相距很近的PN 结组成- - - - - - -精选学习资料 - - - - - - - - - 直流特性 : 1. 共发射极的直流特性曲线2 . 共基极的直流特性曲线7.MOS 晶体管基本结构、工作原理、I-V 方程、三个工作区的特性(课件)基本结构:属于四端器件,有四个电极;由于结构对称,在不加偏压时,无法区分器件的源 和漏;源漏之间加偏压后,电位低的一端称为源,电位高的一端称为漏;工作原理:施加正电荷作用使半导体表面的空穴被排走,少子(电子)被吸引过来;连续增大正电压,负空间电荷区加宽,同时被吸引到表面的电子也增加;形成耗尽
12、层;电压超过肯定值 Vt ,吸引到表面的电子浓度快速增大,在表面形成一个电子导电层,反型层;I-V 方程:电流-电压表达式:线性区: Isd= p |Vgs|-|Vtp|-|Vds|/2 |Vds| 饱和区: Isd= p/2|Vgs|-|Vtp|2三个工作区的特性:线性区 Linear region :Vds = Vgs - Vt Vgs-Vtn 不变,Vds 增加的电压主要降在L 上,由于 L子移动速度主要由反型区的漂移运动打算IdsnVgs2Vtn2截至区( Cut off ): Vgs Vt 0 Ids=0 8.MOS 晶体管分类 答:按载流子类型分:. NMOS: 也称为 N 沟道,
13、载流子为电子;. PMOS: 也称为 P 沟道,载流子为空穴;按导通类型分:. 增强(常闭)型:必需在栅上施加电压才能形成沟道;. 耗尽(常开)型:在零偏压下存在反型层导电沟道,必需在栅上施加偏压才能使沟道 内载流子耗尽的器件;四种 MOS 晶体管: N 沟增强型; N 沟耗尽型; P 沟增强型; P 沟耗尽型 1载流子的输运有哪些模式?对这些输运模式进行简洁的描述;答:载流子的漂移运动:载流子在电场作用下的运动名师归纳总结 - - - - - - -第 4 页,共 18 页精选学习资料 - - - - - - - - - 载流子的扩散运动:载流子在化学势作用下运动2争论 PMOS 晶体管的工
14、作原理,写出 PMOS 管的电流电压方程 ;答:PMOS: 也称为 P 沟道,载流子为空穴;PMOS 管 IV 特性 电流-电压表达式:线性区: Isd= p |Vgs|-|Vtp|-|Vds|/2 |Vds| 饱和区: Isd= p/2|Vgs|-|Vtp|2第三章 大规模集成电路基础芯片( Chip, Die ):没有封装的单个集成电路;硅片( Wafer):包含很多芯片的大圆硅片;双极规律门电路类型(几种主要的) :电阻耦合型 - 电阻 - 晶体管规律 RTL :二极管耦合 -二极管 - 晶体管规律 DTL 晶体管耦合 -晶体管 - 晶体管规律 TTL 合并晶体管 -集成注入规律 I2L
15、 发射极耦合规律 ECL 1 集成电路制造流程、特点尺寸 集成电路的制造过程:设计工艺加工测试封装集成电路的性能指标:集成度速度、功耗(功耗推迟积,又称电路的优值;功耗推迟积越小,集成电路的速度 越快或功耗越低,性能越好)特点尺寸(集成电路中半导体器件的最小尺度)牢靠性集成电路进展的原动力:不断提高的性能/价格比m超深亚微米 0.13 m 主要途径:缩小器件的特点尺寸、增大硅片面积缩小尺寸:0.5 m深亚微米 0.250.18 增大硅片: 8 英寸 12 英寸集成电路的关键技术:光刻技术DUV2 CMOS 集成电路特点双极型:优点是速度高、驱动才能强,COMS :功耗低、集成度高,名师归纳总结
16、 - - - - - - -第 5 页,共 18 页精选学习资料 - - - - - - - - - 随着特点度也可以很高缺点是功耗较大、 集成度较低尺寸的缩小, 速3 MOS 开关、 CMOS 传输门特性MOS 开关 以增强型 NMOS 为例:VgVo/(Vg-Vt)ViTClVo11Vo=Vg-VtVi/(Vg-Vt)ViVg-Vt 时:输入端处于开启状态,设初始时 处于开启状态, MOS 管导通,沟道电流对负载电容Vo=0,就 Vi 刚加上时,输出端也 Cl 充电,直至 Vo=Vi;ViVg-Vt 时:输入沟道被夹断,设初始 VoVg-Vt ,就 Vi 刚加上时,输出端导通,沟道电流对
17、Cl 充电,随着 Vo 的上升,沟道电流逐步减小,当 Vo=Vg-Vt 时,输出端也夹断, MOS 管截止, Vo 保持 Vg-Vt 不变;综上所述:ViVg-Vt 时, MOS 管无损地传输信号;Vi Vg-Vt 时,Vo=Vg-Vt 信号传输有缺失,称为阈值缺失,对于高电平1 ,NMOS 开关输出端缺失一个 Vt;为明白决 NMOS 管在传输1电平、PMOS 在传输0电平常的信号缺失,通常采纳 CMOS 传输门作为开关使用; 它是由一个 N 管和一个 P管构成;工作时,NMOS管的衬底接地, PMOS 管的衬底接电源,且NMOS 管栅压 Vgn 与 PMOS 管的栅压Vgp 极性相反;Vg
18、p=1,Vgn=0 时:双管截止,相当于开关断开;Vgp=0,vgn=1 时:双管有以下三种工作状态:ViVgn+Vtn Vo=Vi ViVgn+Vtn N 管导通,ViVgp+|Vtp| P 管导通, Vi 通过双管对 Cl 充电至:Vo=Vi Vi Vgn+Vtn N 管截止,Vi Vgp+|Vtp| P 管导通,Vi 通过 P 管对 Cl 充电至:Vo=Vi 名师归纳总结 - - - - - - -第 6 页,共 18 页精选学习资料 - - - - - - - - - 通过上述分析,CMOS 传输门是较抱负的开关, 它可将信号无损地传输到输出端;4 CMOS 反相器特性 电压传输特性、
19、 PMOS 和 NMOS 工作区域 CMOS 反相器电压传输特性 VTC 2.521.510.5000.511.522.50ViVtn 时:N 管截止 P 管线性( ViVtnV o+Vtp),P 管无损地将 Vdd 传送到输出端:Vo=Vdd,如图 ab 段;Vtn ViVo+Vtp 时:N 管饱和 P 管线性,如图 bc 段 Vo+Vtp ViVo+Vtn 时:N 管饱和,P 管饱和,Vo 与 Vi 无关 Vo 与 Vi 的关系为一条垂直线 ,称为 CMOS 反相器的阈值电压 Vth,或转换电压,如图 cd 段;Vo+VtnVi Vdd+Vtp 时:N 管线性 P 管饱和如图 de 段;V
20、dd+VtpVi Vdd 时:N 管线性 P 管截止, Vo=0 如图 ef 段;5 CMOS 组合规律:基本规律门、复合门 基本规律门CMOS 复合规律门名师归纳总结 - - - - - - -第 7 页,共 18 页精选学习资料 - - - - - - - - - 6 反相器、二输入与非、或非门反相器与非门或非门VddViTpIpTnVoIn7 闩锁效应起因?由于寄生的可控硅效应引起CMOS 电路的电源和地之间的短路,使CMOS 集成电路失效;防止 latch-up 的方法:1、使 N 沟器件远离 N 阱,减小横向 NPN 管的 b 值;但会是芯片面积增大;2、使 Rnwell 和 Rps
21、ubs尽量小;使用完量多的阱接触孔和衬底接触孔;对于大电流器件使用爱护环:PMOS 管四周加接电源的 N+爱护环;第四章NMOS 管四周加接地的 P+爱护环;latch-up;大多数情形下,通过认真地设计版图可以排除集成电路制造工艺1集成电路工艺主要分为哪几大类,每一类中包括哪些主要工艺,并简述各工艺的主 要作用图形转换: 将设计在掩膜版 类似于照相底片 上的图形转移到半导体单晶片上 掺杂: 依据设计的需要,将各种杂质掺杂在需要的位置上,形成晶体管、接触等 制膜: 制作各种材料的薄膜* 图形转换:光刻 光刻三要素:光刻胶、掩膜版和光刻机;光刻的基本要素是掩模板和光刻胶;光刻工序:光刻胶的涂覆爆
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